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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +h0PR? z$JX'(<Z7
&49u5&TiP 3lo;^KX ! 建模任务 si_W:mLF{a $4Z+F#mx :P3{Nxa 光栅特性与参数的严格分析 2O
eshkE _fcS>/<a 不同光栅周期下的衍射效率 )PR3s1S^ x^A7'ad0
A_!QrM KAd_zkUA 关于光栅周期选择的考虑 q@(1Yivk YEzU{J
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固定周期的2D参数优化 Kx~$Bor_! 3UdU"d[75
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w/W7N LN4qYp6)G 变化光栅周期的3D参数优化 Y25^]ON*\^ `H>b5
l4rMk^>> xACdZB( 制造公差分析 #EDEYEW7 u)a'
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/`[!_4i _%~$'Hy VirtualLab Fusion中的工作流程 D8%AV;-Y 03k?:D+5
"X04mQn15 WNs}sNSf •构造光栅结构 i^)WPP>4Aw −通过使用界面来配置光栅结构 K B!5u 9 [用例] YuQ~AE'i •分析光栅衍射效率 6.5wZN9<| −光栅级次分析器[用例] +f>c xA
•使用参数运行搜索初始解决方案 & ze>X −参数运行文档的使用[用例] + H_MV=A^ •通过参数优化找到最终设计 `S3>3 im]g(#GnKh VirtualLab Fusion技术 JN4fPGbV !lTda<;]
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