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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： \TZSn1isZX  
     N4#D&5I",  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 5(gWK{R)*  
     z&cM8w:  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 6Df*wi!jI  
     k".kbwcaF  
    结构设计 <UF0Xc&X'  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 'W,*mfB  
     B0U(B\~Y  
    cZJ5L>ox  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 =A!r ZG  
     8>@JW]  
         lb$_$+@Vr  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 nK32or3  
     )X;051Q  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 N>Ih2>8t  
    DK eB%k  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 NRny]!  
     CuD}Uo+u  
    Nc &J%a  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 r;xy/*%Mtj  
    9dw* ++  
    c<,LE@ V  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 d<+hQ\BF,  
     ]J[d8S5  
    .uVd'  
    }zks@7kf  
    导出加工数据 =[8K#PZ$w  
     U(0FL6sPC  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) $|xSM2  
     7Q]c=i cg  
    7nNNc[d*=  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 d!w3LwZ  
     `!t-$i  
    >{QO$F#  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 T>]T=  
           =6qTz3t  
    ;@T0wd_i|  
    0 zK{)HZ  
    H<[~V0=  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 [al$sCD]+  
    {aNpk,n  
    S :8  
    /q+;!EM  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 r8@] |`j  
     yhYF "~CM  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ,% Qh S5e  
    &oMWs]0  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 [nZIV  
    :IU7dpwDl  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 !b7"K|  
    }04mJY[  
    BO#tn{(#  
    导出加工数据列表 vue^bn  
     aUzCKX%>C  
    4MS#`E7LrC  
    m)} 01N4  
    导入加工数据 p09p/  
     ghWWJx9  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI Qw:!Rw,x  
     >xabn*Kq  
    >9rZV NMU  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) IC&P-X_aP  
     A $gn{ c  
    3q}j"x?  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) -z~!%4 a  
    sa4w.9O1GS  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 jOVF+9M  
     R__:~ uv,  
    Mn(iAsg  
    '"fJA/O  
    V-}}?c1 F  
    gr SF}y!3  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ^APtV6g  
    !*}UP|8  
    <kdlXS>J.  
    6) 导入完成，观察3D视图 s@ r{TXEn  
     4lB??`UN  
    (_zlCHB  
    WN+i3hC  
    D<;~eZ'  
    QQ：2987619807
     
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