-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-04-08
- 在线时间1761小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 js(pC@<q5 Et$2Y-L. 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 |Cv!, ]9:r
@d'j zs 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 XFl 6M~ c
WWY6ha 要求工具箱：光栅工具箱 3] Ct6
Txu/{ M, 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 $Sq:q0 !$ JT e 一、模拟任务： kiEa<-] 二、光栅的描述 J.a]K[ci
:WEDAFq0 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 5pX6t
,tFg4k[ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 &C}*w2]0S
dysS9a, 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 00(\ZUj
)0`C@um 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” , 1`z"7\W
Yy8g( bU 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Rq -ZL{LR7
203 s^K 61 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 c<~H(k'+c F59 TZI KNl$3nX _`X:jj> 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm xT8?&Bx @7 }W=HB PCA4k.,T 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm I%) :1\) ?6!LL5a. e-;}366 } 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm G@0& 8 (Ld i|jL )X7 A 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm (FV >m rv;3~'V S:}7q2: 5. 参数运行 GgU/ !@
_1^'(5f$ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 f);FoVa6
Ri'n 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 )7@0[> tPvp JX6kP 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 NK+ o1 %<5'=t'|-U hTkyz
la % O<BfIZ 7. 总结 1C.VnzRnJ
WIOV2 + 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 _F{C\}
#ob/p#k 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 pAEx# ck
?2a $*( 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 V&i;\ 9 G byJ:
ESs\O?nO QQ：2987619807 Vl]>u+ YqE
|
