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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 }=az6cLE2 i{
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关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) $yI!YX& SPn0D9b] 所需工具:Grating Toolbox Basic z9u"?vdA \{P(s: 相关Tutorials:G.001; G.014 `4gm'C 建模任务 n\ZDI+X owJPEx 理想平面波照射 {{SeD:hx y!)Z ^u iw12x: y`! 3Z} 7 $@7S+'Q3 B}C"Xc 镀膜倾斜光栅 W{?7Pn?1` 目标平面 *3s4JK pEw &i 周期:10um ^kzw/.I{ 厚度:10um
3QL'uk 倾斜角度:20度 3;>|*(cO l{E+j% 光栅的参数 /t01z~_ bH~ue5q —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 { P&l` vLXN{ ] —填充因子 2—后面的介质 $7T3wv9 —膜层厚度 3—膜层材料 K\`L>B. 1 —光栅厚度 8~u#?xs6 Ir_K83VM ?Xx,[Z& kViX FPW %mAgE\y25 2$jTj<.K 设置层数和转折点 e3yBB*@ eZ(<hE> {]n5h#c 5* 2 设置层数和转折点以确定膜层 EdhT;! 2fu|X#R 7^A;.x 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 wyMj^+ 2m [ft#zxCJ a<B[~J 4i 实现可编程光栅 l23_K7 +FP*RNM zC\ pd# >t<FG2 j{C+`~O kQxY"HD 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) HcXyU/>D 82WXgB> s +gZnne 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) n\Uh5P1W" uHkL$}C
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q+>J'UGb )2C_6eR 2 双击Data Series Diagram ;;pxI5 snT! 3t 采样结果 "2o,XF dq%7A=- 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. I83ZN] C\Qor3]; QQ:2987619807
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