先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1528
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 ! t?iXZ  
8|l\E VV6  
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 ~E2KZm  
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3cK I  
目录 d,B:kE0Y  
第1章 绪论 pL/DZ|S3  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 i#vYyVr[  
1.1.1 先进光学元件的特点 >I-RGW'A  
1.1.2 先进光学元件的应用 ;;6uw\6 O  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 -z)n?(pftm  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 $QN"w L||  
1.2 先进光学元件的制造技术 8 Hg+H=?  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 &m)6J'q3k  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 I 8`VNA&b  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 U`,6 * MS  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 |B.Y6L6l  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 ) l:[^$=,  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 =5~jx  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 nrub*BuA  
1.3.2 光学元件的检测技术 YIQ 4t  
1.3.3 光学误差的评价方法 P3+5?.p.  
参考文献 dxMOn  
R;uvkg[o  
第2章 先进光学元件加工装备技术 >UiYL}'br6  
2.1 机床设计理论 YNKHN2E8  
2.1.1 机床设计要求 }ppN k:B  
2.1.2 机床设计方法 1\ o59Y  
2.2 超精密机床关键部件及技术 '"0'Oua  
2.2.1 主轴部件 r1 !@hT  
2.2.2 直线导轨部件 Hq:X{)"  
2.2.3 微位移进给部件 I9_RlAd  
2.3 超精密机床数控技术 zPn+ V7F  
2.3.1 数控技术 RO+GK`J  
2.3.2 超精密加工数控系统 ~ =M7 3U#  
2.3.3 开放式数控系统 [9evz}X  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 PUp6Q;AdQ  
2.4 超精密磨削加工装备 ayR-\mZ  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 6-N?mSQU  
2.4.2 超精密磨削成形机床 $p#Bi-&  
2.5 超精密加工工具技术 y\4L{GlBM  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 .o(fe\KHf  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 =_JjmTy;a  
参考文献 >E;uU[v)I  
B+P(M!m3  
第3章 先进光学元件磨削技术 } gyj0  
3.1 超精密磨削加工发展 <wN}X#M  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 /M1ob:m  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 4tRYw0f47  
3.2 超精密磨削过程分析 JVvs-bK5  
3.2.1 超精密磨削机理 t3 8m'J :>  
3.2.2 磨削过程基本参数 X5zDpi|Dq  
3.3 超精密磨削加工关键技术 6Zm# bFQ  
3.4 砂轮修整 AifWf2$S  
3.4.1 杯形砂轮修整 yj 3cyLXw  
3.4.2 ELID在线电解修整  HSjlD{R  
3.4.3 放电修整 LO9=xGj.  
3.4.4 激光修整 (-UYB9s  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 #xsE3Wj-X  
3.5 非球面磨削加工技术 o[Q MTP  
3.5.1 微小非球面加工技术 <=zQ NBtx  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 EH+"~-v)ae  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 k+# %DK  
3.6 工艺软件设计开发 W,V:R  
3.6.1 数控编程格式 1gL2ia  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 >*~L28Fyn  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 SD"FErJ  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 @Q)OGjaq  
3.8 加工实例 TV)h`\|Z*  
参考文献 132{# tG]  
PS)4 I&;U  
第4章 先进光学元件抛光技术 \tf <B\oa  
4.1 超精密抛光加工发展 v|XTr,#  
4.2 平面光学元件抛光技术 EU2$f  
4.2.1 平面抛光原理 |GdUL%1hnC  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 %<\vGqsM  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 $O&b``  
4.3 非球面光学元件抛光技术 $ Xv*,Bq  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 sXLq*b?  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 B nFwlw  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 F&4rO\aC"/  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 ?ZV/U!y  
参考文献 =Gpylj7?~  
jD$,.AVvz  
第5章 先进光学元件精密检测技术 }^ApJS(FQ  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 Zi*2nv '  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 ,Xu-@br{  
5.1.2 长行程轮廓检测法 .[]r}[lU  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 Go5J%&E9  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 )Kc<j!8-[  
5.2.1 零位干涉检测技术 ((YMVe  
5.2.2 非零位干涉检测技术 H4WP~(__  
5.3 光学非球面精密检测平台 >6ni")Q9  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 +SP{hHa^  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 xT3BHnQ(  
参考文献 ? ^0:3$La  
ep!Rf:  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 h9t$Uz^N  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 =6j&4p `  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 Mo|;'+  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 [T8WThs  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 u(z$fG:g  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 L7n D|  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 ;,hwZZA  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 F|'>NL-=  
6.3.1 数据处理系统总体设计 Y z<3JRw  
6.3.2 数据预处理 Y xr>"KH6a  
6.3.3 误差补偿及结果 8r*E-akuyr  
参考文献 %6|nb:Oa  
52@C9Q,  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 I:=S 0&%)  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 M1k{t%M+S  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 9 &$y}Y  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 R[zpD%CI  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 |6.l7u ?d  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 LoURC$lS  
7.2.2 加工环境无线监控对象 "|x^|n8i  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 J4k=A7^N  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 W,K;6TZhh  
7.3.1 系统硬件组成 J9\Cm!H  
7.3.2 系统软件组成 GB23\Yv  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 bZ dNibN  
参考文献 qrb[-|ie&  
;@mS^ik")$  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 {0[tNth'h  
8.1 亚表面损伤概述 4-l 8,@9  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 g{7.r-uu  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 5VfyU8)7X  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 ayn)5q/z  
8.2 亚表面损伤的形成机理 qEyyT[:  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 YX!{P=Ua  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 NpE*fR')  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 V><,UI=,n  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 F|IAiE  
8.3.1 损伤性检测技术 /fKx} }g)  
8.3.2 无损检测技术 C/q'=:H;  
8.3.3 亚表面损伤的评价 &xU[E!2H%  
8.3.4 亚表面损伤的预测 b(,M1.[qt  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 a4m n*,  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术  U'k*_g  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 x,'(5*  
参考文献 BnX0G1|#  
T]^62(So  
关键词: 光学元件
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