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摘要 ,/fB~On-
a+HGlj 2> 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 _GhP{ C$
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 Ow#a|@ ^}w@&Bje 建模任务 d}RU-uiW .O yzM
 |wxAdPe 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) {[|je ]3v
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tLE7s_^ 9 cIKi#Bl VirtualLab Fusion的工作流程 ^XgBkC~ ;R W0Dn)Q 构建光栅结构 Nx;Oz - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] {3* Ne / - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ,
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- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 Vv&GyqoO] - 光栅级次分析器 1>=]l MW - Talbot效应的建模 nIqNhJ+ p_B5fm7#6W
ZK4d;oa", 有什么问题可以添加微信~ L2Fi/UWM  sh/4ui{
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