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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 %IL]
Wz< w$[&ejFb 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Yd'Fhvo8 1LYz
X;H1 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 H=RzY-\a% "\cDSiD 所需工具箱子:光栅工具箱 KSDz3qe &W+lwEu 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 kl%%b"h' n_QSuh/Wn 建模任务 DB%}@IW" 'K&^y%~py, 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ndg1E;> '5V}Z3zJ/ H1>~,zc>E 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 _/V<iv 9^;Cz>6s #NQpr 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 2 tD{c^
9< ,Ei!\U^) niC ;WK 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 f#mNx 7>.d*?eao\ ^/]w}C#:d 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 2iM]t&^<+ ]bxBo YYNh|
2 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 !ZNirvk 2_T2?weD5
8u8-:c%{ X线偏振光模拟结果: )R6h
1 abMB- 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 +pUG6.j% 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ]31>0yj[Q Z9wKjxu+ 9K!kU6Gh Y线偏光模拟结果 !0-KB# (A(j.[4a FEY_(70 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 TOT#l6yqdd 结论: =csh=V@s 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 :j2?v(jT_l AQ%B&Q(V1 8c`EB-y QQ:2987619807 A@uU*]TqJ8
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