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f&7SivS# 摘要 T,`'qZ> `IFt;Ja\6 :_p3nb[r s~IOc%3 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 j K$4G.x ^qIp+[/' 建模任务 [o*u!2 r Yw\}'7 & |