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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 b]s1Q ]V  
     *>&N t  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 RfKxwo|M<  
     v\?\(Y55Y  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 i_ODgc`H  
     \'^Z_6{w  
    所需工具箱子：光栅工具箱 C"m0"O>  
     n'ca*E(  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 gx>mKSzy  
     B|q3;P  
    建模任务 -I$txa/"|  
    uTlT'9)  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 4Igs\x{i  
    5@&i:vs5y  
    @Ozf}}#  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 .pu`\BW>  
     u2.r,<rC*Q  
    oj4)7{  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 :PjUl  
     tL4]6u  
    e[ k;SSs  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     2DBFXhP  
    pt|$bU7  
    ~PAbLSL*u  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 VV}fW"_ND  
    4oa P"T@6  
    ,"MUfZ  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Nxs%~ wZ   
    y@8399;l  
    Ef*.}gcU  
    X线偏振光模拟结果：
    #y9K-}u  
    vhe Ah`u^&  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 +fQ$~vr{'  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Ug'nr  
    LAVt/TcZS|  
    "s6_lhu=E7  
    Y线偏光模拟结果 u(G;57ms  
    jvKaxB;e  
    7u3b aM  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Q@.9wEAJ  
    结论： {8p?we3l1  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 m=l3O:~J  
    z^HlDwsbm  
    !J?=nSu  
    QQ：2987619807     p YvF}8  
     
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