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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 /:,}hy+U  
     ,Vz-w;oDn  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 tpgD{BY^wJ  
     <p` F/p-  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 U:PtRSdn!b  
     <<@F{B7h  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ys7 Tq+  
     2@N-#x '  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 (&_~eYZU  
     ]2@lyG#<<  
    建模任务 VjeF3pmBa  
    =#{q#COK$  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 PbV1FB_  
    jF#Dc[*  
    q+?q[:nR-  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 YCdtf7P=q  
     Tg=P*HY6  
    \t=#MzjR  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 PHH,vO[eO  
     yi-0CHo  
     W}Rzn  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ZF<$6"4N  
    DW)81*~g  
    C_h$$G{S(  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ;j<#VS-]  
    X&M04  
    <:StZ{o;  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 $B]_^  
    }+)q/]%  
    sv6m)pwh  
    X线偏振光模拟结果：
    IfP?+yPa  
    %."w]fy>P  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ^=gN >xP  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 m1sV~"v;  
    {~'Iu8TvZ  
    | `?J2WGe  
    Y线偏光模拟结果 &}#zG5eu  
    v*OT[l7  
    +Je%8jH  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 < 7*9b  
    结论： *c(YlfeZ#  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 $?;)uoAg  
    A5s;<d0  
    a3Xd~Qs  
    QQ：2987619807     7oCY@>(f  
     
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