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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： o hlVc%a  
     q:^Cw8  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ~\,6 C1M  
     ![^h<Om  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Q$j48,e  
     tvRy8u;  
    结构设计 1bkUT_  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 )7J>:9h  
     nDy=ZsK  
    7!;/w;C  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 A o$z )<d'  
     ^mQfXfuL  
         6QQ oHYtZ  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 2s%M,Nb  
     !*6z=:J  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 =:eE!  
    P.DWC'IBN  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 U$uO%:4%  
     2Zip8f!  
    / u6$M/Cf>  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 0B/a$NC  
    V"iLeC  
    HC,@tfS  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 aS G2K0  
     F9r*ZyNlx  
    P^W47 SO  
    ^#se4qQ  
    导出加工数据 mC(t;{  
     b0 `9wn  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) .+h pxZ  
     3 ?~+5DU  
    _1Gut"!{\  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 HYmXPpse  
     );H[lKy  
    [HDO^6U  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 caD;V(  
           Cq;d2u0)o$  
    _\PoZ|G4y  
    e}AJxBE  
    5N<v'6&=  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 rF3]AW(  
    1Z8oN3  
    Nn1^#kc  
    DNBpIC5&6  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 :Xh`.*{EX  
     rd4'y~#S  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 dvF48,kr  
    l?_!eA  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 q.km>XRk~  
    Nj&%xe>].  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 uA`PZ|  
    6 <S&~q  
    %v:h]TA  
    导出加工数据列表 s/H"Ab  
     ;o459L>sW  
    v} ;qMceJ  
    pF+wH MhUe  
    导入加工数据 UC/2&7 ?  
     ) '`AX\  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI yUwgRj  
     Ltd?#HP  
    y@\Q@ 9  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) YKOO(?lv  
     o 0ivja  
    m>dcb 6B+g  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 05I39/T%  
    e`M]ZG rr  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 UZXcKl>u  
     kS#DKo  
    RTBBb:eX  
    B00wcYM<1r  
    `G0rF\[  
    &dDI*v+  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 7P^{*!  
    @EOR] ^?!]  
    e0WSHg=6@  
    6) 导入完成，观察3D视图 "u8o?8+q~  
     ww t()  
    U3+ _'"  
    b_gN?F7_  
    TKu68/\)  
    QQ：2987619807
     
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