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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 =IMmtOvJ kT@ITA22 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) '0+I' _( Zmyq6.1q~ 所需工具:Grating Toolbox Basic z[c8W@OJ hH1Q:}a 相关Tutorials:G.001; G.014 / 3N2?zS{ 建模任务 71nZi`AR utZI'5i 理想平面波照射 r*`e%`HU qIZ+%ZOu }U_^zQfaj qB$-H' j:; 9A.NM+u7 n>v1<^ 镀膜倾斜光栅 cn} CI 目标平面 .:j{d}p} XS&Pc 周期:10um [}4zqY{ 厚度:10um fYP,V0P 倾斜角度:20度 *1dZs~_ $l7}e=1 光栅的参数 ejV`W7U i`sZP#h —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 ~RbVcB# ~%*l>GkP* —填充因子 2—后面的介质 ,h^6y —膜层厚度 3—膜层材料 =cl#aS}e8 —光栅厚度 vb~%u;zrC@ >k"O3Pc@ `?$-T5Rr Wmd@%K R9A:"sJ @JlT*:Dz 设置层数和转折点 %_Vz0
D!7 !hQ-i3?qm Vl1.]'p_ 2 设置层数和转折点以确定膜层 z#Jw?K_ i`@cVYsL P[ o"%NZ' 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 C,W@C e2=}qE7 {O _X/y~ 实现可编程光栅 k H65k ( -"xAeI1+ *x8~}/[T(F q,fp
DNo 2tK~]0x :/(G#ZaV 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) qOG@MR(5 ]CP5s5 rrU(>jA! 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) RgoF4g+@ i}LQ}35@ vltE2mb
auN8M. l atm_\ TSFrv8L 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) aN"YEL>w x%X3FbF] LF.i0^#J 2 双击Data Series Diagram \_.'/<aQ a)2l9 采样结果 ?T73BL= [5xm>Y&} 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. S3x^#83 xqk(id\& QQ:2987619807
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