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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 c3)6{ 2UMX%+ "J {
3Qlx/6< 2E.D0E Cu 建模任务 +vYVx<uTQ 7Q|v5@;pU (r-PkfXvIf 光栅特性与参数的严格分析 |~+bbN|b 1`9'.w+r 不同光栅周期下的衍射效率 bLC+73BjC q+)s
A/OGF> RWZjD#5%Z 关于光栅周期选择的考虑 BAy)P1 7G%^8
ce{! 8*sP )5x,-m@ 偏振相关的衍射特性 r#c+{yY mpzm6Ieu {'o\#4Wk Vah.tOU `<?((l%;R mSp;(oQ
?dvcmXR 30QQnMH3 通过参数优化进行光栅设计 2*Mu"v, !I Byv%m&\ 固定周期的2D参数优化 rk `]] 8'0KHn{# `IK3e9QpcA 2D参数优化–设计1 \Bn$b2j!% gP=@u. AAK}t6 t8B==% 2D参数优化–设计2 gX]'RBTb 74a>}+" 5dhT?/qvc T]?QCf 制造公差分析–设计2 L)_L#]Yy w]Ci%W( &uxwz@RC0 Ok_)C+o 变化光栅周期的3D参数优化 P26YJMJ' Zc*gRC {pEbi)CF,} oBzjEv 制造公差分析 vU,
]UJ} u )KtvC! si|b>R&Z +7bV 走进VirtualLab Fusion \"mLLnK?
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x#;r VirtualLab Fusion中的工作流程 3,{tGNl| q/t~`pH3 G1:2MPH VTxLBFK; •构造光栅结构 RLX?3u& −通过使用界面来配置光栅结构 .\b# 0w [用例] 2~SjRIp Uw •分析光栅衍射效率 }\_[+@*EJ −光栅级次分析器[用例] !_=3Dz •使用参数运行搜索初始解决方案 xnG,1doa −参数运行文档的使用[用例] HtGGcO'bqg •通过参数优化找到最终设计 dtUt2r)6L; NQhlb"Ix VirtualLab Fusion技术 F#$[jh$ C6(WnO{6 `)s>},8W! WjvD C" 文件信息 C!aK5rqhv 9% AL f 9 $@:z4S(
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