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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 k%ckV`y U_Va'7 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) ;z^C\=om .AHww7 所需工具:Grating Toolbox Basic >PiEu->P, :mz6*0qW 相关Tutorials:G.001; G.014 ucC'SS 建模任务 cH\.-5NQ ]1n
=O"vE 理想平面波照射 *.NVc |<1 o8ADAU" @,v.Y6Ge m]:|j[!*M TW?A/GoXI 镀膜倾斜光栅 gS4@3BOw&. 目标平面 |Orp:e! 2AI~Jm# 周期:10um ,v+~vXO&\ 厚度:10um N!:&Xz 倾斜角度:20度 V,)bw Qf}b3WEAI 光栅的参数 ey>V^Fj (Y%pk76d —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 J(\f(jh/ op|/_I$ —填充因子 2—后面的介质 BiUbg6T.G —膜层厚度 3—膜层材料 H[&X${ap —光栅厚度 0(!D1G{ul #Y;_W;# 8n^v,s > fB3W} dr qkN{l88 oO8V0VE\ 设置层数和转折点 L<**J\=7M z tLP {q# K7H`Yt 2 设置层数和转折点以确定膜层 Wp<4F6C$@ \-B8`ah Wq1% 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 =N%;HfUD !yQ# E2/A yBwgLn 实现可编程光栅 Spossp`| hI{M?LQd -mlBr63Bj xG^6'< H_<X\( b xT| 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 3"Y
|RSy 4iiW{rh4 ir%?J&C+t 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) -kVt_ [80L|?, * B~oc.sg 7]w]i5 pLvvv#Y |Y6+Y{|\ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) WZa?Xb 451TTqc A[F tPk{k 2 双击Data Series Diagram (c<MyuWb l H@hV 采样结果 +p:#$R)MW CXr]V"X9 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. FCu0)\ *TEgV QQ:2987619807
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