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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 D/: 3R ZF ix*muVBj. 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 f^e&hyC
+|&0fGv;d9 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 "dtlME{Bx
t!qwxX* $T 要求工具箱：光栅工具箱 ArXl=s';s4
O{ q &]~, 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 7 :U8 f: zPE$ 一、模拟任务： T 6HU*( 二、光栅的描述 m &/=&S
d.r Y-k 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 q qvF-mDN
R=$Ls6z 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 "+h/-2rA
yU_9a[$V 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 xS+rHC
D^?_"wjW 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”
-oh7d $~
UA(;fZ @ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 lT ,+bU
BY(
eV! 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 *eGM7o*\X N!c
gN iN)af5)[^ GOVAb' 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm hSMV&Cs r i+U0[e3 w2z p#;d 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm .
\F7tc 8? 88o:NJ} _ $E.XOpl&I 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ~g dd cTp *U_oao e{!vNJ0` 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm _B$"e[:yX l &Z(K,6 * Hunp Y 5. 参数运行 ug&92Hdvy3
XA3s],Rk 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 &HL{LnLP@/
p+<}Y DMb 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 y x ;h a5V=!OoMk 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 \]8i} E1 @a(oB. i ym%o}( v- UH20n{_: 7. 总结 ikHOqJ-,m
;rHz;]si 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 tIGs>, a=
JIV8q HC 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 fS I %c3
@T7PZB&xnl 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 'vlrc[|/ g+|Bf &_
zs8 I QQ：2987619807 NvHN -^2
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