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摘要 ij i<+oul 9t:P1 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 N%
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9 [qEJ$-- jwsl"zL VirtualLab Fusion技术 6{h+(|.( +Kc1a; 4dy2m! Jh1Q)05 文件信息 {v&c5B~,\ @\-i3EhR zh5'oE&[yC GA&mM |