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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 5% 'o%`?i @kS|J z$iY 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） O0-> sR f]hBPk Z6 所需工具：Grating Toolbox Basic $x/J+9Ww )eVzS j>MT 相关Tutorials：G.001; G.014 ~ 0av3G 建模任务 .iN-4"_j1 87R %ke 理想平面波照射 C-_(13S .[#xQ=9` { 576+:*  y|$ vtD%c j )< ;g( k>7gy?Y!K< 镀膜倾斜光栅 0kkRK*fp}x 目标平面 @T9m}+fR K<D`(voL 周期：10um =`r ppO 厚度：10um V|+ `L- 倾斜角度：20度 P)a("XnJ` N'htc C 光栅的参数 8}Fw%;Cb !IfI-Q —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 bX a %EMF 3csm`JVK —填充因子 2—后面的介质 5w]DncdQ~ —膜层厚度 3—膜层材料 c(QG4.)m —光栅厚度 #(m `2Z`H (xI)"{ =1%zI%  Ry3+/]
b #o}=m a7ub.9> 设置层数和转折点 AsTMY02| 8<wtf]x 0sq=5 B nO  2 设置层数和转折点以确定膜层 67Af } >Q W;xW:
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geG,/-` 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Y\ #.EVz 2hjre3"? hY\Eh. 实现可编程光栅 Jnh;;< MAm1w'ol" hNu>s  F'$9en2I:
z*??YUT\M qat45O4A1 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） '6Pu[^x  :F!dTD$ YR^Ee8 _H 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） DTX/3EN rCnV5Yb0O B|Rpm^ | ~frPV8^DP  g]EQ2g_N1 N} .Q%&6: 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） T U"K#V&u  orcZ yYU oo$WD6eCR 2 双击Data Series Diagram Z9 ;nC zHm e')&ODQ H 采样结果 =F^->e0N  X:xC>4]gG'
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. iOX4Kl {kRDegby
QQ：2987619807
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