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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： P4hZB_.=  
     v&p,Clt-2  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； q1U&vZ3]c  
     ;RNM   
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 m5X3{[a :  
     w 9G_>+?E  
    结构设计 #L_@s d  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 "}0)YRz%  
     7vi i9Am7  
    A Z4|&iT  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 u(8_[/_B  
     Oyi;bb<#  
         nw~/~eM5=  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 )`B -O::  
     t)\D  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 b^uP^](J  
    R#"U/8b>z  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ]jHgo](%  
      ]# Y|   
    H;b8I  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 o}WB(WsG  
    jz{(q;  
    JN{<oxI  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 A8 \U CG  
     l4iuu  
    A6{t%k~F  
    1 ;cv-W  
    导出加工数据 &_< VZS  
     &Pmc"9Rl  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) :*mA,2s  
     b}ySZlmy  
    hknwis%y  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ArNur~  
     l@,);w=_P  
    Z-N-9E  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ?D RFsA  
           F3k C"H  
    UI|v/(_^F  
    2uvQf&,  
    r!{w93rPX  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 9F2w.(m  
    PWf{aHsr  
    %00k1 *$  
    OSSd;ueur$  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 8C*6Fjb#  
     vDu0  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 /Nj:!! AN  
    PphR4 sIM  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 '#cT4_D^lI  
    qPFG+~\c  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 `A4QU,0 8h  
    #JJp:S~`   
    /E`l:&89)  
    导出加工数据列表 K^!e-Xi6  
     j33P~H~  
    6Nfof  
    OmTZ-*N  
    导入加工数据 pm'@2dT  
     XBfiaj  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI cCo07R  
     m [g< K  
    ~pd1 )  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ]wkSAi5z*  
     9B!im\]O  
    )8 "EI-/.  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) Sb:zN'U  
    QrNL7{  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 w8m8r`h  
     ,? 0-=o  
    V e$5w}a4  
    }}sRTW  
    877EKvsiC  
    "Cyo<|  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 3PvZ_!G  
    e' /  
    zCBtD_@  
    6) 导入完成，观察3D视图 \p>]G[g  
     7"a`-]Ap  
    [p( #WM:  
    ,E*a$cCw  
    1WUFk?p  
    QQ：2987619807
     
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