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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 /8@m<CW2Y SFH-^ly&D
nZR!*$}A ^s\3/z>b4! 建模任务 3#wcKv%>&_ DOm[*1@^ {|9}+
@5Q1 光栅特性与参数的严格分析 }~Q"s2 9ykM3 不同光栅周期下的衍射效率 9^P2I)aD *cWmS\h|
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GE 关于光栅周期选择的考虑 PXP`ZLF x4Rk<Th"o
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4dH}g~[P9 [n,?WwC 通过参数优化进行光栅设计 8YY|;\F)J~ 8U~.\`H-PT 固定周期的2D参数优化 9T2xU3UyY ~Y5l+EF#
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O]u",J5 \Z5+$Ij 制造公差分析 vg%QXaM f%^'P"R
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$B\E.ml. tR`S#rk VirtualLab Fusion中的工作流程 I{.HO<$7D} ='Oj4T
Q49BU@xX kM*T$JqN •构造光栅结构 Vk<k +=7 −通过使用界面来配置光栅结构 dBEIMn@ [用例] c c G['7 •分析光栅衍射效率 M$#sc`4* −光栅级次分析器[用例] D(Ix!G/ •使用参数运行搜索初始解决方案 ?A=b6Um −参数运行文档的使用[用例] ;"7/@&M\m •通过参数优化找到最终设计 4_Rdp`x#J ~@c-* VirtualLab Fusion技术 mVf.sA8 Y^lQX~I2{
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