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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 %IL] Wz<  
    w$[&ejFb  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Yd'Fhvo8  
    1LYz X;H1  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 H=RzY-\a%  
    "\cDSiD  
    所需工具箱子:光栅工具箱 KSDz3qe  
    &W+lwEu  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 kl%%b"h'  
    n_QSuh/Wn  
    建模任务 DB%}@IW"  
    'K&^y%~py,  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ndg1E;>  
    '5V} Z3zJ/  
    H1>~,zc>E  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 _/V <iv  
    9^ ;Cz>6s  
    #N Qpr  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 2tD{c^ 9<  
    ,Ei!\U^)  
    niC ; WK  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    f#mNx  
    7>.d*?eao\  
    ^/]w}C#:d  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 2iM]t&^<+  
    ]bxBo  
    YYNh| 2  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 !ZNirvk  
    2_T2?weD5  
    8u8-:c%{  
    X线偏振光模拟结果:
    )R6h 1  
    abMB-  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 +pUG6.j%  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ]31>0yj[Q  
    Z9wKjxu+  
    9K!kU6Gh  
    Y线偏光模拟结果 !0-KB#  
    (A(j.[4a  
    FEY_(70  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 TOT#l6yqdd  
    结论: =csh=V@s  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 :j2?v(jT_l  
    AQ%B&Q(V1  
    8c`E B-y  
    QQ:2987619807
    A@uU*]TqJ8  
     
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