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V;,{} ~wkj&yVT 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 <gQIq{B? 3_MS.iM 建模任务 '.81zpff !qM=a3
@Bf%s(Uj+ *%S"eWb 观测倾斜平面 pQtJc*[! #0y)U;dA+w
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FXi{87F2 2kIa*#VOJ 观测球面 }wHW7SJ Na?!;1]_
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