先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1442
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 157_0  
*eVq(R9?T  
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 E$e7(D  
`@]s[1?f  
Lsmcj{1d  
RpHlq  
目录 U@lc 1#  
第1章 绪论 ie}O ZM  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 gV_/t+jI  
1.1.1 先进光学元件的特点 mP(3[a_Q  
1.1.2 先进光学元件的应用 w2 )Ro:G  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 qS!r<'F3dP  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 p5Q]/DhG  
1.2 先进光学元件的制造技术 Qw5nfg3T  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 3dShznlf_*  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 GP|=4T}Bf  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 I$n= >s  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 S:\i M:  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 nR!e(  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 PxHFH pL  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 ) nfoDG#O  
1.3.2 光学元件的检测技术 z3fv}_\z  
1.3.3 光学误差的评价方法 DHidI\*gT  
参考文献 !*IMWm>  
\u3\TJ  
第2章 先进光学元件加工装备技术 )&DAbB!O  
2.1 机床设计理论 l.[pnLD  
2.1.1 机床设计要求 KaGUpHw  
2.1.2 机床设计方法 /'O8RUjN  
2.2 超精密机床关键部件及技术 XX;4A  
2.2.1 主轴部件 ^?69|,  
2.2.2 直线导轨部件 $EMOz=)I#  
2.2.3 微位移进给部件 adON&<  
2.3 超精密机床数控技术 ?mQ^"9^XS  
2.3.1 数控技术 G4&s_ M$  
2.3.2 超精密加工数控系统 ZO}Og&%  
2.3.3 开放式数控系统 _`$LdqgE  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 e5 =d Ev  
2.4 超精密磨削加工装备 uFd$*`jS  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 ^6 6!f 5^W  
2.4.2 超精密磨削成形机床 gwZ<$6  
2.5 超精密加工工具技术 NzRvbj]  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 <G"cgN#]  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 4 23zX6  
参考文献  w-jElV  
MatXhP] Fi  
第3章 先进光学元件磨削技术 )fH Q7  
3.1 超精密磨削加工发展 0oe<=L]F  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 ]AP1+ &9fN  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 I Mgd2qIC  
3.2 超精密磨削过程分析 NOz3_k  
3.2.1 超精密磨削机理 C \ Cc[v  
3.2.2 磨削过程基本参数 Fc[KIG3@  
3.3 超精密磨削加工关键技术 yIw}n67  
3.4 砂轮修整 > =>/~dIb  
3.4.1 杯形砂轮修整 BT_]=\zi  
3.4.2 ELID在线电解修整 fJ,N.O+9E  
3.4.3 放电修整 rvA>khu0/  
3.4.4 激光修整 h#rP]o@  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 .@dC]$2=  
3.5 非球面磨削加工技术 !`ol&QQ#  
3.5.1 微小非球面加工技术 ! \] ^c  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 WlL(NrVA@@  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 `s}*  
3.6 工艺软件设计开发 c=\tf~}^Ms  
3.6.1 数控编程格式 ^Fk;t  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 [ X*p [  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 6*8Wtq  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 LvG.ocCG  
3.8 加工实例  a+h$u  
参考文献 wNONh`b  
}v1wpv/b(  
第4章 先进光学元件抛光技术 ;!yK~OBxt  
4.1 超精密抛光加工发展 bT,:eA  
4.2 平面光学元件抛光技术 FU|brS t  
4.2.1 平面抛光原理 =;Id["+  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 (1/Sf&2i  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 M 8^ID #  
4.3 非球面光学元件抛光技术 ~{x1/eH  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 `CK~x =  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 ~W'DEpq_  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制  %zavSm"  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 $+gQnI3w  
参考文献 s8j |>R|k  
`At.$3B  
第5章 先进光学元件精密检测技术 l![M,8  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 C*`WMP*  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法  yCX5 5:  
5.1.2 长行程轮廓检测法 p l)":}/)  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 za l]t$z>  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 @uSO~. 7  
5.2.1 零位干涉检测技术 D{9a'0J  
5.2.2 非零位干涉检测技术 {9IRW\kn  
5.3 光学非球面精密检测平台 kuY^o,u-1e  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 whI{?NP  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 ~Ps*i]n(  
参考文献 B5\l&4X  
m l`xLZN>L  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 o<g?*"TRh  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 .5JIQWE(  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 8jK=A2pTa  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 tldT(E6  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 .[={Yx0!I  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 UBo0c?,4  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 lH fZw})d  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 +Z#=z,.^  
6.3.1 数据处理系统总体设计 FlO?E3d  
6.3.2 数据预处理 SX3'|'-  
6.3.3 误差补偿及结果 EPo)7<|>  
参考文献 ~Nh6po{  
 D2e-b  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 Y A.&ap  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 {uDW<u_!  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 +h) "m/mE  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 VPCI5mS_  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 ~z^l~Vyg?  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 3 9 8)\3o  
7.2.2 加工环境无线监控对象 !G%!zNA S  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 iGW(2.Z  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 ra^</o/  
7.3.1 系统硬件组成 \e a*  
7.3.2 系统软件组成 _KRnx-  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 +U fw  
参考文献 >=k7#av  
Q`CuZkP(  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 -]%EX:bm  
8.1 亚表面损伤概述 -e_fn&2,Y  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 ^!['\  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 F6{g{ B  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 H4Bt.5O*  
8.2 亚表面损伤的形成机理 <I,4Kc!  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 K#FD$,c~  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 H UJqB0D ?  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 H )X[%+  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 4vg,g(qi<  
8.3.1 损伤性检测技术 ,Wtw0)4  
8.3.2 无损检测技术 6Ga'_P:  
8.3.3 亚表面损伤的评价 97c0bgI!+  
8.3.4 亚表面损伤的预测 qw+ 7.h#V  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 l@Lk+-[D  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 l,n_G/\  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 /cS8@)e4  
参考文献 ]H`wE_2tu  
t/i*.>7  
关键词: 光学元件
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