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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 rK(TekU  
     z>}H[0[#  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 LYhjI  
    j2^Vz{  
     > >%m,F[  
    RA^6c![  
    建模任务 |q!O~<H@  
     OXDEU.  
     29z$z$l4  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ;iq H:wO  
     Bc&Y[u-n  
    某一位置的Talbot图样 upi\pXv  
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     &65I 6  
       JP{Y Q:NF  
    某一位置的Talbot图样 #7v=#Jco  
    cb82k[L6  
     pd^"MG  
    SJ*qgI?}T  
    不同位置的Talbot图样 GBSuTu8  
    @}\wec_   
     @5}(Y( @  
    b=+3/-d  
    不同位置的Talbot图样 &+|bAn9AJ  
    L+ K,Y:D!W  
     ;r?s7b/>  
    "* 8>` 6E  
    沿Z轴的强度 #V9do>Cu%  
    9w!PA-) L  
     i4Da'Uk  
    5D+rR<pD}"  
    走进VirtualLab Fusion [[s^rC<d  
    F81Kxcs  
     {Ri6975  
    9s4>hw@u  
    VirtualLab Fusion的工作流程 xcE2hK/+  
    <I 0EjV  
     构建光栅结构 6qR5A+|;  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] rczwxWK  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] a! gj_  
    yRy^'E~  
     通过参数运行计算不同位置的强度 W %<,GV  
    - 参数运行文件的使用 [用例] y/Ui6D  
    `|p8zV  
    C23Gp3_0/  
    b?,''t  
    VirtualLab Fusion技术 %6Y\4Fe  
    QC Jf   
     Ex<@:  
       Yij_'0vZ  
    文件信息 ;iA$yw:  
    nTv^][  
     *4y0Hq  
    -&h<t/U  
    延伸阅读 ~--b#o{  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     q|_Cj]{  
    - 光栅级次分析器 :Qu.CvYF  
    - Talbot效应的建模 h'B0rVQia>  
    . efbORp  
     RDxvN:v  
    有什么问题可以添加微信~ MjW{JR)I  
    ,a3M*}Y ~3  
     )1/J5DI @8  
     
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