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#u/5
nm
均匀化的概念 RN"Ur'+ O#n=mJ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： p(fL'
J • 微透镜阵列 :rSCoi>K • 衍射扩散器 ;D|g5$OE& • 计算机生成的全息图 K;lxPM] • 相位板 r^T+ I3 • 单元阵列 UH`cWV Lpr
a_(T9pr 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 <%"o-xZq7C
光学仿真和设计包括: 2bAH ) = • 衍射 JmF:8Q3H • 干涉 4,.[B7irR • 空间和时间相干度 bj ,cU)t0 • 像差 i;fU],aK! • 偏振 J;GYo|8 • 光强 2Dw}o;1'
& Y jUoe 应用 x:iLBYf
ZmAo9>'Kg 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： g_;4@jwTP" • 信息显示 X86r`} • 测量系统 {xRO.699 • 室内照明 D]?yGI_ • 汽车 v,Uu )Z
• 军事 D_M73s!U • 光刻
*]*0uo
&Ivf!Bgm{Z 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 pM}n)Q!{3" 优点Benefits ,m[#<}xXA
JQDS3v=1$ 微光学元件的照明系统有以下几大优点： ` M!'PMX • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. 6kHuKxY, • 产生任意的二维图案. J[al4e^ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. F4$9r^21r • 非常紧凑的照明系统. Q(jIqY1Hf  P~h 0Ul 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
u9j1>QU
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性：
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• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. Oid;s!-S 6
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. ~F[JupU
• 可以产生一般的二维图案. .o)
• 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. G]T&{3g-.
衍射扩散器 G;AJBs>Y}
FJ2~SKWT
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： Cuc+9
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. 9`cj9zz7
• 生成任意的二维图案. ZY*_x)h+#7
• 仅用于单色LED或准分子激光.  "0m \y +%8 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓
单元阵列 qPn!.m$/
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： B pp(5
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. / mwsF]Y
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. ld7B{ ?]
• 产生任意的二维图案. [<.dOe7|
• 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 $|VD+[jSV
QQ：2987619807 uQ3W =
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