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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ,IT)zCpaBP  
    Kbz7  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ~*' 8=D?)  
    9U}MXY0  
    所需工具：Grating Toolbox Basic D)O6| DiO  
    Zeme`/aBb  
    相关Tutorials：G.001; G.014 ]df9'\  
    建模任务 G>q{~HE1  
    oxCs*   
    理想平面波照射 /8$1[[[  
    Cb@S </b  
    8JtI&aH-L  
    CYFas:rPLT  
    Kc9mI>uH  
    NqQ(X'W7  
    镀膜倾斜光栅 CQ8o9A/  
    目标平面 #)PGQ)(  
    /SqFP L]  
    周期：10um +}(B856+  
    厚度：10um J++sTQ(!?  
    倾斜角度：20度 }<\65 B$1  
    ,syA()  
    光栅的参数 ;8;~C "  
    Ghgv RR$  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 RZV1:hNN  
    OuBMVn  
    —填充因子                           2—后面的介质 2,XqslB)  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 ,$6MM6W;-F  
    —光栅厚度 *v:,rh  
    ?^yh5   
    jC/JiI  
    K&D}!.~/  
     [BZ(p  
    ]!tYrSM!  
    设置层数和转折点 3ciVjH>i  
    dnX`F5zd  
    ' ! UF&  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 #`vGg9  
    ~g4rGz  
    oVEr{K)  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 h[`Op#^x3  
    EkjK92cF  
    aD/,c1  
    实现可编程光栅 eVCkPv *  
    6B;_uIq5  
    dVmAMQk.g  
    %`\3V {2*  
     oIL+@}u7  
    5.K$ X$+7}  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） |v %RjN  
    }b ]y 0"  
    DHumBnQ  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） i;'X}KW  
    p4t!T=o/  
    Q0"F> %Cn  
    QWW7I.9r  
    p:Ld)U*  
       :qSi>KCGh  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） >->xhlL*  
    z.9FDQLp  
    m2< *  
    2       双击Data Series Diagram WWs[]zr  
    v/ 00L R  
    采样结果 2hA66ar{$  
    NF\^'W@N  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     |XdrO  
    & Dl'*|  
    QQ：2987619807
     
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