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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M!iYj+nrP B3yp2tncj
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};vy 建模任务 bdr!|WZ 8yCQWDE} WQ1*)h8,9 光栅特性与参数的严格分析 {pEbi)CF,} oBzjEv 不同光栅周期下的衍射效率 E#,n.U>#) zbP#y~[
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!J!{ [用例] RjS&^uaP •分析光栅衍射效率 $Z;?d@6yI −光栅级次分析器[用例] &S"ojbb •使用参数运行搜索初始解决方案 er?'o1M −参数运行文档的使用[用例] k~st;FO •通过参数优化找到最终设计 V_g9oR_ `2@t) : VirtualLab Fusion技术 eSgCS*}0$z AZCbUkq
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