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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： \8aF(Y^H  
     e;[8 GE.   
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； qE:DJy <  
     dw!Eao47  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 * XGBym  
     ;O11)u?/s|  
    结构设计 9?c^~77  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 -;-"i J0  
     n"Vd"}sU.  
    _q4m7C<  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 x@}Fn:c!5  
     O3: dOL/C  
         h'KtG<+  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 rv%[?Ml  
     Zw{tuO7}K  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 RBD MZ  
    =7,U qMl_  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 8E[`H  
     eR`<9KBH  
    ;P~S/j[ 8  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Uroj%xN  
    #wiP{+%b  
    r ngw6?`n-  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 1D6O=j\  
     AMz=HN  
    A,)ELVk1F  
    #{,IY03  
    导出加工数据 $SR]7GZ  
     dR:iUw:V  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) %/zZ~WIf  
     3wl>a#f  
    a6P.Zf7  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 E ET 2|*}  
     -~f.>@Wb  
    Ghc0{M<  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 R2W_/fsG  
           p> S/6 [X  
    ,eCXT=6  
    t7FQ.E,T  
    FG:BRS<m~  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 |lV9?#!  
    m)}MkC-  
    d2sq]Q  
    E2D8s=r  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 !k9h6/ b6  
     F JhVbAMd  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 w}q"y+=Z:  
    2z3A"HrlA  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 =i?,y +<  
    zX`RN )C  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 0+LloB  
    Mk?I}  
    0B/a$NC  
    导出加工数据列表 4V8wB}y7e  
     ,c l<74d  
    |"v{RC0  
    ':4pH#E  
    导入加工数据 *'-^R9dN.S  
     i{qURP}.  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 7+4"+CA  
     c\MDOD%9  
    D7/Bp4I#o  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) =lQ[%&  
     I xBO$ 2  
    8f5^@K\c  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) DjvgKy=Jr_  
    HH@xn d  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 8Oh3iO  
     1s[-2^D+EM  
    yVzg<%CR^  
    S]O Hv6  
    ~W{h-z%q  
    vyGLn  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ZH_4'm!^g|  
    _\PoZ|G4y  
    =A 6O}0z  
    6) 导入完成，观察3D视图 L-{r*ccIW  
     tta0sJ8 i  
    6qpV53H  
    @A'1D@f#  
    f`=T@nA  
    QQ：2987619807
     
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