先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1610
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 /H~]5JZ3-E  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 vf0 fa46  
Ev ]oPCeA  
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目录 oZ\zi> Y,  
第1章 绪论 9+"ISXS  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 )~be<G( a  
1.1.1 先进光学元件的特点 fM!@cph(8  
1.1.2 先进光学元件的应用 r,Tq";N'  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 TH>7XK<90M  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 &1FyauH  
1.2 先进光学元件的制造技术 ;U[W $w[  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 %(A@=0r#  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 bPA1>p7  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 @pN6uDD}R  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 WXFC e@  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 :V~ AjV  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 hka`STK{  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 Wxzh'c#\8  
1.3.2 光学元件的检测技术 Q`!<2i;  
1.3.3 光学误差的评价方法 siz:YRur  
参考文献 rYO~/N  
PwC^ ]e  
第2章 先进光学元件加工装备技术 oD 3Q{ e  
2.1 机床设计理论 _#y=T20'3  
2.1.1 机床设计要求 N[&(e d=  
2.1.2 机床设计方法 (V<pz2\  
2.2 超精密机床关键部件及技术 4P=)u}{]^#  
2.2.1 主轴部件 chXTFLC~  
2.2.2 直线导轨部件 CZ.HQc  
2.2.3 微位移进给部件 HE@P<  
2.3 超精密机床数控技术 $g  '4'  
2.3.1 数控技术 RU+F~K<  
2.3.2 超精密加工数控系统 {nH*Wu*^  
2.3.3 开放式数控系统 jwO7r0?\`G  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 ?6_U>d{  
2.4 超精密磨削加工装备 UUEbtZH;  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 qJK-HF:#  
2.4.2 超精密磨削成形机床 hx hs>eY  
2.5 超精密加工工具技术 C^ZD Uj`  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 d(F4-kBd  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 "O<TNSbrC  
参考文献 }*,z~y}V#  
N{?Qkkgx  
第3章 先进光学元件磨削技术 #C+7~ns'  
3.1 超精密磨削加工发展 bYwe/sR  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 ,B$e'KQ  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 fKNDl\SD  
3.2 超精密磨削过程分析 qb KcI+)47  
3.2.1 超精密磨削机理 &Vbcwv@  
3.2.2 磨削过程基本参数 -)[~%n#X+t  
3.3 超精密磨削加工关键技术 j1K?QH=e#{  
3.4 砂轮修整  \z?-  
3.4.1 杯形砂轮修整 T#ehJq 5  
3.4.2 ELID在线电解修整 iCdq-r/r!6  
3.4.3 放电修整 Kgb<uXk  
3.4.4 激光修整 }0 =gP?.kE  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 G$1gk^G's  
3.5 非球面磨削加工技术 -z'6.I cO  
3.5.1 微小非球面加工技术 `g'z6~c7n  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 3$P GLM  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 7%yP5c B  
3.6 工艺软件设计开发 |3=tF"h  
3.6.1 数控编程格式 @pV&{Vp  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 iJzW3%E  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 |V mQ  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 ,S-zY\XB  
3.8 加工实例 Vm%0436wOY  
参考文献 crU]P $a  
DHh30b$c  
第4章 先进光学元件抛光技术 fX}dQN~z  
4.1 超精密抛光加工发展 yD( v_J*  
4.2 平面光学元件抛光技术 ty b-VO  
4.2.1 平面抛光原理 >qci $  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 M (.Up  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 P |;=dX#-  
4.3 非球面光学元件抛光技术 g42f*~l  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 ju(QSZ|;  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 ::!{f+Up  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 m ?jF:] ^  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 MXynv";<H  
参考文献 89[OaT_hs  
y-vQ4G5F|  
第5章 先进光学元件精密检测技术 ^spASG -o  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 Pql;5 ~/  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 Q9sxI}D )R  
5.1.2 长行程轮廓检测法 N>',[4pJ|  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 @mu=7_$U  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 ,{sCI/  
5.2.1 零位干涉检测技术 tkf^sGgNO  
5.2.2 非零位干涉检测技术 RhI>Ak;-  
5.3 光学非球面精密检测平台 zzZ K S  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 pLsJa?}R  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 5+Hw @CY3  
参考文献 Cm[^+.=I  
qh/}/Sl;  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 7=pJ)4;ZA  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 Q#sLIZ8=  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 kqp*o+Oz',  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 >UB ozmF=\  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 );*#s~R  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 A9ru]|?  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 0uS6F8x@  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 OM#eJ,MH<)  
6.3.1 数据处理系统总体设计 n]snD1?KX  
6.3.2 数据预处理 8aa`0X/6  
6.3.3 误差补偿及结果 fz`\-"f]  
参考文献 hV[=  
eC*-/$D  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 zM++ Z*  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 U$AV"F&!&}  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 Z)RV6@(  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 k+y>xI,  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 d(;Qe}ok>  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 o :_'R5  
7.2.2 加工环境无线监控对象 KU)~p"0[6]  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 VT5o#NR{R  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 cA25FD  
7.3.1 系统硬件组成 +4m~D`fqt[  
7.3.2 系统软件组成 %$}* y   
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 cj9<!"6  
参考文献 f>jAu;S  
ip2BvN&  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 wsyAq'%L  
8.1 亚表面损伤概述 wd0*"c@  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 /\|Behif  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 FOD_m&+  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 88M$mjx  
8.2 亚表面损伤的形成机理 'I1^70bB  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 O`Ge|4  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 Sz'JOBp  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 9{XC9 \~  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 wU)vJsOq  
8.3.1 损伤性检测技术 -KFozwr5/  
8.3.2 无损检测技术 yfCdK-9+B  
8.3.3 亚表面损伤的评价 }@avG t;v  
8.3.4 亚表面损伤的预测 9ZXEy }q57  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 A]q"+Z]  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 !%Qm{R  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 I.RmBUq):s  
参考文献 DW.vu%j^[  
MPF;P&6  
关键词: 光学元件
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