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    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： _k5KJKvr  
     t4h05i  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； :8Q6=K87  
     `'Z ;+h]  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 )_xM)mH  
     nV:.-JR  
    结构设计 z<^HohT  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 UvQxtT]  
     r^*,eF  
    hbE;zY%hP  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 /=m=i%& #  
     G_j` 6v)  
         u@|GQXC  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 =\:YNP/  
     N1#*~/sXh  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 #Y`U8n2F  
    ut-UTW  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 YroKC+4"i  
     t&0n"4$d'  
    "=yaeEp  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ub,Sj{Mq"  
    2+"#  
    J# :%| F%  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 IWm|6@y  
     ;zSh9H  
    !8l4H c8  
    UnW,|n8  
    导出加工数据  U]e;=T:3  
     A`X$jpAn&  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 8 A%)m  
     \P{VJ^) 0  
    5zfaqt`  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 X`J~3s  
     *QAK9mc  
    Rfa1 v*(  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 d['BtVJ  
           17<\Q(YQ=  
    hz\7Z+$L_  
    "V?U^L>SF  
    xQaN\):^8  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 nBGk%NM 8  
    {:{NK%  
    g%9I+(?t  
    -f Zm_FE  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 <5C3c&sds  
     WnUYZ_+e!  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 XL} oYL]}&  
    70|Cn(p_  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 6\b B#a  
    1{nXmtvr  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 (kb^=kw#0  
    SB eb}LZ  
    iSIj ?.  
    导出加工数据列表 mQJRq??P  
     wm8(Ju  
    zy+|)^E  
    u4#BD!W  
    导入加工数据 Z4E:Z}~''  
     0QEVL6gw  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI OU0\xx1/  
     WBTX~%*U  
    hua{g_  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) j<wg>O:s%r  
     Wl::tgU  
    PN0:,.4  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) R2t5T-8`c  
    mv<z%y?Oj  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 (AXS QI~y  
     KcNEB_i  
    p~+)!Z#  
    V\)@Yk2  
    V><5N;w  
    a.wRJ  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 [y=k}W}z  
    DghX(rs_  
    Ou8@7S  
    6) 导入完成，观察3D视图 +?nW  
     +a"A svw2  
    ",`fGu )  
    -4;{QB?  
    {gK i15t  
    QQ：2987619807
     
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