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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 |$7!u DU8 wQ(ME7t
|MTgKEsn N#]f?6*R 建模任务 bpKMQrwd #r:J,D6* NoZz3*j= 光栅特性与参数的严格分析 Es[?yft2Q< ~''qd\.f$ 不同光栅周期下的衍射效率 _Ndy;MQ G0y%_"[
j!m~ :D K& 2p<\2 关于光栅周期选择的考虑 ^x:4%%Q]l P%B1dRa
5\EHu8 IO]Oo3 偏振相关的衍射特性 QF[9Zn
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#BlH)Cv q)<5&|V 通过参数优化进行光栅设计 sks_>BM mj5A*%"W 固定周期的2D参数优化 .'D+De&y uyjZmT/-
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D8[&}D4 ,EwJg69 走进VirtualLab Fusion K=`*cSU> B;1wnKdj
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t*.v! F)DL/'; •构造光栅结构 `yuD/-j −通过使用界面来配置光栅结构 RA.@(DN& [用例] r OB\u|Pg •分析光栅衍射效率 C .YtjLQP$ −光栅级次分析器[用例] Mh3zl •使用参数运行搜索初始解决方案 T("Fh} −参数运行文档的使用[用例] |U7{!yy%MF •通过参数优化找到最终设计 ]p0m6}B Ej.D!@ VirtualLab Fusion技术 X8;03EW; GIZNHG
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