|
|
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =-Hhm($n
q>(?Z#sB
 <B>qE a_I ?u#s ?$ Y? 建模任务 YT?Lt!cl= Jd/d\P  e'uC:O.u 光栅特性与参数的严格分析 Ml c_w19C9 p^ (Z 不同光栅周期下的衍射效率 o*A , 6 y :=*G7ZyW$
 .+S%hT,v6i
/TsXm-g# 关于光栅周期选择的考虑 lha;|
4v>S Xch
 ! 7V>gWhR IT:WiMDQ} 偏振相关的衍射特性 Ba?1q%eG *bo| F%NAz
 7yu-x nt3s
$,:mq>] uxn+.fA
w/
~\NI
 hpXW t Q m lc8q s 通过参数优化进行光栅设计 ??aO3 Vm{ z&0[F`U 固定周期的2D参数优化 64mh. j 4z P"h0
 vcj(=\
e8v 2D参数优化–设计1 muXP5MO
? ,7!kTRH
 'qE w]l o]tfvGvU* 2D参数优化–设计2 FVkl# Qy~
-zYa@PW
 _R(Zvs OZ |pZ 7k#% 制造公差分析–设计2 q !9;JrX
h8O\sKn
 w=?nD6Xhz p,k1*|j 变化光栅周期的3D参数优化 >Z*b0 j
}%}$h2:
 5\zR>Tg". s%y<FXUj 制造公差分析 5JaLE 5-
h-"q <eY"
 ':}9>B3 S K:-jn}i?/ 走进VirtualLab Fusion .?CaU
+d LUq2
 An#[
+? 075IW"p' VirtualLab Fusion中的工作流程 c.1gQy$}|
!BW!!/U
 +JG05h%' g&$5!ifgi •构造光栅结构 H0tu3Pqk
−通过使用界面来配置光栅结构 !21G $ [H
[用例] 72RTEGy
•分析光栅衍射效率 a0]GQyIG
−光栅级次分析器[用例] G6{ PrV#
•使用参数运行搜索初始解决方案 rD$5]%Y
−参数运行文档的使用[用例] cXt&k
•通过参数优化找到最终设计 !nL94:8U TD floDxA VirtualLab Fusion技术 d~_5Jx L' $\[~Ug
 7hx^U90K EP;ts 文件信息 ~0024B[G X&aQR[X VJ'-"8tY&  ([a;id 试用：QQ939912426 ^F?B_'
c"k nzB vy
|
