-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-01-24
- 在线时间1672小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 2@_3V_ D{8B;+ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ,e OZv=:
g Yh o$E 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 L1lDDS#
c9uu4%KG6< 要求工具箱：光栅工具箱
1l}Am>}
'Eia=@ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ffB<qf)?G )=glN<*? 一、模拟任务： w k'(g_DP 二、光栅的描述 x Zq, kP^
XH0Vs.w 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 }3
~*/30V
S~z$ =IiB 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 A0.xPru1p
# Sy~t{4 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 xV`)?hEXFh
wuCZz{c7 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” !f!Y MpN
&j'k9 C2p 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ~
c~ j
5B1,,8P 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 p8 s%bPjK .d#Hh&jj o2YHT
\P
n tg%<@U`7= 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm . ;vd i)'u!V GXv2B%i8 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm K;`*n7=IA 7 oYD;li$k h4slQq~ K 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm NXOvC!< ^^xzaF RHu,t5, 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm )OlYz!#? YSZ[~?+ x1CMW`F 5. 参数运行 JO87rG
u0u z~ s 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 rhQO#_`
La^Zr,T! 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 2<2a3'pG 4g.S!-H@R 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 5 (\[Gke i-k(/Y0 k'[\r>T at3YL[,[Z 7. 总结 1-! |_<EW1
dt>!=<| k 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 wDh&S{N
h*
/ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 @:9mTP7
{#{ nU NW 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 .=
8Es# fG7 -0 7
F<6{$YI QQ：2987619807 )4+uM'2%
|
