光谱仪按照其基本原理可以分为两大类:第一类是经典型;第二类是建立在调制原理上的新型光谱仪。 !.# g
我们这里主要研究经典型光谱仪。 T[e+iv<8j
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经典光谱仪又可以根据它色散的原理分为: UzSDXhzObf
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一、棱镜光谱仪,最早用来分光的,大家初中物理都学过,牛顿通过三棱镜第一次实现了光的分解,这就是最早的光谱仪。 X)j%v\#`U
二、衍射光栅光谱仪 on8$Kc
三、干涉光谱仪 $; _{|{Yj
这里主要讲一下最常用的衍射光栅光谱仪,按照光栅的种类又可以分为很多种类,包括全息光栅、中阶梯光栅、曲面光栅和透射射式光栅 ZR=i*y
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1、全息光栅 cr0/.Zv)
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全息光栅是可以变为闪耀光栅的,闪耀以后可以在需要的光谱方向达到85%的色散利用率。光栅中其微反射作用的结构(即每道刻线凸起部分)的高度与它们的相邻距离的比值越大,色散的波长就越长。所以,用于深紫外的全息光栅和标准光栅刻线部分都不是很深。 )R<93`q
全息光栅的特点是:(1)无鬼线,杂散光非常小。(2)衍射效率低,其槽型通常类似正弦波,没有闪耀特性,可以通过“离子蚀刻”技术使其具备闪耀特性提高衍射效率。(3)分辨率高。 lBG=jOS
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2、 中阶梯光栅 89 m.,
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