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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @<OO 4g7ja
mGe|8In hr[B^?6 建模任务 ?AnjD8i %0yS98']g \6lh `U 光栅特性与参数的严格分析 rps(Jos_~ y7JZKtsFA 不同光栅周期下的衍射效率 |As2"1_f cGE=.
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Nsn~@.UuSW fD{II+T •构造光栅结构 &1_U1 −通过使用界面来配置光栅结构 ' sey D [用例] X"j>=DEX •分析光栅衍射效率 4=xq:Tf −光栅级次分析器[用例] M;KA]fmc •使用参数运行搜索初始解决方案 n_P3\Y| −参数运行文档的使用[用例] `4V"s-T' •通过参数优化找到最终设计 h*3{6X#(/ -f9]v9|l VirtualLab Fusion技术
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