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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 kR1dk4I4 1yg 5d9 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 r@.3.Q
=/6rX"\P 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 AvxP0@.`
RhPEda2 要求工具箱：光栅工具箱 <8SRt-Cr
n G+ L'SmI 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Onqd2'%< @ a $HJ : 一、模拟任务： KXS{@ /"-B 二、光栅的描述 3SU:Xd(\o
V jc*D] 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 `Qrrnq
[tP6FdS/M= 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 "92Z"I~1
`H7V[' 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 |fd}B5!c
}z/Y
Hv% 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” R DAihq
JOA_2qa>\ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 fK'qc L
NETji:d 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 +~H mP Q #SR"Q`P \i +=tGY FV1!IE-}- 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm R[/]iK+!& :q+D`s LM~,`#3 Ru 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm VHUOI64* ,f Qs+* j C K{.Ic^ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm @NY$.K#] +"!=E
erKi l Zq`,E_L 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm N)0I+>, ^ bN',-[E qZ8 V/ 5. 参数运行 =u+.o<
QvF UFawN 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 fV` R7m.
k/|j e~$ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Lh M{d L,QAE)S'a 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 }: W6Bo-| DJF-J# aK ly1G d_5wMK6O6 7. 总结 sT^^#$ub
w Jb \Q 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 1HBdIWhHv.
4/rd r80 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 #&hu-gM V
m9Z 3q ; 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 P]pVYX# m gXR1nnK
j})6O! L. QQ：2987619807 `B ^ HW8
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