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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~IQ3B$4H& KF!?;q0J 3pU/Zbb,: u]`ur#_ 建模任务 +t[i68,% L JW0UF| C[c^zn
光栅特性与参数的严格分析 O>
.gcLA >/J!:Htk+K 不同光栅周期下的衍射效率 hsCts@R ^(79SOZC lJ>OuSd p#A{.6Pa: 关于光栅周期选择的考虑 F4:giu ht caH!(V}6 6O@/Y;5i M?[~_0_J 偏振相关的衍射特性 lX)ZQY:= : ZkA05wPZ# nGoQwKIW md
S`nhb Thc"QIk&4 mu$0x) 3{/[gX9 JbR;E`8 通过参数优化进行光栅设计 sQl`0|VH _+=M)lPm 固定周期的2D参数优化 9fhgCu]$ AhA4IOG`. F<9S, 2D参数优化–设计1 \A%s" O/ 6C@W6DR3N Q |1-j SI"y&[iw 2D参数优化–设计2 Or:a\qQ1 u&-Zh@;Q7 P-Up v6J3 8`]1Nt!*B 制造公差分析–设计2 ud`!X#e~ rf\A[)<: r5w y]z^ I UZ@n0/T 变化光栅周期的3D参数优化 jt6q8 azKiXr#_( a}p}G\b| aePLP 制造公差分析 aMq|xHZ "54t7 k.@OFkX. 7Z7e}|
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−通过使用界面来配置光栅结构 =ICakh!TO [用例] Lbwc2Q,.- •分析光栅衍射效率 8p0ZIrD% −光栅级次分析器[用例] kuI%0)iZn •使用参数运行搜索初始解决方案 {wq~+O −参数运行文档的使用[用例] B{6wf)[O •通过参数优化找到最终设计 ^$VH~i& X8uAwHa6F VirtualLab Fusion技术 YZ.?
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