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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 OP``g/x)  
    _(oJ8h(  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run K$f~Fft  
    7\5 [lM  
    所需工具:Grating Toolbox Basic 5k<HO_]  
    Y}e$5  
    相关TutorialsG.001; G.014 0 ,Bd,<3  
    建模任务 /z5j.TMs  
    mezP"N=L~  
    理想平面波照射 s}/YcUK  
    /XnI>  
    cBc6*%ZD  
    ~Dgui/r9J  
    U .G*C  
    bzB9u&  
    镀膜倾斜光栅 =p^*y-z  
    目标平面 >W 8!YOc  
    1xcx2L+R  
    周期:10um # Wh"_zpM+  
    厚度:10um VYlg+MlT0  
    倾斜角度20 /I".n]  
    I,t 0X)  
    光栅的参数 T>W(Caelq  
    $6ITa}o  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 qdO^)uJJ  
    BKVvu}V(o  
    —填充因子                           2—后面的介质 >(d+E\!A  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 saYn\o"m  
    —光栅厚度 &/Tx@j^.C  
    Q_M2!qj  
    )3z.{.F  
    /kNr5s  
    pE15[fJ`  
    `(Ei-$ >U&  
    设置层数和转折点 W 6~<7  
    N tg#-_]  
    J& yDX>  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 (Z6[a{}1i  
    f)N67z6  
    Awe\KJ^`  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 5M*q{kX)  
    <}.)kg${O  
    l,sYYU+iY  
    实现可编程光栅 .r]n<  
    M`iJ6L  
    tHhY1[A8m  
    0.&gm@A~c$  
    zgVplp  
    VJuPC  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) L'z?M]  
    %3"3OOT7  
    9.PY49|  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) zXZy:SD  
    )mwY] !  
    rA{h/T"  
    kZF\V7k  
    u%v^(9z  
       v }P~g  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) qY#*zx  
    ; Sh|6  
    6o6!O l  
    2       双击Data Series Diagram 'KyT]OObS  
    1NJ*EzJ~?  
    采样结果 nLT]'B]$ +  
    Zad+)~@!tq  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    z36nyo  
    8>O'_6Joj  
    QQ:2987619807
     
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