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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 e"^ /xF  
     I-?PTr  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 .[%^~q7  
     (T290a9y>  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 I},]Y~Y3  
     Y^Of  
    所需工具箱子：光栅工具箱 UE:';(t  
     /wt!c?wR  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 6wIo95`  
     T\ixS-%^  
    建模任务 79m',9{u  
     "! -  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ua!i3]18  
    ivgV5 )".  
    v'0WE  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 caG5S#8-"  
     $#z ` R;  
    LS"_-4I}  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 @fI1|v=eF  
     BM~>=emc  
    j{8;5 ?x  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     1/JtL>SKE  
    )Y@E5Tuk>  
    6_G[&   
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ,.<[iHC}9  
    &ikPa,A  
    ~__r- z  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 /$EX -!ie  
    EgE% NY~  
    vkR,Sn  
    X线偏振光模拟结果：
    UFE# J  
    5`_UIYcI  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 oouhP1py,  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 6dH> 0l  
    tv]^k]n{rf  
    `6No6.\J  
    Y线偏光模拟结果 Kia34 ~W  
    "dkDT7  
    /v<FH}  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 /8cfdP Ba  
    结论： bjL8Wpk  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 q0m> NA   
    u5'jIqlU  
    R!+_mPb=Q*  
    QQ：2987619807     /h]#}y j  
     
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