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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 eGZX 6Q7m
*RQkL'tRf 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 P< +5So0
8#OcrJzC 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 X]J]7\4tF\
-S]yXZ 所需工具箱子：光栅工具箱 _`>F>aP
'/^bO# G: 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 o#KGENd
>^#OtFHuT) 建模任务 -9XB.)\# xkIRI1*! 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 m>C}T tn-_3C  OW (45
huTa
Ei ~n:dHK` 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Ys@M1o
adG= L9
"n f k%yi[
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 ~7$ E\w6 jd9GueV*(
8}m bfu o1
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 @SREyqC4
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 3.q%?S}*
 ]:CU.M1
X线偏振光模拟结果： V[f-Nj Kf
s hbPy
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 + I$c+WfU
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ! 8q +W`{
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(0s 7<&Iu
Y线偏光模拟结果 xaO9?{O
 %(a <(3r
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 >$=-0?.
结论： P(I`^x
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 J&4QI( b.
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QQ：2987619807 fj
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