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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： R-2Aby ts2  
     2Y;iqR  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； aCyn9Y$=  
     dd@ D s  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 KPZqPtb;  
     qg*xdefQ%  
    结构设计 ;Wn0-`_1,  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 cA{,2CYc  
     n0uL^{B  
    yoTx3U@  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ?9~|K/`l  
     y#nyH0U  
         Xa$tW%)  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 &}0#(Fa`  
     D6'-c#  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 +('=Ryo T  
    DRRy5+,I  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 r90R~'5x9  
     Zj)A%WTD,  
    oCKn  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 iH-(_$f;  
    ;v ~xL!uQ  
    iP?lP= M  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 2p*L~! iM  
     b^<7@tY  
    //#]CsFiP  
    xz}=C:s  
    导出加工数据 \~T&C5  
     8>:u%+ C1c  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Enhrkk  
     \obM}caT  
    Hc\oR(L  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 CSr2\ogT  
     Emv9l~mIu  
    WwLV^m]  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 wNl "y  
           TEbE-h0)]  
    g7K<"Z {M  
    D Z=OZ.v  
    l YjPrA]TC  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 >UV=k :Q  
    tk+t3+  
    (2/i1)Cq  
    :]`JcJ  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 QhPpo#^  
     #/WjKr n  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 .j`8E^7<  
    J*qo3aJjE  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 #3-hE  
    6/|"y  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 21~~=+)X  
    i]0$ 7s9!  
    ZRC7j?ui8`  
    导出加工数据列表 q/3co86c  
     N| |s#  
    }ct*<zj[~u  
    ^NO;A=9b[  
    导入加工数据 :LD+B1$y  
     P~@I`r567  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 9<*<-x{A17  
     ypY7uYO^"  
    iBqIV  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load)  83:qIfF  
     @Hst-H.l<l  
    [Ny'vAHOj  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) {ALOs^_-  
    @C5 %`{\  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 )h;zH,DA[3  
     Wu693<  
    :$oiP  
    Y1 6pT  
    ` aaT #r  
    q<A,S8'm  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 _P{v=`]Eu  
    |r53>,oR<:  
    CIf""gL9  
    6) 导入完成，观察3D视图 \J^xpR_0u  
     f8 L3+u  
    z';h5GNd>z  
    J i:0J},m  
    '8fh(`  
    QQ：2987619807
     
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