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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 h$fe -G#  
     mEDpKWBk  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 '^}+Fv<O  
     VKrShI  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 '3;v] L?G  
     Yx%bn?%;&  
    所需工具箱子：光栅工具箱 )#[|hb=o  
     flnVYQe  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 rFu ez$  
     C}"@RHEu  
    建模任务 ZkWL_ H)  
    /[pqI0sf<A  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 x"\qf'{D  
    tZ8e`r*  
    A 's-'8m  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 eOY^$#Y  
     l(:kfR~AC  
    J8Z0D:5  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 bFGDgwe z  
     @ 4UxRp6+  
    |wp ,f%WK  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ' 4 O-  
    VLI'    
    -%m3-xZA  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Y(VO.fVJK  
    >"d?(@PJ  
     (^: p  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 /QxlGfNZ  
    4gZ &^y'  
    -Kxc$}  
    X线偏振光模拟结果：
    Q5n`F5   
    p/olCmHD)  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 .-]R9KjR1J  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 >l5u54^3K  
    x;#zs64f  
    ~`cwG` 'N  
    Y线偏光模拟结果 .<&s%{EW  
    O)#U ^  
    -5Utl os  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 0Y?H0  
    结论： %oof}=MxCL  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 LU2waq}VA  
    ;ojiJ ?jU  
    c:\shAM&  
    QQ：2987619807     !G?gsW0\h  
     
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