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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 }Xb|Ur43 EY@KWs3"H
fS3% Xdh@ ^` 建模任务 mGoNT `o0ISJeKp rX22%~1 光栅特性与参数的严格分析 XEUS)X) 5O~;^0iC 不同光栅周期下的衍射效率 44pVZ5c O&Y22mu
USJ4Z X([@}ren 关于光栅周期选择的考虑 b?/Su<q v}=pxWhm
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R ~[g 偏振相关的衍射特性 _ucixM# OI:T#uk5
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X;v{,P=J KVHK~Y-G 通过参数优化进行光栅设计 fVYv 2 88}0 4 固定周期的2D参数优化 D>kkA|> `FK qVd
qc3?Aplj 2D参数优化–设计1 z'zC `F~Fb S
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vf`] ~'):1}KN] VirtualLab Fusion中的工作流程 }U b "Vb ^Cg@'R9
.\)p3pC) XB%`5wwd •构造光栅结构 JM*rPzp −通过使用界面来配置光栅结构 i{PX= [用例] OmP(&t7 •分析光栅衍射效率 \)PS&Y8n −光栅级次分析器[用例] sk. rJ •使用参数运行搜索初始解决方案 VE/~tT; −参数运行文档的使用[用例] CjA}-ee •通过参数优化找到最终设计 ;"%luQA<w C%'eF` VirtualLab Fusion技术 BimM)4g ||?wRMV
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