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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 #Y<QEGb(  
    PblO?@~O  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run fx=HKt  
    }rA _4%  
    所需工具:Grating Toolbox Basic Lq#$q>!K  
    \f4JIsZ-&  
    相关TutorialsG.001; G.014 }.t8C y9G  
    建模任务 }AG dWt@  
    R>B4v+b  
    理想平面波照射 $s<bKju  
    6 ~+/cY-V  
    q?$<{Z"  
    ?#gYu %7DN  
    tB#-}Gf  
    >Pwu>  
    镀膜倾斜光栅 ?4sF:Y+\  
    目标平面 k)TNmpL%"  
    1kczlTF  
    周期:10um }J+ \o~  
    厚度:10um w$$vR   
    倾斜角度20 ^3lEfI<pBm  
    u.ub:  
    光栅的参数 D<J, 3(Yu  
    ' }T6dS  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 }ZB :nnG  
    r0:I  
    —填充因子                           2—后面的介质 Sp\ 7  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 bCmlSu  
    —光栅厚度 \QP1jB  
    eUEO~M2&U{  
    JAU:Wqlg1  
    s5&v~I;>e  
    )uazB!X  
    LWIPq"  
    设置层数和转折点 0u=FlQ }h  
    Af XlV-v  
    HOb0\X  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 rssn'h  
    WmTg`[  
    l g43  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 A5kz(pj  
    w6G<&1iH  
    !_pryNcb  
    实现可编程光栅 Hq."_i{I  
    %dDwus  
    eGk`Z>  
    [*z`p;n2D  
    &vV_,$  
    jQi)pVT^  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) :FWo,fq?:{  
    7#9yAS+x(  
    69JC!du  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 1zWEK]2.R  
    0k 6S`e9gI  
    %bZ}vJ5b  
    <Kt;uu>  
    'G8.)eTA'  
       lAA s/  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) , Vr'F  
    #7"*Pxb#A  
    ;6/dFOZn  
    2       双击Data Series Diagram pHv~^L%=  
    G;yh$n<"  
    采样结果 /p7-D;  
    xZ(f_Oy  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    ?n9?`8a#  
    ';Ew-u  
    QQ:2987619807
     
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