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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： 1 ( rN  
     p4z thdN[  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 75H;6(7  
     |}wT/3>\  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Nt7z ]F`  
     \?"kT}..  
    结构设计 F_nXsKem  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 :rEZR`  
      OF O,5  
    y`8jz,&.  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 'oF('uR  
     :d wP  
         8_T9[ ]7V8  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 f;obK~b[  
     %(:{TR  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 P5&8^YV`N  
    E*d UJ.>  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 'm.+S8  
     /NQ PTr  
    jm,cVo  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 OZQN&7  
    ln_[@K[oX  
    T (? CDc+  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ,z`* 1b8  
     !JA//{?  
    P 4+}<5  
    Koc5~qUY]  
    导出加工数据 05o<fa2HE  
     @nIoIz D~  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) I8{ mkh  
     M[ ON2P;  
    W>&!~9H  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ^m-w@0^z  
     u]& +TR  
    OuyO_DSI  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Hd_,`W@  
           qD,/Qu62  
    _,3%)sn-)  
    XzPUll;ZU  
    g1)ZjABV  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 piXL6V@c  
    +QeA*L$~  
    D&G^|: G  
    +-qa7  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 JV?d/[u,  
     VXl|AA<OG  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 Wjr^: d  
    GIhFOK  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 m |Sf'5fK  
    q2*1Gn9!j  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 $f+cd8j?o  
    #dQFs]:F  
    5 hW#BB  
    导出加工数据列表 F12$BK DH  
     T9uOOI  
    ubM  N  
    WG +]  
    导入加工数据 -#,4rN#  
     s01=C3  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI sW76RKX8  
     Hp[i8PJ  
    b(t8TR#-  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Q+s2S>U{v  
     sK8sxy  
    `x;m@\R  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) <MoyL1=  
    mSGpxZ,IE  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 8Z3:jSgk  
     (6&"(}Pai  
    `W.g1"o8W4  
    p5l|qs  
    ,h<x Y>  
    $@84nR{>  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 4K*st8+bl-  
    }:(;mW8 D  
    `> +:38  
    6) 导入完成，观察3D视图 X$_pDF&\z  
     NdrR+t^#  
    H~bbkql  
    )nrYxxN  
    e$E>6Ngsr  
    QQ：2987619807
     
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