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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 .' #_Z.zr  
     S&9{kt|BI  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 6kHAoERp  
    s fazrz`h  
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    53#7Yy  
    建模任务 3:!+B=woR  
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     t(^c]*r~  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Hw_(Af?C  
     ZY=x$($f  
    某一位置的Talbot图样 |eJ4"OPC  
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    某一位置的Talbot图样 (@~d9PvB>  
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     )9,9yd~SI  
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    不同位置的Talbot图样 3S ,D~L^  
    ?u"MsnCXYn  
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    不同位置的Talbot图样 8" XbW7^o  
    (pNA8i%=G  
     t L}i%7  
    LS*^TA(I[  
    沿Z轴的强度 5Z,^4 6J  
    Pl9/1YhD/  
     kK>PFk(  
    v=$v*W  
    走进VirtualLab Fusion aHvTbpJ  
    ,~p'p)  
     ^ 1}_VB)^  
    0ZlF#PJA  
    VirtualLab Fusion的工作流程 I6ffp!^}Y  
    *2Il{KO A^  
     构建光栅结构 "WV]| TS"]  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] a`|&rggN  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] bzz=8n  
    =Wn11JGh  
     通过参数运行计算不同位置的强度 -Xb]=Yf-  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Xkk m~sM6  
    ^&>(_I\w.6  
    LS}dt?78`V  
    6lpfk&  
    VirtualLab Fusion技术 4{7O}f  
    GcmN40  
     Ii_X^)IL(  
       x >hnH{~w  
    文件信息 x'tYf^Va28  
    o|F RG{TJ  
     -$yNJ5F`  
    t:X\`.W  
    延伸阅读 S7vT=  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     HdQd =q(  
    - 光栅级次分析器 qc;9{$?xV  
    - Talbot效应的建模 Y; JV9{j  
    8p p^ w  
     Q5b~5a  
    有什么问题可以添加微信~ ;& ny< gQ  
    Lwm2:_\_b  
     ?]+{2&&$  
     
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