先进光学元件微纳制造与精密检测技术

《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表，完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统；重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术；围绕实现确定性抛光，详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术；介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术，加工轨迹规划原理和数据处理方法，以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 sQac%.H;`U  
^9:`D@Z+  
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富，理论分析深入，既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展，又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果，对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 ao"2kqa)r  
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目录 {;u,04OVK  
第1章 绪论 9K/EteS
 
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 ?'z/S5&j  
1.1.1 先进光学元件的特点 oDMPYkpTu  
1.1.2 先进光学元件的应用 $_E.D>5^%7  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 8c+V$rH_  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 }!oEjcX'  
1.2 先进光学元件的制造技术 ~x\uZ^:  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 rB$~,q&.V  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 1o%#kf  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 G rp{ .  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 .R)P |@z L  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 _&BK4?H@b  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 8O9^g4?  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 dAx ? ,  
1.3.2 光学元件的检测技术 ]690ey$E:j  
1.3.3 光学误差的评价方法 Hf?@<4  
参考文献 XGR2L DR  
_ZK^JS  
第2章 先进光学元件加工装备技术 #Az#_0=  
2.1 机床设计理论 =
IRot  
2.1.1 机床设计要求 dX cbS<  
2.1.2 机床设计方法 Y b3ckktY  
2.2 超精密机床关键部件及技术 P'lnS&yA  
2.2.1 主轴部件 Wvf>5g)?  
2.2.2 直线导轨部件 `}l%61n0  
2.2.3 微位移进给部件 =wdh#{  
2.3 超精密机床数控技术 0BlEt1e2T  
2.3.1 数控技术 7,+eG">0  
2.3.2 超精密加工数控系统 S3ooG14Ls  
2.3.3 开放式数控系统 +ig%_QED[\  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 k773h`;  
2.4 超精密磨削加工装备 kg]6q T;Y  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 ly17FLJ].  
2.4.2 超精密磨削成形机床 +9b{Y^^~T  
2.5 超精密加工工具技术 I]v2-rB&-  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 z/1
$G"  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 :}zyd;Rc  
参考文献 >,{sFc  
hi1Ial\Y  
第3章 先进光学元件磨削技术 ~
4{q  
3.1 超精密磨削加工发展 pD%(Y^h?  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 f[k#Znr  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 =#V^t$  
3.2 超精密磨削过程分析 uGMzU&+  
3.2.1 超精密磨削机理 .P)lQk\  
3.2.2 磨削过程基本参数 `|ie#L(:7/  
3.3 超精密磨削加工关键技术 gM3:J
:N  
3.4 砂轮修整 VO|ECB2e  
3.4.1 杯形砂轮修整 ~i5YqH0  
3.4.2 ELID在线电解修整 kL*P 3 0  
3.4.3 放电修整 .d1ff];  
3.4.4 激光修整 Q6qW?*Y  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 @=Q!a (g  
3.5 非球面磨削加工技术 mQ:{>`  
3.5.1 微小非球面加工技术 {=ox1+d  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 U|} ?{x  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 p0@^1  
3.6 工艺软件设计开发 &>-j4,M  
3.6.1 数控编程格式 ~(^P(  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 xak)YOLRV  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 Y~I<Locv  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 7Bp7d/R-  
3.8 加工实例
'E_~|C  
参考文献 AEyvljv  
c C3>Ff'  
第4章 先进光学元件抛光技术 53])@Mmus  
4.1 超精密抛光加工发展 F^u12R)  
4.2 平面光学元件抛光技术 rm[C{Pn  
4.2.1 平面抛光原理 l{k_;i!D  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 HT;^
u"a~  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 ~lw9sm*2v2  
4.3 非球面光学元件抛光技术 ;o9h|LRs  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 S[Du >  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 O(T5  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 n3a.)tcC  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 Nc:s+ o  
参考文献 N[e,){v  
HuevDy4  
第5章 先进光学元件精密检测技术 $v0,)ALi  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 entU+Or  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 \R#SoOd  
5.1.2 长行程轮廓检测法 "?8)}
"/f  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 ))"gWO  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 = s&Rk~2b/  
5.2.1 零位干涉检测技术 IO\4dU)  
5.2.2 非零位干涉检测技术 <u64)8'  
5.3 光学非球面精密检测平台 c#n 2
!  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 YZol4q|ic  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 /{^k8 Q  
参考文献 ORExI.<`W  
n Nt28n@  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 80=0S^gEZ  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 EgjJywNhd2  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 WMB%?30  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 uz8LF47@:-  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 >P/36'  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 !jj`Ht)  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 :"%/u9<A  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 -YA,Stc-  
6.3.1 数据处理系统总体设计 aB,-E>+  
6.3.2 数据预处理 3Ua?^2l  
6.3.3 误差补偿及结果 #<*Vc6pC  
参考文献 pXk^EV0  
XiW1X6  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 s4|\cY`b-  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 Un6R)MVT  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 6r)P&J  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展
w#"\*SKK  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 9d5$cV  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 [YDSS/  
7.2.2 加工环境无线监控对象 -#v~;Ci  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 6nx\|F  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 ]fyfL|(;  
7.3.1 系统硬件组成 +jLy>=u  
7.3.2 系统软件组成 jq+(2  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 '}.
Yf_  
参考文献 `w@:h4f  
')m!48  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 <Ky-3:pxeM  
8.1 亚表面损伤概述 Pe,>ny^J1  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 9zp!lw~
;+  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 4E$MhP  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 `Q@7,z=f  
8.2 亚表面损伤的形成机理 n]4E>/\  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 fUT[tkb/!  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 VBhUh~:Om  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 9[0iIT$q$  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 -&Rv=q>  
8.3.1 损伤性检测技术 Blpk n1  
8.3.2 无损检测技术 ,B
<\a  
8.3.3 亚表面损伤的评价 3c<aI=$^
 
8.3.4 亚表面损伤的预测 <L
}@p8Lq  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 &G{GLP?H  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 l]*RiK2AC  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 )x.%P
UA  
参考文献 ;blL\|ch;  
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