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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *fj5$T-Z `z)q/;}fC
H/?@UJ5m >&g^ ` 建模任务 m2|%AD ]QbT%0 k/;%{@G) 光栅特性与参数的严格分析 iXsX@ S^F >L_nu.x 不同光栅周期下的衍射效率 RcG
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<Mq vGXI ,^K}_z\9f 关于光栅周期选择的考虑 T>cO{I (Q4hm ]<
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FH (W 偏振相关的衍射特性 9z9\pXFQ YQ7\99tj
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FJCL K#- ]I<w;.z 通过参数优化进行光栅设计 t3(~aH d"0=.sA 固定周期的2D参数优化 3[Xc:;+/ s'4%ZE2Dr
-2/&i 2D参数优化–设计1 V<&^zIJUR s,;7m
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7RZ HU+ pAtt=R,Ht 制造公差分析–设计2 6'[gd r"&uW!~0
ZTg[}+0e 57jDsQAj 变化光栅周期的3D参数优化 h2P&<gg qX P|tNmv[;
i[4t`v'Dk Memb`3 制造公差分析 HrS-o= C-sFTf7
>Hwf/Gf[ pJo#7rxd6 走进VirtualLab Fusion lKBI3oYn -2qI2Z
8O| w(z dthtWnB@ VirtualLab Fusion中的工作流程 cof+iI~9O% fJK;[*&Y
-_^#7] 49tJ+J- N •构造光栅结构 ql I1<Jx −通过使用界面来配置光栅结构 9WT{~PGj [用例] iit 5IV •分析光栅衍射效率 XYze*8xUb −光栅级次分析器[用例] cXIuGvE&= •使用参数运行搜索初始解决方案 U&o~U] rm −参数运行文档的使用[用例] kIJ=]wU|v •通过参数优化找到最终设计 <~hx ~"c Mt*eC)~Yx VirtualLab Fusion技术 q-r5z GI 0
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