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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 K QXw~g? T)&J}^j
a% |[m,FvP !sQ$a#Ea 建模任务 ^h{AAS> 7F;"=DarOE r=Z#"68$ 光栅特性与参数的严格分析 E1IRb': /%EKq+ZP 不同光栅周期下的衍射效率 [t*m$0[: L]hXAShmb
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−光栅级次分析器[用例] 4O_z|K_k| •使用参数运行搜索初始解决方案 _F>1b16:/P −参数运行文档的使用[用例] vF"<r,pg •通过参数优化找到最终设计 `?LQd2p 7IW:,=Zk8+ VirtualLab Fusion技术 JPfNf3<@My \eF5* {9
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