先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1532
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 Vv~rgNh  
s? @{  
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 {'4h.PB+r  
*Em 9R  
rhO ]4A  
$?YRy_SI  
目录 w4H3($ K  
第1章 绪论 L1D{LzlBti  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 WBFG_])  
1.1.1 先进光学元件的特点 rR@ t5  
1.1.2 先进光学元件的应用 *A':^vgk  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 >:!TfuU^R  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 wXIsc;  
1.2 先进光学元件的制造技术 GJ edW   
1.2.1 光学元件的模压成形技术 br*L|s\P\9  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 v|C)Q %v  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 TMj(y{2  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 #"&h'V  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 D *RF._  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 ;Y5"[C9|  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 J)vP<.3:  
1.3.2 光学元件的检测技术 55 )!cw4  
1.3.3 光学误差的评价方法 $m]~d6  
参考文献 {|c <8  
R ,-y  
第2章 先进光学元件加工装备技术 Mt(wy%{zK  
2.1 机床设计理论 (" <3w2Vlh  
2.1.1 机床设计要求 /.l8Jb4  
2.1.2 机床设计方法 Sd'!(M^k3  
2.2 超精密机床关键部件及技术 &2C6q04b  
2.2.1 主轴部件 HUiW#x%;  
2.2.2 直线导轨部件 Kf2Ob 1  
2.2.3 微位移进给部件 kFZw"5hb  
2.3 超精密机床数控技术 6*u#^">,<  
2.3.1 数控技术 r e.chQ6  
2.3.2 超精密加工数控系统 {Hm0Q  
2.3.3 开放式数控系统 _IBI x\F  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 6"U&i9  
2.4 超精密磨削加工装备 [,e[~J`C  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 lp3 A B  
2.4.2 超精密磨削成形机床 R h zf.kp  
2.5 超精密加工工具技术 'yxRz5  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 c-.t8X,5(~  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 ]S4TX  
参考文献 0 Po",\^  
E5qh]z (  
第3章 先进光学元件磨削技术 QNj hA'[T  
3.1 超精密磨削加工发展 ":E 7#9  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 ig:,:KN  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 NPc]/n?vDj  
3.2 超精密磨削过程分析 Jy?s'tc  
3.2.1 超精密磨削机理 xtMN<4#E  
3.2.2 磨削过程基本参数 h^h,4 H\r  
3.3 超精密磨削加工关键技术 flDe*F^  
3.4 砂轮修整 RO"c+|Py  
3.4.1 杯形砂轮修整 5RCQ<1  
3.4.2 ELID在线电解修整 %tEjf 3  
3.4.3 放电修整 q'~ ?azg:  
3.4.4 激光修整 M>^Ho2  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 G,I[zhX\  
3.5 非球面磨削加工技术 :%cL(',Q  
3.5.1 微小非球面加工技术 Y^$^B,  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 ZLw7-H6Fh  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 n*~=O'  
3.6 工艺软件设计开发 m"*j J.MX  
3.6.1 数控编程格式 Hf!o6 o  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 yk OJhd3  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 aZEi|\VU  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 +InAK>NZ'  
3.8 加工实例 l6Wa~E  
参考文献 )\#w=P  
Qz/o-W;  
第4章 先进光学元件抛光技术 pwAawm  
4.1 超精密抛光加工发展 KLD)h,]  
4.2 平面光学元件抛光技术 7.)e4  
4.2.1 平面抛光原理 SRs1t6&y=  
4.2.2 平面抛光轨迹控制  C[MZ9 r  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 &TYTeJ]  
4.3 非球面光学元件抛光技术 }9yAYZ0q{b  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 >a7'_n_o  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 F0h`>{1%  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 o}H7;v8H  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 R{Q*"sf  
参考文献 `t_S uZ`V  
u:#+R_0#97  
第5章 先进光学元件精密检测技术 1%~yb Q  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 HnU; N S3J  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 ?u.&BP  
5.1.2 长行程轮廓检测法 0gdFXh$!e  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 NFq&a i  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 MTJ ."e<B  
5.2.1 零位干涉检测技术 iIWz\FM  
5.2.2 非零位干涉检测技术 8q9HQ4dsL  
5.3 光学非球面精密检测平台 ~ED8]*H|`  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 ArWMbT>Zqw  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 x<^+nTzN  
参考文献 _h|rH   
l_tr,3_w  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 wGdnv}#  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 A;~lG3j4  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 ?blF6Kl$  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 wG;#L7%  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 V5w00s5?%  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术  PI_MSiYQ  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 7PQ03dtfg  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 'z$BgXh\  
6.3.1 数据处理系统总体设计 (IdXJvKU!  
6.3.2 数据预处理 hTgWqp  
6.3.3 误差补偿及结果 ":s1}A  
参考文献 '<! b}1w0  
>iD&n4TK  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 d%1Tv1={  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 CqW:m*c  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 Zzy!D  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 *Ju$A  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 O.61-rp  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 ]D(!ua5|x`  
7.2.2 加工环境无线监控对象 M- inlZNR  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 :|cC7, S  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 hBb&-/  
7.3.1 系统硬件组成 V1 y"  
7.3.2 系统软件组成 5(BB`)  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 g<C_3ap/  
参考文献 O?`=<W/R  
/{Ff)<Q.Z  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 ZlaU+Y(_[  
8.1 亚表面损伤概述 -|E|-'  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 6)<g%bH!  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 \@G 7Kk*l  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 &!/E&e$_  
8.2 亚表面损伤的形成机理 ee7#PE]}  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 hcWYz  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 qm RdO R  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 W(jXOgs+_  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 ,/{(8hn  
8.3.1 损伤性检测技术 V>"nAh]}.  
8.3.2 无损检测技术 wHneVqI/U  
8.3.3 亚表面损伤的评价 VI83 3  
8.3.4 亚表面损伤的预测 )_[eqr  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 X|o;*J](  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 5]C}044  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 w-f[h  
参考文献 {+D 6o  
=Xwr*FTr  
关键词: 光学元件
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