先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1587
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 %a%xUce&-X  
Jf YgZ\#  
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 K;F1'5+=D  
a4Q@sn;]  
9"~ FKMN  
y|`-)fY  
目录 `DM%a~^yg  
第1章 绪论 I G1];vX  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 -TUJ"ep]QJ  
1.1.1 先进光学元件的特点 T{dQ4 c  
1.1.2 先进光学元件的应用 I}C2;[aB  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 3>O|i2U  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 'l*X?ccKy  
1.2 先进光学元件的制造技术 f{BF%;  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 3j7FG%\  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 wQxI({k@  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 hD6BP  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 MN?aPpr>  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 Al>d 21U  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 VfU"%0x  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 Z.VKG1e}  
1.3.2 光学元件的检测技术 xSY"Ru  
1.3.3 光学误差的评价方法 =uP? ?E  
参考文献 ^rWg:fb  
4 m:h&^`N  
第2章 先进光学元件加工装备技术 (_FU3ZW!  
2.1 机床设计理论 J%"BCbxW~B  
2.1.1 机床设计要求 -FZC|[is  
2.1.2 机床设计方法 Ho &Q }<(  
2.2 超精密机床关键部件及技术 g'.OzD  
2.2.1 主轴部件 PTe L3L  
2.2.2 直线导轨部件 6tKrR{3#A  
2.2.3 微位移进给部件 7;jD>wp 9D  
2.3 超精密机床数控技术 .}IW!$ dq  
2.3.1 数控技术 eL3 _Lz  
2.3.2 超精密加工数控系统 u\\t~<8  
2.3.3 开放式数控系统 =j.TDv'^nd  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 g~hMOI?KK^  
2.4 超精密磨削加工装备 2<D| {  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 ]$smFF  
2.4.2 超精密磨削成形机床 10S I&O  
2.5 超精密加工工具技术 erH,EE^-x<  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 -.Wcz|  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 us.#|~i<h  
参考文献 /7}pReUj  
5kGniG?T#  
第3章 先进光学元件磨削技术 OBi(]l}^O  
3.1 超精密磨削加工发展 y4-kuMYR  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 ] Q5:JV  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 ,`geOJn'  
3.2 超精密磨削过程分析 n`,  <g  
3.2.1 超精密磨削机理 e=i X]%^  
3.2.2 磨削过程基本参数 Oeh A3$|#  
3.3 超精密磨削加工关键技术 PaCC UF  
3.4 砂轮修整 (`(D $%  
3.4.1 杯形砂轮修整 8t!jo.g  
3.4.2 ELID在线电解修整 $d<NN2  
3.4.3 放电修整 OZ&/&?!XE  
3.4.4 激光修整 J(]|)?x2  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 VZ9 p "  
3.5 非球面磨削加工技术 ZHTi4JY  
3.5.1 微小非球面加工技术 ~?\U];l  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 ]8A*uyi  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 M}8P _<,  
3.6 工艺软件设计开发 }UPC~kC+Z  
3.6.1 数控编程格式 KqI:g*H'x7  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 l7-lXl"%q  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例  2%@tnk|@  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 Y`g oV  
3.8 加工实例 sOhn@*X  
参考文献 DNGyEC  
#b^6>  
第4章 先进光学元件抛光技术 T5:Q_o]  
4.1 超精密抛光加工发展 | 6{JINW  
4.2 平面光学元件抛光技术 Fb{N>*l.  
4.2.1 平面抛光原理 `2f/4]fY  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 x}/jh  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 7_\G|Zd  
4.3 非球面光学元件抛光技术 NBk0P*SI  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 5*44QV  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 tVG;A&\,6  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 5} %R  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 x?L0R{?WW  
参考文献 S~/2Bw!2  
,U""m7   
第5章 先进光学元件精密检测技术 =Kj{wA O  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 ?t 'V5$k\  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 48:xvTE?N  
5.1.2 长行程轮廓检测法 hO"!q;<eS  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 <|r|s  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 wUaWF$~y  
5.2.1 零位干涉检测技术 f&<+45JI  
5.2.2 非零位干涉检测技术 TtkHMPlm_  
5.3 光学非球面精密检测平台 _Q+c'q Zkl  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 -,y p?<  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 d*8*9CpO:  
参考文献 5aaM;45C  
KKC%!Xy  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 0/v]YK.  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 YE`Y t  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 D$>!vD'  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 9"#C%~=+  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 |R.yuSL)(  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 Gazva/e  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 v~ SM"ky#  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 +zh\W9  
6.3.1 数据处理系统总体设计  qNJc*@s  
6.3.2 数据预处理 S%- kN;  
6.3.3 误差补偿及结果 O}i+ 1  
参考文献 kWW2N0~$  
`df!-\#  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 DgT]Nty@b  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 J8)l,J"  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 &dtst??  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 ]@ruizb8  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 9)wYSz'  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 ~61b^L}$  
7.2.2 加工环境无线监控对象 (RFH.iX  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 GST#b6S  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 >B6* `3v  
7.3.1 系统硬件组成 3Y Mqp~4  
7.3.2 系统软件组成 hJ(vDv%  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 JU17]gQ  
参考文献 Qs\a&Q=0H  
<&m50pq  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 vCP[7KhGj  
8.1 亚表面损伤概述 v,iZnANZ&P  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 +ydd"`  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 3RaW\cWzg  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 H$Kc~#=  
8.2 亚表面损伤的形成机理 hEHd$tH06  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 p q`uB  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 eN<L)a:J_  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 X$5  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 nG<oae6z"  
8.3.1 损伤性检测技术 P<IDb%W  
8.3.2 无损检测技术 Z5Lmg  
8.3.3 亚表面损伤的评价 Nf([JP% 4  
8.3.4 亚表面损伤的预测 ktrIi5B  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制  2yJ{B   
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 " AUSgVE+h  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 t.8r~2(?  
参考文献 di/Q Jrw  
S46aUkW.  
关键词: 光学元件
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