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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： p$}1V2h;  
     #jT=;G7f2  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； YV)h"u+@0  
     \>)#cEX5  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 k*!f@ M  
     {7+y56[yu  
    结构设计 Tu7sA.73k  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2  3;f}w g  
     mecm,xwm  
    G&dz<f  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 /}R*'y  
     >f-*D25f%  
         OG{vap)  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 6w*q~{"(  
     );1UbqVPD  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 ,xuA%CF-S  
    T )"U q  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。  9t_N 9@  
     {O (@}  
    E2yL9]K2  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 %617f=(E?!  
    |$sMzPCxOk  
    k/.a yLq  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 97MbyEE8J  
     Qcs >BOV~  
    OuV f<@a  
    < SvjvV  
    导出加工数据 g<jgR*TE`  
     EbMG9  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) lWWy|r'il  
     !y-,r4\@`  
    wfrSI:+>  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 JQk][3Rv  
     >SaT?k1E  
    Vc?=cQ'c  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 UwVc!Lys  
           _l$X![@6=  
    ]}s'`44J9e  
    'X/(M<c  
    f1 TYQ?e  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 2qe]1B;  
    'D17]Lp~.  
    \. _TOE9L  
    ,R5z`O  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Y0ouLUlI  
     LL7un_EC  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 1^^9'/  
    Nc[[o>/Cb  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 MWn+e  
    K %Qj<{)  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 I>(-&YbC  
    OYayTKxN  
    1zlBkK   
    导出加工数据列表 iqTGh*k  
     m5\/7 VC  
    H*VZ&{\7  
    #F25,:hY  
    导入加工数据 eO?@K$I  
     1 -:{&!  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI $R_RKyXzo  
     BY!M(X jrZ  
    4}MZB*);0  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Dvz}sQZ  
     ^yp`<=  
    _1U7@v:<@  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) Df_*W"(v  
    o.M.zkP a  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 rWnZIt"  
     ?TEdGe\*  
    i\94e{uty[  
    #(f- cK  
    l>iE1`iL<  
    'Nn>W5#))  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Kta7xtu  
    #5/.n.X"  
    N\Li/  
    6) 导入完成，观察3D视图 6O# xV:Uc<  
     V1!;Hvm]+  
    Q]"u?Q]  
    G@I/Dy  
    O0cKmh6=  
    QQ：2987619807
     
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