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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 $yLsuqB}  
     ?tV$o,11  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Yfs60f  
    $wub)^  
     q% 2cx@c  
    9)];l?l  
    建模任务 >01&3-r  
    1#gveHm]-G  
     48Vmz  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) )C|[j@MD  
     |B./5 ,nSS  
    某一位置的Talbot图样 iLIH |P%  
    B>AmH%f/  
     :&S6AP  
       G0Eqo$W)S  
    某一位置的Talbot图样 }4Ef31X8q  
    yM`J+tq  
     \Z{6j&;  
    (J I4ibP  
    不同位置的Talbot图样 Bvk 8b  
    airg[dK  
     omisfu_~E  
    F%Oy4*4  
    不同位置的Talbot图样 ,UNCBnv1  
    ;~CAHn|Fe  
     l|TiUjs  
    #e|G!'wdj  
    沿Z轴的强度 k]K][[s`  
    2l^hnog|  
     E]Dcb*t  
    olda't  
    走进VirtualLab Fusion 4BF \- lq~  
    ]@LeyT'cY  
     hilgl<UF  
    jNV)=s^ed[  
    VirtualLab Fusion的工作流程 %{"v^4  
    TC[(mf:8  
     构建光栅结构 d7(g=JK<  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Lh`B5  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] &}}UdJ`  
    :qlcN@_  
     通过参数运行计算不同位置的强度 F{,<6/ayRz  
    - 参数运行文件的使用 [用例] X 0\O3l* j  
    _TLB1T^/4  
    U0X,g(2'  
    naOCa  
    VirtualLab Fusion技术 #^FDG1=  
    ) oypl+y  
     yzI`&? P2  
       ^\"@r%|  
    文件信息 +wPXDN#R  
    o*5iHa(Qm  
     Q3h_4{w  
    gPT<%F  
    延伸阅读 3aX/)v.:4  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     r3;@  
    - 光栅级次分析器 (i2R1HCa  
    - Talbot效应的建模 H\vd0DD;  
    (8Ptuh6\\2  
     70Z#Ej  
    有什么问题可以添加微信~ 3bU(ea^e$  
    Vd&&GI(:?^  
     a]S0|\BkN  
     
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