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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 9$WA<1PK+
+'"NKZ.>TT 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 xFj<KvV[
vPSY 1NC5 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 er0y~
5@nv cCp 所需工具箱子：光栅工具箱 m4@Lml+B,
w\}Q.$@ 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 @M)"
n48%Uwa, 建模任务 ] ]lN[J J93@\b 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 E G J/r 9zNMv-  xxZO{ _q
U1=]iG<% A(1WQUu j 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 e8U6 D+jY
G7YBo4v We@wN:
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 >f:OU," 4Jk[X>I~
V`_)H
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 vxk~( 3]<)
 0I}c|V'P
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 om1D} irKT
 ~kOXMLRg
X线偏振光模拟结果： F
@uOXNz)
.GiQC {@9w
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 p&lT! 5P!A
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 '^ `%
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1v'|%B;O
Y线偏光模拟结果 ]DK.4\^
 8.tp#x,A
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 !U~S7h}
结论： B i`m +ob
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 HEs .pET\
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QQ：2987619807 >$_@p(w
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