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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 nUc;/  
     5Z{_m;I.   
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 =&Xdm(  
     ~*}$>@f{[X  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 T%(C-Quh  
     O*G1 QX  
    所需工具箱子：光栅工具箱 MzzKJ;wbC6  
     Mvb':/M  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 -$JO8'TP  
     1fFj:p./l_  
    建模任务 *Qkc[XHqy  
    5mgHlsDzu  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 SEM8`lnu  
    2z_2.0/3  
    y=aV=qD  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 #BY`h~&T  
     pSfYu=#f  
    a1c1k}  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 qX#MV>1  
     U)D[]BVg  
    `rb>K  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     2e1]}wlK  
    >t  <pFh  
    PJLR<9  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ?&X6:KJQ  
     !HK^AwNY  
    7J*N_8?2  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 2oVV'9;B  
    Y`GOER  
    Bh]!WMAw.  
    X线偏振光模拟结果：
    3x@<Z68S  
    q]% T:A=  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 gTf|^?vd  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 3l1cyPv  
    ,0N94pKy  
    X/0v'N  
    Y线偏光模拟结果 C$yq\C+I  
    HMGB>  
    )_7>nuQ6  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 /t%u"dP"T~  
    结论： 5F"|E-;  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 s +s" MI  
    P9Q~r<7n  
    +IFw_3$  
    QQ：2987619807     iq$$+y,  
     
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