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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +u]L#].; ^7$V>|
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:2_8.+: Q $5U5hb •构造光栅结构 $&l}
ABn −通过使用界面来配置光栅结构 Dd:;8Xo [用例] @cz\'v6E •分析光栅衍射效率 *6b$l.Vs −光栅级次分析器[用例] u(92y]3, •使用参数运行搜索初始解决方案 f#3U,n8: −参数运行文档的使用[用例] "`''eV3 •通过参数优化找到最终设计 q;{# ~<"+ EX.`6,:+2 VirtualLab Fusion技术 +o94w^'^$b 5\6S5JyIL
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