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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 }&t>j[ JD~;.3$/k 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 qQi\/~Y[:
hg(<>_~ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 BUJ \[/
8v4 o+w P 要求工具箱：光栅工具箱 yB2h/~+
acR|X@ \3 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 b1Kt SRLV CMaph 一、模拟任务： {PcJuRTHB 二、光栅的描述 8&)v% TX
. \" k49M` 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 U8w_C\Q
N);w~)MYh 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ||_hE T
^k ;]"NR 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 `x#Ud)g
A913*O: \ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” n%s%i-[5B
3 /@z4:p0R 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 C/Khp +
^ RA'E@ " 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 )rD!4"8/A #_@cI(P @#)` -]g K Lg1(W( 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm TZAd{ EZa &0Yg:{k$ $'4 98%K2 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm X#lNS+&=' IW 3k{z ]
3"t]U'f 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm DK)W
,z| h_vT A MC}t8L= 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ?m
|}}a :"\,iH [y[d7V9_o 5. 参数运行 D(#f`Fj;
mll :rWC) 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 xzOa9w/
Q + ^ & 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 xH-d<Ht,7 G%<}TI1} 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 qTd[Da G# fFjpQ~0 N+|NI?R?} mL{P4a 1xf 7. 总结 3 !"N;Q"
m +k P"]v 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 * qd:f!Q3
Gk, Bx1y 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 U(#<D7}
21uK&nVf^l 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 0bg"Q4 K}~$h ,n
KP&+fDa QQ：2987619807 H_DCdUgC'
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