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    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： v7iuL6jl  
     ;#vKi0V7  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ll`>FcQ  
     D/vOs[X o,  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 mP0yk|  
     J&.{7YF  
    结构设计 5h Q E4/hH  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 vgfcCcZ_iZ  
     Bq D'8zLD  
    va}Pj#=  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 d$ x"/A]<  
     B9NWW6S  
         $5ak_@AC  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 qz0;p=$8Z  
     {^\+iK4bS  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 "1 L$|  
    mLP.t%?#   
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 #xX5,r0  
     _kU:Z  
    JM x>][xD  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 }BZ"S-hZ  
    ?o81E2TJO  
    SYCEQ5 -  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 Gd-'Z_b  
     2jR r,Nl  
    GO` Ru 8  
    4dO~C  
    导出加工数据 MvK !u  
     2+QYhdw  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 1(I6.BHW  
     vms|x wb  
    {2=jAz'?  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 G6/p1xy>o:  
     bdC8zDD  
    y\Ic@-aWI  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 }<@b=_>S  
           LBM ^9W  
    5-aj 2>=7  
    3I)VHMC  
    v"b+$*  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 \;qW 3~  
    &cxRD  
    qf!p 9@4F[  
    5*lT.  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 :S<f?* }:  
     /fZe WU0W  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 6-z%633DL  
    uE%r/:!k4$  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 "D63I|O)  
    ]s'Q_wh_-v  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 o]yl ;I  
    F Sw\_[^CQ  
    l_o@miG/  
    导出加工数据列表 v|uAzM{73  
     \fG#7_wt  
    Al}6q{E9+8  
    ; <&*rnH  
    导入加工数据 ,w {e  
     Fq |Ni$  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI \NgYTZ  
     ,K)_OVB  
    kW;+|qs^  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ,K9*%rW)  
     9oYgl1}d  
    K#6P}tf  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) n^Hm;BiE#  
    :r{<zd>;  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 W>) M5t4i  
     9s\A\$("l  
    y0sR6TY)f  
    0z1ifg&  
    [pbo4e,4O  
    OLyf8&AU@  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 -ws? "_w  
    IpYM;tYw&  
    K"|l@Q[  
    6) 导入完成，观察3D视图 S\:P-&dC  
     GeyvId03H  
    cG[l!Z  
    .+PI}[g  
    2BQ j  
    QQ：2987619807
     
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