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7v']wA r] 均匀化的概念 _^Z
v[P 9kzJ5} VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: G1
K@Ir< • 微透镜阵列 E8/Pi>QW • 衍射扩散器 m2a[E0 • 计算机生成的全息图 XQ'$J_hC • 相位板 ~0@uR • 单元阵列 P7 h^!a/ mI,a2wqi 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 l5T0x=y9! 光学仿真和设计包括: " k0gZb • 衍射 #Zg pm"MW • 干涉 r1&eA% eh • 空间和时间相干度 Qef5eih • 像差 ^:^ • 偏振 ]>/oo =E • 光强 Fy*t[> GU0[K#% 应用 :@b=; h1~/zM/` 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: eemC;JV % • 信息显示 v8"Zru • 测量系统 XI'.L ~ • 室内照明 kp-`_sDg • 汽车 *L&|4|BF2 • 军事 P6 7*-Ki • 光刻 ;uho.)%N`F <CcSChCg 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 >~l^E!<i-u 优点Benefits 7 \AoMk}
}U^iVq* 微光学元件的照明系统有以下几大优点: Bdcs}Ga • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. \;+TZ1i_ • 产生任意的二维图案. yR% l[/ X • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. |fB/ hs \ • 非常紧凑的照明系统. b{CS1P ^v&"{2 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 hZ|8mV uovSe4q5q 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: nKmf# • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. {t*CSI • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. FMtg7+Q|> • 可以产生一般的二维图案. U]&/F{3
im • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. J'%W_?wZ 衍射扩散器 9JqT"zj ^)o#/"JA 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: mT>RQ. • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). ?@^gpVK{ • 生成任意的二维图案. :(K JLa] • 仅用于单色LED或准分子激光. w!b;.l 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ,:{+-v( 单元阵列 B2:GGZ|jS SAU` u]E 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: oT!i}TW?o • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. !TN)6e7`
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. Ekn3ODz, • 产生任意的二维图案. sD9OV6^{?K • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 sVH
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