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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： Zg2F%f$Y  
     W y%'<f  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； dd|/I1  
     ?KF.v1w7  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 v.pj PBU1  
     ?~fuMy B  
    结构设计 \[F4ooe  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 o:C],G_  
     E])X$:P?  
    xulwn{R s  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 m(c5g[6nO  
     :.%Hu9=GL  
         J^]Y`Q`  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 +(9qAB7  
     p/GYfa dU  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 >xa k  
    i][af  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 |e#ea~/b  
     5Zdxn>  
    #6 yi  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 {V{*rq<)  
    g6=w MRt[  
    \hcb~>=C  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 v4V|j<R  
      V6{P41_  
    F 6 xQ`T|  
    std4Nyp  
    导出加工数据 beM}({:`  
     <O#/-r>2  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) _'lrI23I  
     K[( h2&  
    .sk$@Q  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 zXHCP.Rmg  
     *0aU(E #  
    P{!r<N  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 D; 0iNcit  
           aH1mW;,1u  
    s)~6 0c  
    h) . ([  
    l'2a?1/q  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 f/:XIG  
    2nFSu9}+r  
    6k=ink-/  
    v!pT!(h4  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ~Z'3(n*9  
     M8,W|eTM  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 =N9a!i i|  
    b]NSCu*)s  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 wM;9plYlw0  
    YAIDSZ&l[  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 d2x|PpmH  
    n~#%>C7  
    l(T CF  
    导出加工数据列表 C NNyz$  
     2B# ]z  
    *\Y \$w  
    76\ir<1up  
    导入加工数据 \I@=EF- &  
     CE$c/d[N.  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI  pv=g)  
     :/BU-SFK^  
    *:q3<\y{  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) NY'sZTM&  
     5_ @8g+~  
    D-/K'|b  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) K.Tfu"6  
    8xQ5[Ov  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 vMiZ:*iaj@  
     _(}{=:M?  
    cp0@wC#d  
    LFCcV<~  
    M%dXy^e  
    5'/Ney9N  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 SSKn7`  
    Uj)~>V'  
    M ]dS>W%U  
    6) 导入完成，观察3D视图  eU"!X9  
     0sv#* &0=  
    c|lo%[]R!  
    ngprTMO$&  
    dyRKmLb  
    QQ：2987619807
     
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