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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9@'^}c# ^g^R[8 nd~cpHQR^ 'IVNqfC)u 建模任务 8OV;&Z,x K=S-p3\g 7sgK+
ip 光栅特性与参数的严格分析 2L\} H> Y0R 不同光栅周期下的衍射效率 $@WqM$ {0~ Sj%Ze j.}@ 9 rf}@16O$' 关于光栅周期选择的考虑 )(^L* pK_n}QW r
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偏振相关的衍射特性 W>^WNo3YQ$ WD`z\{hcom c%?31t YB;q5[ Ev%_8CO4e y~16o Z{Si`GA Ln&'5D# 通过参数优化进行光栅设计 `lI(SS]w S9cAw5E(yN 固定周期的2D参数优化 1$+-?:i C [.ya&E)x __B`0t 2D参数优化–设计1 p'@|Oq& Bsr;MVD htgtgW9
^P F=T};b 2D参数优化–设计2 |o6g{#1 pUp&eH 2cnyq$4k ftaGu-d% 制造公差分析–设计2 vOF"p4 ^ 3 0`=>/Wr39 'MWu2L!F 84X/=l-c= 变化光栅周期的3D参数优化 e-@.+f2CC vJ&g3ky :"ta#g' d_ [l{ 制造公差分析 .m;5s45O{ Q;h6F{i R&vV!d K[j~htC{I" 走进VirtualLab Fusion CyHaFUbZ 6=aXz2.f jV)4+D z\kiYQ6kA VirtualLab Fusion中的工作流程 n7>L&?N#y# WP}NHz4H ,NA _pvH) ~uUN\qx52 •构造光栅结构 UG~/ −通过使用界面来配置光栅结构 ntZl(] l [用例] =sIkA)"!= •分析光栅衍射效率 y\C_HCU H −光栅级次分析器[用例] -zSkon2Y^ •使用参数运行搜索初始解决方案 >508-)' −参数运行文档的使用[用例] eBN!!Y:7 •通过参数优化找到最终设计 3$~oQC H1fKe=$1 VirtualLab Fusion技术 A0A]#=S CGp7 Tx # nS`
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