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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *E q7r>[ #:5g`Ch4,
}@0. X1QZEl 建模任务 Gkvd{G?F HQj4h]O# (zODV4,5k` 光栅特性与参数的严格分析 BJ2W}R -^yc yZ 不同光栅周期下的衍射效率 90k|u'ikOp L. ?dI82c
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KXI, •构造光栅结构 p6'8l~W+ −通过使用界面来配置光栅结构 (P-<9y@ [用例] g=Di2j{A •分析光栅衍射效率 #C^m>o~R −光栅级次分析器[用例] (i8t^ •使用参数运行搜索初始解决方案 )VC) } −参数运行文档的使用[用例] $'q(Z@ •通过参数优化找到最终设计 cx}-tj"m- m@YLZ VirtualLab Fusion技术 5,C,q%2 o*_ D
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