|
|
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 HqGI.
b
74 !Zw
 Gp9 <LB\, u>XXKlW: 建模任务 X3:1KDVsV `bP`.Wm  y?s z&*: 光栅特性与参数的严格分析 D#GuF~-F!R pY&6p~\p 不同光栅周期下的衍射效率 j.M]F/j 8mX!mYO3c
 =dXHQU&Q
7F`\Gz_2 关于光栅周期选择的考虑 L*0YOE%=]
[s}W47N1
 tI^91I T;u;r@R/ 偏振相关的衍射特性 GcM1*)$ 4
%! ` %21
 0f4 y"9m
)xp3
E l H
 %[XP}L$
@( R=4LL
 D;sG9H ky _DR@P(0>_ 通过参数优化进行光栅设计 S @[]znH B4 bB` r 固定周期的2D参数优化 P`rfDQoZ NXD -
 HO i~eX1d 2D参数优化–设计1 q,K|1+jn
dr)*.<_+a(
 [l=@b4Og (ot,CpI(I 2D参数优化–设计2 #-%D(=&I
X$xf@|<a
 ESviWCh0Fl Dx\~#$S!= 制造公差分析–设计2 f (C:J[;Z
F OD'&Yb&
 !bzW gD7j HF B> 0<$ 变化光栅周期的3D参数优化 aP (~l_
vJr,lBHEk
 N[9o6Nl|a `D3q!e 制造公差分析 J+CGhk
/@Jg [na
 .NWsr*Tel %cs" PS 走进VirtualLab Fusion BgN^].z&
51% Rk,/o
 ;=0-B&+ v 8\nk a5 VirtualLab Fusion中的工作流程 ` *hT x|!'
Ag3+z+uS
 r:rPzq1 GQ85ykky •构造光栅结构 1A 93ol=
−通过使用界面来配置光栅结构 e`B!)Sr
[用例] ']Czn._
•分析光栅衍射效率 gdAd7
T
−光栅级次分析器[用例] d:Z|It
•使用参数运行搜索初始解决方案 s!W{ru
−参数运行文档的使用[用例] z$Z%us>io
•通过参数优化找到最终设计 W-D4"
G@ %U<lS.i VirtualLab Fusion技术 qU &v50n $Q|6W &?[;
 ]Gj%-5G XThU +s9 文件信息 ?t;,Nk`jx i'ZnU55= %}  pNHL &H\ 试用：QQ939912426 FIJ]`
p: | 7d\r
|
