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摘要 rfgkw
=r3 %jWH6 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 a5/6DK>
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 e'FBV[e F%t_9S,)O 建模任务 &Hb;; Ic( G,#]`W@qhK
 HH-A\#6J 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) `K , {Y_
H] 6i1j 某一位置的Talbot图样 _.9):i2<SF
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 /$Qs1* #.<Uy."z2 VirtualLab Fusion的工作流程 Q[j'FtP% Dl
a }-A: 构建光栅结构 pyvH [ - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] WH>= *\ - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] BBV"nm_(/ ;Y6XX_ 通过参数运行计算不同位置的强度 B] KR * - 参数运行文件的使用 [用例] }Y}f7 3-| b^*9m PP  8 #m,TOp L}~"R/iWCT VirtualLab Fusion技术 9nM_L V
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 C+0MzfLgf l}bAwJ? 延伸阅读 sf([8YU d
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~ u)} / 有什么问题可以添加微信~ !^ y H]v  D6$*#D3U
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