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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 B;SN}I  
    6pkZ8Vp:  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ,2Y P D4  
    b;wf7~a*  
    所需工具：Grating Toolbox Basic 'r KDw06/  
    yN* H IN  
    相关Tutorials：G.001; G.014 pdcP;.   
    建模任务 r 5!ie!5gE  
    W)3IS&;P  
    理想平面波照射 y`"~zq0D  
    T[mo PD5  
    s?;rP,{:p  
    */=5m]  
    K".\QF,:  
    _xgF?#  
    镀膜倾斜光栅 l0c ws`V  
    目标平面 >KjyxJ7  
    [4)q6N5`f  
    周期：10um AJ'YkSg  
    厚度：10um cY+vnQm  
    倾斜角度：20度 mZ;W$y SO  
    `aY{$>$S  
    光栅的参数 cswX?MN  
    ;p~&G"-C`  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 9N(<OY+Dgm  
    1:-^*  
    —填充因子                           2—后面的介质 SvUC8y  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 (2H e]M\  
    —光栅厚度 ?b',kN,(  
    AXBv']Y  
    2ql7*g?Uq@  
    jEQr{X7bEL  
     z/bJDSQ  
    9/$D&tRN  
    设置层数和转折点 ei 1(A  
    Ndj9B|s_  
    %N\pfZ2\  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 (k?,+jnR  
    /1X0h  
    /yHM =&Vg]  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 ygm4Aj>  
    te ?R(&  
    r>+Hwj0>  
    实现可编程光栅 '</  
    ien >Ou  
    n7~!klF-  
    MF>1u%  
     #4h_(Y  
    l6b3i v,  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） hw`+,_ g  
    .Z=D|&!  
    cnAwoTt4  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） /p~Wk4'  
    Qh%(yL!  
    ,RFcR[ak  
    [3`T/Wm  
    EUdu"'=4a  
       =re1xR!E5  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） l 6wX18~XJ  
    Va"_.8n|+  
    % R~9qO  
    2       双击Data Series Diagram v'`9^3(-  
    oD,f5Ci-  
    采样结果 2#Fc4RR;  
    &_ er_V~  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     8ID fYJ  
    J&~nD(&TY  
    QQ：2987619807
     
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