-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-11-15
- 在线时间1524小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ;,/G*`81B QncjSaEE 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 k"dE?v\cG
Yo5 ged]i 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 /;TD n>lq
HU
+271A8 要求工具箱：光栅工具箱 brE% /%! e
K~&3etQF 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 T?n [1%K RionKiN 一、模拟任务： bMqS:+ 二、光栅的描述 /$ 8& r
2#`d:@r 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 -uAGG?ZER
;rh =63g 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 10dK%/6/O
}&ew}'*9) 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 VF -[ O
UA0R) BH' 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” bnp:J|(ld
z1e +Ob& 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 %&O'>L
[ eF|2: 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 w `M/0.)V U$ZbBVa`~ 6>d 3 * H/#WpR g 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm FP6 Jf I8 0"@p|nAa \iwUsv>SB 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm w/0;N`YB %eu_Pr 6X n
u>6UjV 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm -fz( ]d G|$n,X1O( T6,6lll 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm >&qa T*_g BGT`) WP zy9W{{:P(1 5. 参数运行 ^\PNjj*C i
Sj'.)nz> 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 oA
]F`N=
YH[HJ#:7r 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 VS<w:{* -uK@2} NZ
6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 5sMyH[5zY TP/bPZY 2f0_Xw_V_ 6[1lK8o 7. 总结 h3-dJgb
(7P VfS>; 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Bk4|ik}
O6!:Qd 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 p["20 ?^
gG6BEsGa, 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Q"{Q]IT k$K>ml/h
A `=.F QQ：2987619807 cA
B^]j
|
