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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 OP``g/x) _(oJ8h( 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) K$f~Fft 7\5 [lM 所需工具:Grating Toolbox Basic 5k<HO _] Y }e$5 相关Tutorials:G.001; G.014 0 ,Bd,<3 建模任务 /z5j.TMs mezP"N=L~ 理想平面波照射 s}/YcUK /Xn I> cBc6*%ZD ~Dgui/r9J U
.G*C bzB9u& 镀膜倾斜光栅 =p^*y-z 目标平面 >W 8!YOc 1xcx2L+R 周期:10um #Wh"_zpM+ 厚度:10um VYlg+MlT0 倾斜角度:20度 /I".n] I,t 0X) 光栅的参数 T>W(Caelq $6ITa }o —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 qdO^)uJJ BKV vu}V(o —填充因子 2—后面的介质 >(d+E\!A —膜层厚度 3—膜层材料 saYn\o"m —光栅厚度 &/Tx@j^.C Q_M2!qj )3z.{.F /kNr5s pE15[fJ` `(Ei-$
>U& 设置层数和转折点 W6~<7 Ntg#-_] J&
yDX> 2 设置层数和转折点以确定膜层 (Z6[a{}1i f)N67z6 Awe\KJ^` 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 5M*q{kX) <}.)kg${O l,sYYU+iY 实现可编程光栅 .r]n< M`iJ6L tHhY1[A8m 0.&gm@A~c$ zgVplp VJuPC 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) L'z?M]
%3"3OOT7 9.PY49| 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) zXZy:SD )mwY]
! rA{h/T" kZF\V7k u%v^(9z v }P~g 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) qY#*zx ;
Sh|6 6o6!Ol 2 双击Data Series Diagram 'KyT]OObS 1NJ*EzJ~? 采样结果 nLT]'B]$+ Zad+)~@!tq 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. z36ny o 8> O'_6Joj QQ:2987619807
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