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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9U&~(; E1#H{)G
33*^($bE& (Z5qf 建模任务 dJloH)uJZ> h>~jQ&\M yq1Gqbh
l 光栅特性与参数的严格分析 DE5d]3B s;anP0-O 不同光栅周期下的衍射效率 Ad^dF'SN VIb;96$Or
Tc9&mKVE%( 2XzF k_6H 关于光栅周期选择的考虑 !&qx7eOSpP ^g}L`9fL
~(stA3]k t#a.}Jl 偏振相关的衍射特性 uPI v/&HA n/xXQ7y
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^ f$Gr`d 通过参数优化进行光栅设计 =g/4{IL% 9
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m%>:}o •分析光栅衍射效率 43vGgGW −光栅级次分析器[用例] kWzuz# •使用参数运行搜索初始解决方案 3!i.Fmo −参数运行文档的使用[用例] KC@k9e •通过参数优化找到最终设计 k! J4Z${k TYs+XJ'Xj VirtualLab Fusion技术 Q%M'[L?[ 1{SrHdD=
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