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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： LR{bNV[i  
     VdGVEDwz  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； V0rQtxE{F  
     I 44]W&  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 5eE\ X /  
     W~2,J4=  
    结构设计 gL-kI *Ra  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 gS'7:UH,  
     C #iZAR  
    qH5nw}]  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 z HvE_ -  
     $,J0) ~  
         4I$Y"|_e  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 G<=I\T'g;  
     #g0_8>t  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 BWQ`8  
    Pc=ei  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ]{q=9DczG(  
     Ow*va\0  
    bS2g4]$'po  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 +uSp3gE"  
    tW4X+d"  
    V8):!  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 _@y uaMoW=  
     CuH4~6  
    VBQAkl?(}4  
    T7 "QwA  
    导出加工数据 tM;cvc`/  
     }nX0h6+1  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) b@&uwSv  
     'G~i;o  2  
    .B- b51Uz  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 @2L^?*n=  
     ]W$G!(3A  
    t6\H  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 .:f ao'  
           \1gAWUt('  
    >qB`0 3>  
    $x`HmL3Sb  
    3e;|KU   
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 {q`8+$Z;  
    bR) P-9rs  
    fo+s+Q|Y  
    2,q*8=?{6P  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 &"JC8  
     c:Cw #  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 )W 5g-@  
    L=qhb;  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 & ;.rPU  
    Ewp2 1  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 zHz>Gc  
    ed/B.SY  
    " Ot%{&:2  
    导出加工数据列表 G gA:;f46  
     %;h1n6=v2  
    >QvqH 2  
    PdVx&BL*  
    导入加工数据 gh*k\0  
     +58^{_k+%  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI rgCC3TX  
     ] 9C)F*r7  
    'l<$H=ZUVG  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) !{CIP`P1  
     :FC)+OmJ  
    d*Su c  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) [&*irk  
    Z0zEX?2mb  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 JUA%l  
     r9u'+$vmF  
    yW1N&$n  
    ,&4 [`d  
    Gdb0e]Vt+  
    AJLzLbV+  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 @w==*.x  
    okRt^qe  
    m`fdf>gWp  
    6) 导入完成，观察3D视图 d7b`X<=@s  
     nRqP_*]  
    v"(6rZsa  
    .O0eSp|e  
    _){u5%vv  
    QQ：2987619807
     
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