先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1439
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 Kfk/pYMDq  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 Z0Df~ @  
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! C|VX,w  
目录 GMJ</xG  
第1章 绪论 NZ=`iA8)X  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 5V"g,]'Nd  
1.1.1 先进光学元件的特点 N;.}g*_+}  
1.1.2 先进光学元件的应用 ZA Xw=O5  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 4;.y>~z  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 ~.L\f%<  
1.2 先进光学元件的制造技术 M qG`P  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 v\3}5v%YI  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 J8:f9a:|M  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 M8}t`q[-&  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 NvU~?WN  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 ,sln0  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 6|AD]/t^K  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 KOHYeiry~A  
1.3.2 光学元件的检测技术 2c4x=%  
1.3.3 光学误差的评价方法 v cZg3:j  
参考文献 }vspjplk^  
C=uYX"  
第2章 先进光学元件加工装备技术 k7\ ,N o}  
2.1 机床设计理论 f9FLtdh \7  
2.1.1 机床设计要求 '&n4W7  
2.1.2 机床设计方法 hA!kkNqV  
2.2 超精密机床关键部件及技术 K>x+*UPL  
2.2.1 主轴部件 ** !  
2.2.2 直线导轨部件 GfMCHs   
2.2.3 微位移进给部件 xhmrep6+<  
2.3 超精密机床数控技术 TE!+G\@  
2.3.1 数控技术 eg$y,Tx  
2.3.2 超精密加工数控系统 d9kN @W  
2.3.3 开放式数控系统 3HI- G.]hC  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 {'e%Hx  
2.4 超精密磨削加工装备 /;rPzP4K6  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 W`2Xn?g  
2.4.2 超精密磨削成形机床 Obb"#W@3  
2.5 超精密加工工具技术 8BgHoQ*  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 ;%_s4  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 H:jx_  
参考文献 +'f+0T\)  
H$o=kQN  
第3章 先进光学元件磨削技术 ]1k"'XG4,  
3.1 超精密磨削加工发展 (yB)rBh>n  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 g!*5@k|C  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 U'K{>"~1a  
3.2 超精密磨削过程分析 quGv q"Y>  
3.2.1 超精密磨削机理 GL<u#[  
3.2.2 磨削过程基本参数 01^+HEbm  
3.3 超精密磨削加工关键技术 .\6q\7Ej  
3.4 砂轮修整 6+s10?  
3.4.1 杯形砂轮修整 VvSe`E*  
3.4.2 ELID在线电解修整 F\G-. 1  
3.4.3 放电修整 znxP.=GB   
3.4.4 激光修整 _>k&M7OU4  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 jqeR{yo&0b  
3.5 非球面磨削加工技术 2/ES.>K!.  
3.5.1 微小非球面加工技术 `z)q/;}fC  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 k(bDj[0q^  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 _hz}I>G@B  
3.6 工艺软件设计开发 :U!@  
3.6.1 数控编程格式 4 [K"e{W3  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 [S<1|hk s(  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 ?Xq"Q^o4#e  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 4[VW~x07  
3.8 加工实例 :Ou[LF.O  
参考文献 2^;zj0]Rt  
)A1u uW (  
第4章 先进光学元件抛光技术 )4tOTi[  
4.1 超精密抛光加工发展 G3wkqd  
4.2 平面光学元件抛光技术 $]`rWSYtv`  
4.2.1 平面抛光原理 a F!Im}  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 &Fg|52  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 wdo(K.m  
4.3 非球面光学元件抛光技术 fb*h.6^y9  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 _yN&+]c  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 M8{J  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 rY,zZR+@  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 JOUZ"^v  
参考文献 9(AY7]6  
k+5l  
第5章 先进光学元件精密检测技术 y:Ne}S*ncE  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 =euMOs  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 f'WRszrF  
5.1.2 长行程轮廓检测法 FD[o94`%  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 ,%X"Caz  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 Zb4+zps^-  
5.2.1 零位干涉检测技术 ][TA7pDPV  
5.2.2 非零位干涉检测技术 w =2; QJ<  
5.3 光学非球面精密检测平台 uy'qIq  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 #i'wDvhol  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 4o69t  
参考文献 F(DM$5z[  
mTU[khEmL=  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 \`oP\|Z  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 VYw<8AEFY  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 3\2^LILLO  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 Y~Z&h?H'}  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 '(fzznRH  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 qp{3I("_  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 ZuNUha&a  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 *bl|[(pP  
6.3.1 数据处理系统总体设计 ,~G:>q$ad  
6.3.2 数据预处理 K +l-A>Ic  
6.3.3 误差补偿及结果 HXb^K  
参考文献 Sah!|9  
l[Ko>  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 AK//]   
7.1 超精密加工环境监控技术概述 oEJxey]B7  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 6ee1^>  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 W_bA.z T{  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 Pah*,  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 :qvA'.L/;z  
7.2.2 加工环境无线监控对象 RHu4cK!5  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 orZwm9#].  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 )CoJ9PO7  
7.3.1 系统硬件组成 3U9leY'2N  
7.3.2 系统软件组成 C {G647  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 lGXr-K?+Y  
参考文献 z0 J:"M  
30{+gYA  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 TeHxqWx  
8.1 亚表面损伤概述 nkkUby9  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 *t bgIW+h  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 ekCt1^5Y  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 ,veo/k<"r8  
8.2 亚表面损伤的形成机理 :v%iF!+.P  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 I|tn7|*-A[  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 { 4B7a6  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 9Idgib&  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 d(q2gd@  
8.3.1 损伤性检测技术 0Ci:w|J  
8.3.2 无损检测技术 %:.IG.`d  
8.3.3 亚表面损伤的评价 nnuJY$O;M  
8.3.4 亚表面损伤的预测 6.M!WK{+  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 ^:2>I$  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 "Xj>dB1~  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 -ze@~Z@  
参考文献 X=[`+=  
tg;AF<VI  
关键词: 光学元件
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