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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 k%ckV`y  
    U_Va'7  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run ;z^C\=om  
    .AHww7  
    所需工具:Grating Toolbox Basic >PiEu->P,  
    :mz6*0qW  
    相关TutorialsG.001; G.014 ucC'SS  
    建模任务 cH\.-5NQ  
    ]1n =O"vE  
    理想平面波照射 *.NVc  
     |<1  
    o8ADAU"  
    @,v.Y6Ge  
    m]:|j[!*M  
    TW?A/GoXI  
    镀膜倾斜光栅 gS4@3BOw&.  
    目标平面 |Orp:e!  
    2AI~Jm#  
    周期:10um ,v+~vXO&\  
    厚度:10um N!:&Xz  
    倾斜角度20 V,)bw  
    Qf}b3WEAI  
    光栅的参数 ey>V^Fj  
    (Y%pk76d  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 J(\f(jh/  
    op|/_I$  
    —填充因子                           2—后面的介质 BiUbg6T.G  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 H[&X${ap  
    —光栅厚度 0(!D1G{ul  
    #Y;_W;#  
    8n^v,s>  
    fB3W} dr  
    qkN{l88  
    oO8V0VE\  
    设置层数和转折点 L<**J\=7M  
    z tLP {q#  
    K7H` Yt  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 Wp<4F 6C$@  
    \-B8`ah  
    Wq1%  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 =N%;HfUD  
    !yQ#E2/A  
    y BwgLn  
    实现可编程光栅 Spossp`|  
    hI{M?LQd  
    -mlBr63Bj  
    xG^6'<  
    H_<X\(  
    b xT|  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 3"Y |RSy  
    4iiW{rh4  
    ir%?J&C+t  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) - kVt_  
    [80L|?, *  
    B~oc.s g  
    7]w]i5  
    pLvvv#Y  
       |Y6+Y{|\  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) WZ a?Xb  
    451TTqc  
    A[F tPk{k  
    2       双击Data Series Diagram (c<MyuWb  
    l H@hV  
    采样结果 +p:#$R)MW  
    CXr]V"X9  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    FCu0)\  
     *TEgV  
    QQ:2987619807
     
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