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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $|AasT5w ej\Sc7. +/hd;s$x Uyd' uC 建模任务 ;f)AM}~^Q zA/Fh(uX xRqA^Ad 光栅特性与参数的严格分析 9VSi2p* #J 不同光栅周期下的衍射效率 pv"s!q& Mu6DTp~k o1uM( NB-%Tp*d 关于光栅周期选择的考虑 z:u)@>6D1 J
:KU~`r SnM^T(gtS3 QuC_sFP10 偏振相关的衍射特性 V~do6[( Gz(l~!n~a uJ0Wb$% g2A#BMe'.$ Rgl cd 1X9J[5|ll QXgfjo t=fP^bJ 通过参数优化进行光栅设计 @|e
we.r 3jHg9M23[^ 固定周期的2D参数优化 '~1Zr uO 6E.[F\u M4% 3a j 2D参数优化–设计1 lr@w1* `g0^W/j "F4 3q8 P YGRb|P- 2D参数优化–设计2 08! _B\ xC}' "``s vG\
b` <`wOy[e 制造公差分析–设计2 6?[SlPPE1 7nP{a"4_ e>bARK< X-J85b_e 变化光栅周期的3D参数优化 zL'S5'<F| $aN%[ 5".bM8o fzvyR2 I 制造公差分析 ixE w!t 0G2Y_A&e** Oqq'r "S f.uy;v 走进VirtualLab Fusion COmu.'%* 34nfL: y IreY8.FND @]p{%" $ VirtualLab Fusion中的工作流程 #&1gVkvp {7;QZk( MU\Pggs 1kR. .p<" •构造光栅结构 _x^rHADp −通过使用界面来配置光栅结构 I5`>XfO) [用例] bbDm6, •分析光栅衍射效率 oJ`=ob4WDo −光栅级次分析器[用例] -Q&@P3x •使用参数运行搜索初始解决方案 @u:` −参数运行文档的使用[用例] zQ<;3+* •通过参数优化找到最终设计 k8%@PC$ Sw5:T VirtualLab Fusion技术 F^S]7{ .k
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