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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 SE/@ li <4>6k7W
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光栅特性与参数的严格分析 4mPg; n Fm2t:,= 不同光栅周期下的衍射效率 koie wDSU~\
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[g%oo3`A s^E%Ukm •构造光栅结构 Z3Viil: −通过使用界面来配置光栅结构 .m4K ]^m [用例] 0BBWuNF. •分析光栅衍射效率 ZOU$do>O −光栅级次分析器[用例] g#H#i~E^ •使用参数运行搜索初始解决方案 nGg>lRL −参数运行文档的使用[用例] pfZxG.l •通过参数优化找到最终设计 Z*leEwgz qf'uXH VirtualLab Fusion技术 O! ;!amvz +nZx{d,wt
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