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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 bP Q=88*  
     gkmV; 0  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 QnA~,z/ .w  
    <Ej`zGhWz  
     \2^o,1r/  
    |[)n.N65 =  
    建模任务 Am!OLGG4  
    cN-$;Ent  
     4nrn Npf`b  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) FyQr$;r  
     f~10 i D  
    某一位置的Talbot图样 &/n*>%2  
    hXh nJ  
     zP&D  
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    某一位置的Talbot图样 FP'-=zgc  
    v!W{j&N  
     E&N~ h|CL  
    7$*X   
    不同位置的Talbot图样 @THa[|(S  
    <aLS4  
     _G&gF .|  
    9:*[Q"v  
    不同位置的Talbot图样 IZLBv2m  
    nMK$&h,{  
     iB|htH'T  
    BwkY;Ur/AL  
    沿Z轴的强度 #jh5%@  
    #aQQd8   
     JW!.+ Q  
    -xG6J.S  
    走进VirtualLab Fusion Eq%f`Qg+1E  
    wB bCGU  
     d'"|Qg_'  
    Bf.iRh0Q5  
    VirtualLab Fusion的工作流程 Qvty;2$o@  
    W4,'?o  
     构建光栅结构  !TivQB  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Gr4v&Mz:  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Ze[,0Y!u&  
    ! 1=*"H%t  
     通过参数运行计算不同位置的强度 nEUUD3a  
    - 参数运行文件的使用 [用例] !,dp/5 V  
    mITNx^p4f  
    ,kf.'N  
    zE<Iv\Q  
    VirtualLab Fusion技术 q|:wzdmNZ  
    @dUN3,}  
     i)'tt9f$  
       |dz"uIrT  
    文件信息 `yP`5a/  
    e_|Z&  
     'zbvg0T  
    |;7mDhj=  
    延伸阅读 51`&%V{daL  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     r^a:s]  
    - 光栅级次分析器 S43JaSw)  
    - Talbot效应的建模  DR{O.TX  
    x. #E3xI  
     d]Y;rqjue  
    有什么问题可以添加微信~ lKB9n}P  
    qDG2rFu&[  
     Gx8!AmeX  
     
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