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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 sHV? njZd |VjD. ]I 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 D{q r N6g#
]3 Ibl^J 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 *(XGNp[0
^; }Y ZBy 要求工具箱：光栅工具箱 >5TXL OYZ
YN7O Qqa 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 " YOl6n U7e2NES 一、模拟任务： 3qDbfO[ 二、光栅的描述 f)V6VNW.3
m( %PZ*s 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 V&/Cb&~Uw
.$ Yp~ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 I47s q z7
tO D}& 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 [@3.dd
i=hA. y` 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” K( ?p]wh
\.GA" _y 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 " u b0}p4V
gNkBHwv 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 K$s{e0
79 ytV[x x2/ciC
8o).q}>& 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm YUyYVi7clq e5"5 U7 L. S/M v 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm nU6UjC|3 jR+k x :+ EY
c)v6[ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm >7 cDfv" H
=&K_ \ NKw,`/ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm YM. ~E vGNnTL 9C!b
f \ 5. 参数运行 >66
`hZ
7& w[h4Lw 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 MOi1+`kwh
r]aI=w<(f 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 0bSnD|#I v_pFI8Cz) 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 I=
cayR FJ{&R Ld jz>b>; Mp[2A uf 7. 总结 @~&^1%37)
Q~rE+?n9 F 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ?V(+Cc
8KKhD $ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 )M"xCO3 a
QR<<O 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Ht]O:io` 4AF.KX7
m9-=Y{&/ QQ：2987619807 UgZL<}
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