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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 )>C,y`,  
     ( *UMpdj  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 A0 x*feK?  
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     ST] h NM  
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    建模任务 sHmzwvpLA  
    =P-kb^s  
     vRYfB{~  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 0,E*9y}  
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    某一位置的Talbot图样 ;| )&aTdH  
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    某一位置的Talbot图样 $0+AR)  
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    不同位置的Talbot图样 bb}|"m .  
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    不同位置的Talbot图样 S[n ;u-U  
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    沿Z轴的强度 ncuqo'r  
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    j;WZ[g#t  
    走进VirtualLab Fusion [z'PdYQR/{  
    " ;8H;U`  
     |$f.Qs~?  
    -hZlFAZi  
    VirtualLab Fusion的工作流程 :D\M.A  
    D C{l.a.  
     构建光栅结构 :* 4b,P  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] z' z_6]5  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] S8(Y+jgk;a  
    ...|S]a  
     通过参数运行计算不同位置的强度 2f2Vy:&O_  
    - 参数运行文件的使用 [用例] *UJ.cQ}  
    s{#rCc)  
    airg[dK  
    3x@t7B  
    VirtualLab Fusion技术 qRlS^=#  
    ue"?n2  
     C2OBgM+  
       ]q~ _  
    文件信息 5?9K%x'b  
    dT?/9JIv  
     b*i_'k}*<g  
    o/I'Qi$v-  
    延伸阅读 >NwS0j$j@  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     l.[S.@\=.  
    - 光栅级次分析器 U.g7'`Z<  
    - Talbot效应的建模 ' 5`w5swbc  
    <]1Z  
     BC.~wNz6  
    有什么问题可以添加微信~ }TfZ7~o[  
    O~D>F*_^j  
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