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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 /PHktSG l ^\5Jr03 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) 3&x_%R 2\EMtR>.M' 所需工具:Grating Toolbox Basic d:<{!}BR3 ffuV$# 相关Tutorials:G.001; G.014 >MiA|N= 建模任务 N:"E%:wSbi S\g8(\u 理想平面波照射 >Pbd#* b$.N8W% [dOPOA/d U/0NN>V |D`Zi>lv <t]i'D(K 镀膜倾斜光栅 o?/N4$&5l 目标平面 N \A)P b>I -4 周期:10um i"sVk8+o! 厚度:10um n#Z6 d` 倾斜角度:20度
fwXk{P/ $\m=-5 0- 光栅的参数 F!^ Y!Y@H TtKBok —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 Z*s/%4On f>Bcr9]] —填充因子 2—后面的介质 r{6 ,; —膜层厚度 3—膜层材料 .:_dS=ut —光栅厚度 v2rX uo BC!l)2 }Ct_i'Ow 0&-!v?6) <[l2 ]"Q h/eKVRGs" 设置层数和转折点 9OXrz}8C 1sn!! HTkce,dQ 2 设置层数和转折点以确定膜层 a,lH6lDk t(Iy[- X-~Q 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 HHa7Kh|-H 9I30ULm 8>Ervi` 实现可编程光栅 LNk
3=v2M fs>0{ 0#sk ]Qz cnCUvD]' HmRwh ] p'+F 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) _.Uz!2 < |