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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ) o)k~6uT  
     6[-N})  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 L_>j SP  
     ^Fy{Q*p`(  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 kc0YWW Q-:  
     MjO.s+I  
    所需工具箱子：光栅工具箱 V b=Oz  
     g3p*OYf  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 ~*Fbs! ;,  
     LuM[*_8  
    建模任务 w8|38m  
    B( ]=I@L=W  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 [SluYmW  
    KL2#Bm_  
    qO yg&]7  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 {x3"/sF  
     xt! DS0|*Y  
    E!d;ym  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ail%#E8  
     g~5$X{  
    n[jyhBf\W  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     &N{XLg>  
    u$7o d$&S  
    k79" xyXX  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 %R%e0|a  
    p'lL2 n$E  
    1^G*)Qn5Df  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 .xR J )9q  
    K{]!hm,[3  
    Z J:h]  
    X线偏振光模拟结果：
    }i32  
    s~ZLnEb  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 NaeG2>1  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 A}(&At%n4  
    Ae&470  
    S4/CL4=  
    Y线偏光模拟结果 mnK SO  
    k"*A@  
    ac8+?FpK #  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 `lAe2l^  
    结论： [:cy.K!Uo%  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 h J*2q"  
    dLV>FpA\  
    9oOr-9t3  
    QQ：2987619807     #0K122oY  
     
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