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摘要 8 .%0JJ .3
RjW wsC~B 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 +z;*r8d<X
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 CF bNv9GZj ]\pi!oa 建模任务 6v)TCj/ :j&enP5R(q
 t1 3V>9to 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) \g}]u(zg%
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 ](r}` u%}y Olzw) WjG VirtualLab Fusion的工作流程 i~ u4v3 r= w.m8SvS&b 构建光栅结构 ^Om}9rXw1 - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Zl>SeTjB- - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] K6v~!iiK$ ^>|ZN2 通过参数运行计算不同位置的强度 L.;b( bFe - 参数运行文件的使用 [用例] 45yP {+/-Q p $Tk;;wm  =R5 W
KX tD8fSV VirtualLab Fusion技术 ifn=De3+
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 !u7KgB<=/F )LP' 4* 文件信息 NpVL;6?7T
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 O,%UNjx9K N#u'SGTG 延伸阅读 i c{I
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<F3{-f'Rx 有什么问题可以添加微信~ Iy)1(upM  > .wZEQ6QK
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