先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1855
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 ,U/ZG|=v  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 x k5Z&z  
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目录 H<YS2Ed  
第1章 绪论 9ozUg,+Z|J  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 s4c2  
1.1.1 先进光学元件的特点 Rm!Iv&{  
1.1.2 先进光学元件的应用 e|ngnkf(G  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 kC)ye"r  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 :X;' 37o#q  
1.2 先进光学元件的制造技术 ,.<l^sj5  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 eu|cQ^>  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 ]\<^rEU  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 M7;P)da  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 @{!c [{x,T  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 {` Lem  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 J0M7f]  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 \{[Gdj`  
1.3.2 光学元件的检测技术 ?F9:rUyN  
1.3.3 光学误差的评价方法 f?1?$Sp/W  
参考文献 xW\iME  
&8 ~+^P1w  
第2章 先进光学元件加工装备技术 7a}vb@  
2.1 机床设计理论 {1V~`1(w  
2.1.1 机床设计要求 -HU5E>xG  
2.1.2 机床设计方法 Yvu!Q  
2.2 超精密机床关键部件及技术 U_HOfix  
2.2.1 主轴部件 P'6eK?  
2.2.2 直线导轨部件 Gt^Fj&^  
2.2.3 微位移进给部件 0XBv8fg  
2.3 超精密机床数控技术 EI*B(  
2.3.1 数控技术 N%\!eHxy  
2.3.2 超精密加工数控系统 dk9'C  
2.3.3 开放式数控系统 ("k.5$  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 Mg0[PbS  
2.4 超精密磨削加工装备 c} GH|i  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 O!(M:.  
2.4.2 超精密磨削成形机床 B#_<?  
2.5 超精密加工工具技术 h7|#7 d  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 2WRa@;Tj  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 }0Qex=vkO  
参考文献 J?~El&  
kqfO3{-;{:  
第3章 先进光学元件磨削技术 Yp1;5Bbp  
3.1 超精密磨削加工发展 I]|X6  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 "RH pj3 si  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 Pvq74?an`  
3.2 超精密磨削过程分析 9"3 7va  
3.2.1 超精密磨削机理 db%o3>>e  
3.2.2 磨削过程基本参数 w]hs1vch  
3.3 超精密磨削加工关键技术 ao]Dm#HiO  
3.4 砂轮修整 |#);^z_  
3.4.1 杯形砂轮修整 0Z{f!MOh  
3.4.2 ELID在线电解修整 ?H\K];  
3.4.3 放电修整 RG9YA&1ce  
3.4.4 激光修整 }]ak6'|[  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 x t7ZrT  
3.5 非球面磨削加工技术 3?F*|E_  
3.5.1 微小非球面加工技术 B 3Y,|*  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 ?CgqHmf\\(  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 Lj"@JF;c  
3.6 工艺软件设计开发 Nv@SpV'  
3.6.1 数控编程格式 [=[>1<L>  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 uz6S7I  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 7cTDbc!E-  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 Nr?Z[6O|  
3.8 加工实例 |N%?7PZ(  
参考文献 N^\<y7x  
!e5!8z  
第4章 先进光学元件抛光技术 1PD{m{  
4.1 超精密抛光加工发展 ztcV[{[g  
4.2 平面光学元件抛光技术 5hN`}Ve  
4.2.1 平面抛光原理 kcg{z8cd'r  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 B|9)4f&\=R  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 W_:3Sj l'  
4.3 非球面光学元件抛光技术 +yvtd]D$2W  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 (7l'e=J0  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 cI~uI '  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 WC6yQSnY&  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 "]1 !<M6\i  
参考文献 5G!0Yy['  
jlvh'y`  
第5章 先进光学元件精密检测技术 V2As 5  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 k1l\Rywp  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 ~:`5Y"Av:  
5.1.2 长行程轮廓检测法 a<c]N:1  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 HjCWsQM  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 TR;"&'#k  
5.2.1 零位干涉检测技术 r%`g` It  
5.2.2 非零位干涉检测技术 (X=JT  
5.3 光学非球面精密检测平台 0_F6t-  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 a_jw4"Sb  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 Nm;yL  
参考文献 ]S@zhQ  
Zq tL4M~9  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 z TYHwx  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 &PQhJ#YG  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 @|AHTf!  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 N|JM L  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 MI^@p`s  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 -;NGS )RM  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 /V-uo(n< .  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 * 0vq+C  
6.3.1 数据处理系统总体设计 >6Y @8 )  
6.3.2 数据预处理 t zn1|  
6.3.3 误差补偿及结果 k }amSsE  
参考文献 tuT>,BbR  
z$64Ep#  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 /g/]Q^  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 y vIeK6  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 F ru&-T[  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 V{jQ=<)@e  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 (AYzN3 ?D  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 -!o*A>N  
7.2.2 加工环境无线监控对象 e}f#dR+(  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 1SAO6Wh  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 @:,B /B;  
7.3.1 系统硬件组成 Dq07Z^#'  
7.3.2 系统软件组成 %mqep5n(  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 [3K& cX}B  
参考文献 :.DZ~I  
p{@jM  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 |Y-{)5/5}  
8.1 亚表面损伤概述 "SMRvi57T  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 rY?]pMp  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 ()'yY^   
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 "A( D}~i  
8.2 亚表面损伤的形成机理 lJHU1 gu  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 :@rq+wvP  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 9%#u,I  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 Y0z)5),[U:  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 v(0IQ  
8.3.1 损伤性检测技术 _xWX/1DY  
8.3.2 无损检测技术 $?Km3N\?v  
8.3.3 亚表面损伤的评价 4h*c{do  
8.3.4 亚表面损伤的预测 14~#k%zO(  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 wZUZ"Y}9  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 | )No4fm  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 &0b\E73  
参考文献 ,+P2B%2c  
F ,;B  
关键词: 光学元件
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