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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~ ui/Qf2| Af1izS3
~R/w~Kc!/A rB;`&)- 建模任务 B 3|zR 'EU{%\qM kv&%$cA 光栅特性与参数的严格分析 kf\n
\eF5* {9 不同光栅周期下的衍射效率 (UDF^ *%1:="W*|
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(Tp+43v D *W+0 制造公差分析 mXlXB#N Dntcv|%u
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L20aN2 •构造光栅结构 PN/2EmwtC −通过使用界面来配置光栅结构 3Zg=ZnF [用例] CvmZW$5Yo •分析光栅衍射效率 |[D~7|? −光栅级次分析器[用例] w3Aq[1U0 •使用参数运行搜索初始解决方案 9bgKu6-X −参数运行文档的使用[用例] [UNfft=K3P •通过参数优化找到最终设计 ~c
;7me. efMv1>{ VirtualLab Fusion技术 %r6LU<;1@ #@BM1BpQ
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