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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 |p+VitM7 #A/jGv^ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 sM4wh_lO
AD5t uY 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 #eaey+~
J>'o,"D 要求工具箱：光栅工具箱 `?$R_u Fh:
" c]Mz&z 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 &@Q3CC DS r`krv-,O$ 一、模拟任务： V-
v Vb 二、光栅的描述 a2i
j `
x9z_ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 b)V[d8IA
v|"{x&I. 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 w_-{$8|
bZi>
3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 @fY!@xSf
!1 l2KW<be 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” I?PKc'b
*7R3EUUk 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 5 GY%ZRHh
G ;z2}Ei 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ecF I"g *<UQ/)\ ]EK"AuEz` @#V{@@3$ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm m}XI?[!s w&H
?; 1 e"b F" L 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 55;xAsG !98 s[)B: IlE!
zRA 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm e88JT_zrO :?S2s Ne2 !~Z L 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm E u@TCw8@ H"-p^liw W w8[d 5. 参数运行 >Z3}WMgBN
uM\~*@ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 2`lit@u&u
`@ `CZg 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Mpj3<vj K.cNx 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 pymT- Yd,*LYd2EL ;Y~;G7 w@ "|S_E 7. 总结 ,mRN;|N
P2oR C3~ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 v/^2K,[0>
l"MEX/ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 k}BNFv8
2x{3' ^+l 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 r)b` 3= IUZsLN W
X-ml0
=M[ QQ：2987619807 wRuJein#
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