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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^eobp.U 0:. 6rp
;t|,nz4kJ 5.dl>, 建模任务 _@~PL>g"p ~ibF M5m >zFD$ 光栅特性与参数的严格分析 zMr&1*CDX Mo_$b8i 不同光栅周期下的衍射效率 hl**zF iyc$)"w
V;k#})_- $.9 +{mz 关于光栅周期选择的考虑 \KCWYi] 1#]B^D
w]F!2b! [T-*/}4$ 偏振相关的衍射特性 5*Btb#: }YRO'Q{
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gX_SKy ~{$L9;x 通过参数优化进行光栅设计 :s]\k%" a5)JkC 固定周期的2D参数优化 3[.3dy7,Z ~pRs-
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7O$ & −通过使用界面来配置光栅结构 @h9K [用例] 2lo:a{}j •分析光栅衍射效率 ]=Pu\eE −光栅级次分析器[用例] TRy^hr8~ •使用参数运行搜索初始解决方案 1yS&~
y?a −参数运行文档的使用[用例] >jKjh!`)!e •通过参数优化找到最终设计 tgB=vIw?3 *6P'q4) VirtualLab Fusion技术 mrqaM2,(I Why"G1`
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