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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^$I8ga W dNOE;R
da/Tms`T - .EH?{i 建模任务 ;9rS[$^$O byTTLs,}d bYKe5y= 光栅特性与参数的严格分析 M#7w54~b?M ~l@
h 不同光栅周期下的衍射效率 U'(@?]2<G qXw^y
%2jRJ %P2l@}?a 关于光栅周期选择的考虑 ]'iOV-2^' :_f5(N*{5o
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S\$GC 偏振相关的衍射特性 6SGV}dAx W1T%
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Sb& $xWL GWvw<`4 通过参数优化进行光栅设计 3\B28m ,&5\` 固定周期的2D参数优化 tvlrUp QU;bDNq,c
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-k8<LR3 •构造光栅结构 ,`
64t'g −通过使用界面来配置光栅结构 5(=5GkE)> [用例] NHL9qL"qk •分析光栅衍射效率 Ls`[7w −光栅级次分析器[用例] ZQk!Ia7 •使用参数运行搜索初始解决方案 CBr(a'3{Z −参数运行文档的使用[用例] Iz^vt#b •通过参数优化找到最终设计 fg)VO6Wo& jP{&U&!i VirtualLab Fusion技术 F1)5"7f ;l %$-/%
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