示例.0082(1.0) Y0x%sz5 :c8&N-` 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 n/Sw P
,q}MLTSi 1. 描述 IFF92VD& ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 h| ,:e;>} ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _H j!2 ' ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LIcM3_.
<eQj`HL 2. 系统 }T&iewk P*FMwrJj>r 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
bn!HUM, 3. 透镜系统组件编辑 {u#;?u=|
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m7^yn:
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 SKkUU^\#R`
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 -_1>C\h"
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )}"wesNo".
■ 包括序列光学表面和光学介质。 BW 4%l
xT U<DZ:ds?T 4. 光线追迹系统分析器-选项 S/9DtXQ -'t)=YJ ?QFpv#4
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G+X
Sfr
■ 可以选择选取光线的方法: n=y[CKS
— 在x-y-网格 [8T^@YN
— 六边形 ,N!o
— 自由选取 |4B:<x
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 BT}!W`
>pp5;h8! 5. 系统的3维视图 *7ZN]/VRT X]wRwG
;c4gv,q@ 6. 其他系统参数 e[&L9U6GW- ■ 系统由单色平面波照明 ;\14b?TUH ■ 照明波长266.08nm FVaQEMZ^ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: J&.{7YF — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 5hQE4/hH — 一个虚拟屏位于焦平面 -o$QS, — 光束尺寸探测器置于焦平面 /5Oa,NS7 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 {<R2UI5m5 G!>z;5KuS L?WFmn *>n;SuT_ tt0f-:# 7. 光线追迹系统分析器的结果 )qo {c1X SqEgn}m$ 光线经过整个光学系统的三维视图
M%2+y5 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
CG Y]r.O* uRZ ZxZ x{n`^;Y1 <{V(.=11 @?yX!_YC ?o81E2TJO 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 nxWY7hU BD_Iz A<wK mlJ!:WG
■ VirtualLab可用于计算点列图。 3%E }JU?MM
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 BJM.iXU)[
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 eYN5;bx)W
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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i rU 6D 9. 焦平面上的结果 q7_ m&-0)
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 BK)$'AqO
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [5G6VNh=
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm jbVECi-
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 &PYK8}pBk3
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 W6?pswQ MZSy6v 10. 总结 * w?N{. ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 FbS|~Rp~ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 f&BY/ n, ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 x=b7': nQ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Q=AavKn# 'gC_)rK*
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