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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *fj5$T-Z
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 H/?@UJ5m >&g^ ` 建模任务 m2|% AD ]QbT%0  k/;%{@G) 光栅特性与参数的严格分析 iXs X@ S^F >L_nu.x 不同光栅周期下的衍射效率 RcG
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,^K}_z\9f 关于光栅周期选择的考虑 T>cO{I
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FH (W 偏振相关的衍射特性 9z9\pXFQ YQ7\99tj
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 FJCL K#- ]I<w;.z 通过参数优化进行光栅设计 t3(~aH d"0=.sA 固定周期的2D参数优化 3[Xc:;+/ s'4%ZE2Dr
 -2/&i 2D参数优化–设计1 V<&^zIJUR
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 7RZ HU+ pAtt=R,Ht 制造公差分析–设计2 6 ' [gd
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 8O| w( z dthtWnB@ VirtualLab Fusion中的工作流程 cof+iI~9O%
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 -_^#7] 49tJ+J- N •构造光栅结构 ql I1<Jx
−通过使用界面来配置光栅结构 9WT{~PGj
[用例] i it 5IV
•分析光栅衍射效率 XYze*8xUb
−光栅级次分析器[用例] cXIuGvE&=
•使用参数运行搜索初始解决方案 U&o ~U] rm
−参数运行文档的使用[用例] kIJ =]wU|v
•通过参数优化找到最终设计 <~hx ~"c Mt*eC)~ Yx VirtualLab Fusion技术 q-r5z GI 0
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