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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 p%iZ6H>G AaU!a
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8N |K kaoiSL<[6 •构造光栅结构 uvR l`"Y −通过使用界面来配置光栅结构 CbxWK#aMmB [用例] UxF9Ko( ]d •分析光栅衍射效率
V_e −光栅级次分析器[用例] 92C; a5s •使用参数运行搜索初始解决方案 rf`xY4I\ −参数运行文档的使用[用例] VV54$a •通过参数优化找到最终设计 a3A3mBw o!&+ _BKw VirtualLab Fusion技术 0`v-pL0| %h,&N D
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