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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 A|_%'8  
     T.P Z}4  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ilcy/  
    A;j$rGx  
     S%s|P=u  
    H&=4y) /.  
    建模任务 2a(yR >#  
    VE"0 VB.  
     DD6`k*RIk.  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 9g5{3N3  
     ySK Yqt z  
    某一位置的Talbot图样 UFAMbI  
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    某一位置的Talbot图样 }V#9tWW  
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    不同位置的Talbot图样 -KJ!  
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    不同位置的Talbot图样 q,,>:]f#  
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     I1 R\Ts@  
    yH"$t/cU"R  
    沿Z轴的强度 IJBJebqL  
    sa gBmA~  
     $h]Y<&('G  
    C|~JPcl  
    走进VirtualLab Fusion &0 )xvZ  
    #b"5L2D`y'  
     >7(~'#x8A"  
    C(1A8  
    VirtualLab Fusion的工作流程 wI]R+.  
    s8yTK2v2\  
     构建光栅结构 OxHw1k  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] q~' K9  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] #9hXZr/8  
    gQpD]p%k  
     通过参数运行计算不同位置的强度 uM#U!  
    - 参数运行文件的使用 [用例] XAULD]Q  
    oB{}-[G  
    o|^?IQ7bpf  
    ~ut& U  
    VirtualLab Fusion技术 G0; EbJ/&  
    wp]7Lx?F  
     Yr"!&\[oz  
       J.e8UQ@=5  
    文件信息 j#nO6\&o  
    hA1gkEM2o  
     x+*L5$;h  
    Uygw*+  
    延伸阅读 n"<GJ.{  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     y%IG:kZ,  
    - 光栅级次分析器 9*TS90>a  
    - Talbot效应的建模 Xx y Bg!R  
    fdq^!MWTi  
     Nvx)H(8F  
    有什么问题可以添加微信~ X.T\=dm%v  
    ]dGr1 ncu  
     n2y/zP>TC  
     
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