切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命  
    发帖 回复
    返回列表
    • 1025阅读
    • 0回复

    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5658
    光币
    22442
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 t:yJ~En]=  
     Zg/ ],/`  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 xF])NZy|  
    '/ *;g#W=  
     j,CVkA*DY  
    2R>!Wj'G+o  
    建模任务 L2{b~`UvP  
    J[jzkzSu`  
     K\y W{y1  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) .kZ<Q]Vk  
     S7f"\[Aw  
    某一位置的Talbot图样 zsmlXyP'e!  
    PIZK*Lop  
     {RHa1wc  
       }x(Ewr  
    某一位置的Talbot图样 }E&48$0h  
    ;$/]6@bqB  
     0W!S.]^1  
    erdA ?  
    不同位置的Talbot图样 hL}AgY@  
    #kRt\Fzq  
     2b^E8+r9  
    prO ~g  
    不同位置的Talbot图样 xa$4P [  
    S- JD}+ 9  
     9/$Cq  
    /nzJ`d  
    沿Z轴的强度 H.#zbKj  
    :XCRKRDLE  
     :?f^D,w_B  
    y?ypRCgO.u  
    走进VirtualLab Fusion /[,0,B9!3  
    NXSjN~aG2  
     A!IZIT5)m  
    cxc-|Xori  
    VirtualLab Fusion的工作流程 (65|QA   
    Fb<fQIa  
     构建光栅结构 }-T :   
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] gX;)A|9e  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ]@ N::!m  
    xy+hrbD)j  
     通过参数运行计算不同位置的强度 qX:Y I3:,@  
    - 参数运行文件的使用 [用例] \fJ _,  
    p"d_+  
    oN&U@N/>aU  
    Hd?#^X  
    VirtualLab Fusion技术 U)] }EgpF  
    Wh^wKF~%  
     !MEA@^$#  
       k293 wS  
    文件信息 !;E{D  
    Dgm"1+  
     O[15x H,  
    v{oHC4  
    延伸阅读 !m6=Us  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     R/Te ;z  
    - 光栅级次分析器 m*'87a9q0  
    - Talbot效应的建模 ^EcwY- Qr  
    7O<K?;I  
     Dn@Sjsj>  
    有什么问题可以添加微信~ J8?V1Ad{  
    _l=X?/  
     F~wqt7*  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表