切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命  
    发帖 回复
    返回列表
    • 1079阅读
    • 0回复

    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5658
    光币
    22442
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： [uV/ Ra*g  
     } dlNMW  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； z Ns8\  
     z,P7b]KVe  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 wZb@VG}%  
     PKG ,4v=  
    结构设计 c$z_Zi!g#  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 VqU:`?#"a  
     /;ITnG  
    ![n`n(oN  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 :!\./z8v  
     ~q>ilnL"h  
         m 1;jS|  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 RuuU}XQ  
     q|2C>{8  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 jX,~iZ_B  
    0g)mf6}o  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 9R3=h5Y  
     Agf!6kh  
    GTe9@d  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 U.x.gZRo[  
    l<6/ADuS  
    Uij$ eBN  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 (*gpa:Sc  
     m %3Kq%?O  
    Yl=  |P`  
    ]x\wP7x  
    导出加工数据 ?g.w%Mf*  
     _ji%BwJ  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) wH<*  
     jT0fF  
    ZQ/5]]}3y  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 )9->]U@  
     ,{at?y*  
    jL1UPN  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 fok#D>q  
           /#5ZP\e  
    5. i;IOx  
    jnY4(B   
    lHXH03  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 35T7g65;  
    mt'#j"mU  
    j!rz@Y3  
    * PPFk.#x  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 rz*Jmn b  
     w@We,FUJN  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 Y._AzJ&B[  
    uzD{ewR/.y  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 7Cjrh"al"  
    |/$#G0X;H  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ~Ua0pS?  
    NKws;/u  
    {`> x"Y5  
    导出加工数据列表 |99eDgK,  
     40XI\yE_?  
    3*<W`yed  
    .v{ty  
    导入加工数据 W0k_"uI  
     iatQHn >(  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI pppbn]%Ob  
     ]g :ZokU  
    KAZz) 7  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) $fKWB5p|()  
     E J1:N*BA  
    >e%Po,Fg$  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) (WC<XKf  
    s0CRrMk  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 j#,O,\  
     :gXj( $  
    2bmppDk  
    l_WY];a  
    .1;?#t]ZV  
    5VfP@{  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 }V{, kK  
    Lfor 0-j  
    -zt\we qA  
    6) 导入完成，观察3D视图 `{%*DHa  
     x UYSD  
    EHOdst  
    /e}k7U,^  
    6tM{cK%v1  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表