脉冲宽度为皮秒级的紫外激光，拥有极窄的脉冲宽度，可在短时间内破坏物质的分子键，缩短了与物质相互作用的时间，同时具有较强的时间分辨率。为了获得皮秒级脉冲宽度的短波紫外激光，本文设计了一种皮秒光纤-固体混合放大213 nm激光器。采用重复频率为5 MHz、脉冲宽度为52 ps、平均功率为2.5 W的1 064 nm光纤激光器作为种子源，经过两级端面泵浦的Nd：YVO4晶体组成的放大器对种子光进行放大，得到了平均功率为10.5 W的1 064 nm基频光输出。再将混合放大后得到的基频光及其四倍频后获得的266 nm激光在BBO晶体内进行和频，最终输出213 nm紫外激光。混合放大后获得的基频光经过多级非线性转换，最终输出脉冲宽度为690 ps、平均功率为61 mW的213 nm紫外激光，非线性转换效率达到0.58%。
