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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7;xKy'B\ 3bts7<K=
B] i:) an KuTI 建模任务 yW>R RE; -f.R#J$2 };p~A-E= 光栅特性与参数的严格分析 *?N<S$m iQ{z6Qa 不同光栅周期下的衍射效率 %#9P?COs&W xid:" y=_&
{!t=n stXda@y<p 关于光栅周期选择的考虑 #=x+
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dFMAh&:> ^Rk^XQCh VirtualLab Fusion中的工作流程 [%?hCc Pv[ykrm/
b?>VPuyBb nUqL\(UuY •构造光栅结构 F;W' −通过使用界面来配置光栅结构 M#T#:wf~ [用例] SlN" (nq •分析光栅衍射效率 [tz
u;/ −光栅级次分析器[用例] Onyh1 •使用参数运行搜索初始解决方案 zQt1;bo −参数运行文档的使用[用例] zg)|rm •通过参数优化找到最终设计 qZP:@r" 6qf-Y!D5 VirtualLab Fusion技术 ;da4\bppt c l9$g7
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