先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1454
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 yRi/YR#  
Y@\5gZ&T  
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 a!^wc,  
H62*8y8  
&s;%(c04A  
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目录 ?Ru`ma\;  
第1章 绪论 S&uL9)Glb  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 @>:07]Dxo  
1.1.1 先进光学元件的特点 *nW9)T  
1.1.2 先进光学元件的应用 v_@_J!s  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 h{xER IV1u  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 5)o IPHXw  
1.2 先进光学元件的制造技术 o%QQ7S3 P  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 yK7>^p}V  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 *f#4S_ws`  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 {n{}Y.  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 G\p; bUF  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 +e:ZN tr9  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 XZ&v3ul  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 BD0-v`  
1.3.2 光学元件的检测技术 l9ihW^  
1.3.3 光学误差的评价方法 ,< icW &a  
参考文献 (Sv%-8?gs  
`^ _:  
第2章 先进光学元件加工装备技术 66Xt=US  
2.1 机床设计理论 _dBU6U:V  
2.1.1 机床设计要求 ^Q,/C8qeb  
2.1.2 机床设计方法 f,a %@WT  
2.2 超精密机床关键部件及技术 dJ^`9W  
2.2.1 主轴部件 ?mAw"Rb!  
2.2.2 直线导轨部件 ?.4l1X6Ba  
2.2.3 微位移进给部件 k0IU~y%  
2.3 超精密机床数控技术 V$%K=[  
2.3.1 数控技术 ,h._iO)I^  
2.3.2 超精密加工数控系统 M<srJ8|'  
2.3.3 开放式数控系统 NGY I%:  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 "'#Hh&Us  
2.4 超精密磨削加工装备 y)E2=JQA/  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 n_Y]iAoc`  
2.4.2 超精密磨削成形机床 //@=Q!MW  
2.5 超精密加工工具技术 ,AM-cwwT:u  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 0cUt"(]  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 xH[yIfHkG@  
参考文献 1F,_L}=o1s  
B^?XE(.  
第3章 先进光学元件磨削技术 ( `+Z'Y  
3.1 超精密磨削加工发展 Vgn1I(Gj4  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 fO>~V1  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 |]cDz  
3.2 超精密磨削过程分析 OP}p;(  
3.2.1 超精密磨削机理 F8Wq&X#r  
3.2.2 磨削过程基本参数 \W^+vuD8  
3.3 超精密磨削加工关键技术 K:@=W1  
3.4 砂轮修整 Rk[ * p  
3.4.1 杯形砂轮修整 3raA^d3!?  
3.4.2 ELID在线电解修整 [9_ (+E[}  
3.4.3 放电修整 8|NJ(D-$  
3.4.4 激光修整  ]:fCyIE  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 s*~o%emw  
3.5 非球面磨削加工技术 8Jj0-4]  
3.5.1 微小非球面加工技术 34Khg  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 ]!aa#?Fc  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 5qSZ>DZ  
3.6 工艺软件设计开发 [B @j@&  
3.6.1 数控编程格式 <,4(3 >js  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 Jk`)`94 I  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 3og$'#6P  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 f {Z%:H  
3.8 加工实例 ><R.z( 4%  
参考文献 arKmc@"X  
y?#J`o- O  
第4章 先进光学元件抛光技术 {dXBXC/Ju  
4.1 超精密抛光加工发展 GPLt<K!<#  
4.2 平面光学元件抛光技术 Z[S+L"0  
4.2.1 平面抛光原理 TeCpT2!5j  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 E2H<{Q   
4.2.3 平面抛光材料去除模型 *;E+9^:V  
4.3 非球面光学元件抛光技术 @[lc0_ b  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 ]NV ]@*`tO  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 $uK"@Mw  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 M2Fj)w2   
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 lV6[d8P  
参考文献 \nAHpF  
&MZy;Sq  
第5章 先进光学元件精密检测技术 'Sy *'&  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 65#:2,s  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 Wo+CQH6(  
5.1.2 长行程轮廓检测法 2qMsa>~  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 33'lZ ubV  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 v#]v,C-*  
5.2.1 零位干涉检测技术 u<=KC/vZe  
5.2.2 非零位干涉检测技术 T) tZU?  
5.3 光学非球面精密检测平台 Df:7P>  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 56SS >b  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 )QCM2  
参考文献 l()MYuLNV  
qJXsf M6  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 pNE\@U|4E  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 k7|z$=zY  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 fb.\V]K  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 W#jZRviyq!  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 W({TC  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 wEnuUC4j  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 ~/jxB)t  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 O< tnM<"(  
6.3.1 数据处理系统总体设计 Jp3di&x  
6.3.2 数据预处理 }#HTO:r  
6.3.3 误差补偿及结果 UcLNMn|  
参考文献 Q|= Q]$d  
=6Sj}/   
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 v V6Lp  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 xJ2O4ob  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 q bZ,K@0  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 YP#AB]2\}  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 |[owNV>  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 Yl&tkSw46  
7.2.2 加工环境无线监控对象 me:|!lI7YU  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 1 73<x){  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 7}'A)C>J;  
7.3.1 系统硬件组成 x #tu  
7.3.2 系统软件组成 !q$&JZY  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 {nQ)4.e6  
参考文献 MO~~=]Y'  
12tJrS*Z  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 ewAH'H]o  
8.1 亚表面损伤概述 JU'WiR bcb  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 ?VZ11?u  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 Dpdn%8+Z  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 i,'Ka[6   
8.2 亚表面损伤的形成机理 B]|6`UfB  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 g>!:U6K  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 @Xve qUUU  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 1J-Qh<Q   
8.3 亚表面损伤的检测与评价 T1(j l)  
8.3.1 损伤性检测技术 NDRW  
8.3.2 无损检测技术 $K?T=a;z  
8.3.3 亚表面损伤的评价 ke}Y 2sB  
8.3.4 亚表面损伤的预测 :J Gl>V  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 "B9[cDM&  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 QOT)x4!)  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 %wt2F-u  
参考文献 ` y^zM/Ib  
){+[$@9  
关键词: 光学元件
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