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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ( V$Zc0
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 {bT9VZ> X 6Un;UL 建模任务 n%F- cw ID)^vwn  'z)hG#{I 光栅特性与参数的严格分析 Y^ QKp" -7k[Vg? 不同光栅周期下的衍射效率 z(+&wa A'Gl Cp
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[用例] 51 4Z<omrK
•分析光栅衍射效率 q@l(Qol
−光栅级次分析器[用例] <6jFKA<
•使用参数运行搜索初始解决方案 XA{F:%
−参数运行文档的使用[用例] Od{jt7 <j#
•通过参数优化找到最终设计 NYB "jKMk Yw)Fbt^ VirtualLab Fusion技术 xE1'&!4O /e1( ?
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