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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) )L |tn  
    D =r-  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 w"cM<Ewu  
    $%g\YdC  
    1. 描述 8 7RHA $?  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !8xKf*y  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >ik1]!j]Lv  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ybZ}  
    i8Fs0U4"  
    2. 系统 I*D<J$ 9N  
    XzT78  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    k)`$%[K8  
    3. 透镜系统组件编辑 PZys  u  
    bh6d./  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 M#OH Y *  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 r\(v+cd  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 hPa n  
    包括序列光学表面和光学介质。 dh&W;zs  
    TdQ ]G2  
    $ !v}xY  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 %_R$K#T^,  
    aXe{U}eow  
    X[V?T>jsM  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 k/G7.)C  
    可以选择选取光线的方法: 4,2(nYF  
    — 在x-y-网格 n`%2Mj c  
    — 六边形 a3Y{lc#z}  
    — 自由选取 <tFSF%vG=  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    5U%MoH  
    %=V"CJ$|  
    5. 系统的3维视图 \V= &&(n#  
    ?VB#GJ0M9  
    Oe/6.h?  
    6. 其他系统参数 T^~)jpkw  
    系统由单色平面波照明 Bc@30KiQ ^  
    照明波长266.08nm NZ>7dJ  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: H+a~o=/cR  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 zI:(33)  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 &K>cW$h=a  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Yx5J$!Ld  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 UP\C"\  
    lR:?uZ$  
    WSQ[.C  
    U^[<  
    Va7c#P?  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 P+h6!=nD7  
    Y+g,pX  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    a:A n=NA  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    +'|{1gB  
    B/mYoK  
    .U9 R> #  
    6 }!Z"  
    s2%V4yy%  
    U;g S[8,p  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Okpwh kPL5  
    p%F8'2)}  
    7rcA[)<'  
    VirtualLab可用于计算点列图。 # :#M{1I  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 b6"}"bG  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 NPm;  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 /s:w^ g~  
    gE\b 982  
    9. 焦平面上的结果 ic E|.[  
    daslaa_A  
    ["a"x>X&  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %ISq>A)%  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 xYI;V7  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm d ;^  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 bKMWWJf*'  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    RNTa XR+Zn  
    hGI+:Js6  
    10. 总结 >7'+ye6z  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 SWs3SYJ\  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 R,F gl2  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 EyY],W1 Y  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 X4wH/q^  
    =A@>I0(7  
    vT c7an6fy  
    QQ:2987619807 ;F5"}x  
     
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