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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 uYO?Rb&} Dy8Go4
S liF$}J 6NZf!7,B 建模任务 &O!d!Pf %*r Pd>* @];Xbbw+c 光栅特性与参数的严格分析 orL7y&w(v: fxiq,o0 不同光栅周期下的衍射效率 }*0%wP Wje7fv
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[用例] [?]s((A~B •分析光栅衍射效率 }X}fX#[ −光栅级次分析器[用例] 9n44 *sZ •使用参数运行搜索初始解决方案 uv._N6mj −参数运行文档的使用[用例] B \[ P/AC •通过参数优化找到最终设计 z^=9%tLJ E[e '' VirtualLab Fusion技术 e'g-mRh v')T^b
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