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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 >X!A/; $ lwuslt*E/ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 JHZ`LWq
=/jCDY 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 5L8 )w5
A #P]| i 要求工具箱：光栅工具箱 XKq}^M&gy
&; O)D w 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 QL4 BD93v nd/.]" 一、模拟任务： 2gnmk
TyF 二、光栅的描述 @on\@~Ug
~)\E&c 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ayvHS&h
rWo&I _{ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Y +9 OP
dW8M^A& 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 +`)4j x)r/
AT%@T| 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” j >wT-s
!?~>f>js_l 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ] oh.w
U1wsCH3+ n 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 4dwG 6- lZa L=HS#L wUbs9y< M)1? $'Aq 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm $WV N4fg fq2t^c|$ L~])?d 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm e:&(y){n( pl{Pur ;i 7u9!:}Tu 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm If*t$f>y4N ~20O&2 sZ!/uN!6 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm jK{)gO oMj;9,WK' eZ^-gk? 5. 参数运行 J|z >5Z
~J Xqyw} 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 (K(6`~
X_0Ta_u?T 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 9.
7XRxR^ ^l(Kj3gM 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 _
IqUp Y mar
BV Fz~ 7fg +WZ %;Dp~T`0 7. 总结 ] hxE^/8 7
P ;#}@ /E 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 OEN!~-u
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iK9'u 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 -m.SN>V
> %~%O`+ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 -R[ *S " BWbM$@'x
+H7lkbW QQ：2987619807 ,KMt9 <
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