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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ZXiJ5BZ  
     ?LU>2!jN  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 c0&! S-4M  
     LXrk5>9  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 (0_zp`)  
     p*@t$0i  
    所需工具箱子：光栅工具箱 FoZI0p?L)9  
     |lzcyz  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 Q/j#Pst  
     F,pKt.x  
    建模任务 KE5>O1  
    I7Abf7>*Q  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 1LvR,V<  
    c3PA<q[  
    !>Q\Y`a,*  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ^4\0, >  
     oGg<s3;UND  
    017nhI  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 b~YIaD[Z  
     i=P}i8,^ =  
    y )<+?@sP  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ^x^(Rk}|  
    L@Qvj-5e  
    9}fez)m:g0  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Q4]O d{[  
    fF9hL3h?)  
    @"^7ASd%  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Y;g\ @j  
    _E6N*ORV  
    RVs=s}|>*  
    X线偏振光模拟结果：
    Clap3E|a  
    2 1+[9  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Qr6PkHU  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 (q}Li rR  
    WW^+X~Y  
    7xG~4N<)]  
    Y线偏光模拟结果 QJjk#*?,|  
    ~>~qA0m"m  
    _nX8f &  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ;$4&Qp:#  
    结论： a=9QwEZ  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 37jrWe6xwp  
     AKk&  
    Wfc~"GQq4  
    QQ：2987619807     !3DY#  
     
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