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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) Y0x%sz 5  
    :c8&N-`  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 n/SwP  
    ,q}ML TS i  
    1. 描述 IFF92VD&  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 h|,:e;>}  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _H j!2 '  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LIcM3_.  
    <eQj`HL  
    2. 系统 }T&iewk  
    P*FMwrJj>r  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    bn!HUM,  
    3. 透镜系统组件编辑 {u#;?u=|  
    t m7^yn:  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 SKkUU^\#R`  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 -_1>C\h"  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )}"wesNo".  
    包括序列光学表面和光学介质。 BW 4%l  
    xT   
    U<DZ:ds ?T  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 S/9DtXQ  
    -'t)=YJ  
    ?QFpv #4  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G+X Sfr  
    可以选择选取光线的方法: n=y[CKS  
    — 在x-y-网格 [8T^@YN  
    — 六边形 ,N!o  
    — 自由选取 |4B:<x   
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    BT}!W`  
    >pp5;h8!  
    5. 系统的3维视图 *7ZN]/VRT  
    X]wRwG  
    ;c4 gv,q@  
    6. 其他系统参数 e[&L9U6GW-  
    系统由单色平面波照明 ;\14b?TUH  
    照明波长266.08nm FVaQEMZ^  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: J&.{7YF  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 5h Q E4/hH  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 -o $QS,  
    光束尺寸探测器置于焦平面 /5Oa,NS7  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 {<R2UI5m5  
    G!>z;5KuS  
    L?WFm n  
    *>n;SuT_  
    tt0f-:#  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 )qo {c1X  
    SqEgn}m$  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    M%2+y5  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    CGY]r.O*  
    uRZZxZ  
    x{n`^;Y1  
    <{V(.=11  
    @?yX!_YC  
    ?o81E2TJO  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 nxWY7hU  
    BD_Iz A<wK  
    mlJ!:WG  
    VirtualLab可用于计算点列图。 3%E }JU?MM  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 BJM.iXU)[  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 eYN5;bx)W  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 g# Sl %Y  
    i rU 6D  
    9. 焦平面上的结果 q7_ m&-0)  
    $~VRza 8Q  
    ;<Ar=?  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 BK)$'AqO  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [5G6VNh=  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm j bVECi-  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 &PYK8}pBk3  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    W6?pswQ  
    MZSy6v  
    10. 总结 * w?N{.  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 FbS|~Rp~  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 f&BY/ n,  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 x=b7':nQ  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Q=AavKn#  
    'gC_)rK*  
    bM{s T"  
    QQ:2987619807 x3 q]I8q  
     
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