-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-04-08
- 在线时间1761小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ab2FK INN} xZ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 )q=F_:$
lcdhOjz!N 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 y!=,u
bTum|GWf 要求工具箱：光栅工具箱 ]I\GnDJ^
Kv|
x
-_7 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 uyWheR 1,fR kQ
一、模拟任务： :0r ,.) 二、光栅的描述 /f#b;qa,
;ek*2Lh 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 1C B&z@
pp@
Owpb 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 t1?aw<
}p ~2lOI 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 7 9t E
w5%Yi { 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” D~C'1C&W
ab6I*DbF 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 [|Qzx w9
<8:h%%$? 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 LCB-ewy# E %hVR|K|J &*v\t\]
DG;7+ 2U 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm sy"}25s O%EA ,5U. N9w"Lb 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm % >m.Z#R( f!'i5I] q/ljH _- 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm J'% i?cuV ?\o~P hP"2X"kz& 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm &D<R;>iI L I<S dbby.% 5. 参数运行 sT)>Vdwf_
L2XhrLK.| 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 d/; tq
uVEJV |^/ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 RD dnOzx GL
n M1 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 P{o)Ir8Tt K0gQr.J53 ^FLs_= E 2{=]Pf 7. 总结 %,T*[d &i
` s7pM 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 "V p
nr +6
vJ&_-CX 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 7a"06Et^
MltO.K! 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 -EiTP:A ]rv\sD`[
e0`z~z]6& QQ：2987619807 cB uuq
|
