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摘要 c
qCNk +h"i6`g 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 &*OwoTgk+ &D M3/^70 CmBPCjh VYb,Hmm>kC 设计任务 @`KbzN_h/ ^5]9B<i[Y [Ix6ArY HDKF>S_S 仅位相透射设计(IFTA) Jn{)CZ 9ia&/BT7"z LmJjO:W}^y _m?i$5 仅位相透射设计(IFTA) acS~%^"<_ |.Vgk8oTl [!%5(Ro_ /E<Q_/'Z 超表面晶胞分析 ppIXS( VQ('ejv}/ aU;X&g+_) }}k%.Qb 构建超光栅 w&H>`l06
gH(#<f@ZI ys[xR=nbD 1;~sNSTo 初始超表面设计的评估 Fy5:|CN u|wl;+. Pxf>=kY @Pc7$ qD % 参数优化 G_=i#Tu[ q'S[TFMNE UucX1% vh.8m$, 优化超光栅设计的评估
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