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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {ZI6!zh'
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−光栅级次分析器[用例] IHfqW?
•使用参数运行搜索初始解决方案 N/p _6GYMa
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•通过参数优化找到最终设计 T[J_ /DE@ XoOe=V?I ) VirtualLab Fusion技术 0U~JSmj:2K B5S1F4
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