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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 X+=-f^)& :J^qj AV 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 6g5PM4\
BdN8
^W 所需工具：Grating Toolbox Basic 3lo;^KX ! yJ!OsD 相关Tutorials：G.001; G.014 0U$:>bQ 建模任务 `I5O4|K) (GCG/8s 理想平面波照射 &&[zT/]P #SKfE ~9Z h,p ;  QX[Dj z0H8 ^_v[QV q[7CPE0n 镀膜倾斜光栅 y n SBVb!) 目标平面
qE )Y} oN bS>R5*Zp 周期：10um =M7TCE 厚度：10um PK_ s#uC 倾斜角度：20度 S] }}A b"I~_CL| 光栅的参数 B[r<m J ,V,f2W 4 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 .*BA 1sjE Yc^%zxub —填充因子 2—后面的介质 I%oRvg|q —膜层厚度 3—膜层材料 S}[l*7 —光栅厚度 xq}-m !nX "!O 1j
r; oL]mjo=jN  ]*qU +&
*h$&0w
y ( S ` 6Q 设置层数和转折点 ?WQNIX4 !xu9+{- *Za aO^!  2 设置层数和转折点以确定膜层 Ga v"C{G [)^mBVht ]4`t \Y aT 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 owv S/"@ Ojq]HM6f Wm eK l 实现可编程光栅 @Br
{!# Wf )0^ ># k XVt/qb%)r  O gmSQ
>H>gH2q p ks*Y9D*= 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） wJe?t$ac?  =. *98 re^Hc (8M 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） )tS-.P rA- kbYeV_OwM rEdY>\' b O=yi)  Z<U>A
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' 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Ha%F"V *  lT'9u,6 i^)WPP>4Aw 2 双击Data Series Diagram <_Eg?ePW# 9xFO]Y" 采样结果 P`S@n /}  %T!J$a)qf
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. (&[[46 _OMpIdY,R*
QQ：2987619807
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