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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 U=c5zrs do=x9k@Q
{m+S{dWp v E3{H 建模任务 =p,4=wo{ DV7<n&P yRq8;@YGY 光栅特性与参数的严格分析 r?"}@MRW 4uO
@`0:x 不同光栅周期下的衍射效率 oz\{9Lwc EbBv}9g
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\]f5 Ersr\ZB 偏振相关的衍射特性 8"?Vcw& gfdPx:7^
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~&wXXVK3 FSW3' •构造光栅结构 +?URVp −通过使用界面来配置光栅结构 FX7Cjo#=R [用例] 'sm[CNzS •分析光栅衍射效率 S`pF7[%rp −光栅级次分析器[用例] F`YFo)W •使用参数运行搜索初始解决方案 9O),/SH;: −参数运行文档的使用[用例] 4 "pS •通过参数优化找到最终设计 kN'|,eKH4 B]'e$uyL7 VirtualLab Fusion技术 M,b<B_$ E0sbU<11
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