示例.0082(1.0) )L |tn D=r- 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 w"cM<Ewu
$%g\YdC 1. 描述 8 7RHA $? ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !8xKf*y ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >ik1]!j]Lv ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ybZ}
i8Fs0U4" 2. 系统 I*D<J$ 9N XzT78 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
k)`$%[K8 3. 透镜系统组件编辑 PZys u
bh6d./
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 M#OHY*
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 r\(v+cd
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 hPan
■ 包括序列光学表面和光学介质。 dh&W;zs
TdQ]G2 $
!v}xY 4. 光线追迹系统分析器-选项 %_R$K#T^, aXe{U}eow X[V?T>jsM
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 k/G7.)C
■ 可以选择选取光线的方法: 4,2(nYF
— 在x-y-网格 n`% 2Mj c
— 六边形 a3Y{lc#z}
— 自由选取 <tFSF%vG=
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5 U%MoH %=V" CJ$| 5. 系统的3维视图 \V= &&(n# ?VB#GJ0M9 Oe/6.h? 6. 其他系统参数 T^~)jpkw ■ 系统由单色平面波照明 Bc@30KiQ^ ■ 照明波长266.08nm NZ>7dJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: H+a~o=/cR — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 zI:(33) — 一个虚拟屏位于焦平面 &K>cW$h=a — 光束尺寸探测器置于焦平面 Yx5J$!Ld ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 UP\C"\ lR:?uZ$ WSQ[.C U^[< Va7c#P? 7. 光线追迹系统分析器的结果 P+h6!=nD7 Y+g,pX 光线经过整个光学系统的三维视图
a:A n=NA 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
+'|{1gB B/mYoK .U9R># 6
}! Z" s2%V4yy% U;g S[8,p 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 OkpwhkPL5 p%F8'2)} 7rcA[)<'
■ VirtualLab可用于计算点列图。 # :#M{1I
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 b6"}"bG
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 NPm;
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 /s:w^g~
gE\b982 9. 焦平面上的结果 icE|.[
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %ISq>A)%
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 xYI;V7
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm d ;^
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 bKMWWJf*'
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 RNTa XR+Zn hGI+:Js6 10. 总结 >7'+ye6z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 SWs3SYJ\ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 R,Fgl2 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 EyY],W1 Y ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 X4wH/q^ =A@>I0(7
vT c7an6fy QQ:2987619807 ;F5"}x