示例.0082(1.0) LChwHkRHJI [BKTZQ@G@ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 >Wd=+$!I
rV%;d[LB 1. 描述 qpf|.m ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 e9k$5ps ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {A MAQ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Wb^g{F!W
?ODBW/{[G 2. 系统 @&E7Pg5 |n s9ziTDI 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
DoeE=X*`k 3. 透镜系统组件编辑 [--] ?Dr
C91'dM
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 &oVZ2.O#(
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 l@<Jp *|
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1OK~*=/4
■ 包括序列光学表面和光学介质。 i94)DWZ^
i#U_g:~wC '<C#"2 4. 光线追迹系统分析器-选项 O~Dm|hP :G<~x8]k0 Co<F<eXe
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 u69G
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■ 可以选择选取光线的方法: Hg(nC*#/Q
— 在x-y-网格 dlV HyCW
— 六边形 |JUAR{
— 自由选取 @G>&Gu;5
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 'Hq#9?<2M ,f~8:LHq 5. 系统的3维视图 2Nx#:Rz bFIv}c+;
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n*+uk 6. 其他系统参数 @7Nc*-SM ■ 系统由单色平面波照明 VpM(}QHd ■ 照明波长266.08nm N?s5h? ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: u9}LvQh_6, — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 \z-OJ1[F — 一个虚拟屏位于焦平面 [k,FJ5X — 光束尺寸探测器置于焦平面 =:^f6"p&Z ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 hQJ-
~ d[e;Fj! ?trqe/ VSc)0eyn Wl>$<D4mO[ 7. 光线追迹系统分析器的结果 5[$Tpn#K7 +,0 :L :a 光线经过整个光学系统的三维视图
8&y3oxA, 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
G]>P!] ]K>x:vMKH j2!^iGS} Z7?-c * p,2>[e +JBYGYN&K 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 9Or 8:Jc2K [JX=<a)U
■ VirtualLab可用于计算点列图。 l`<u\],
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 fK9wr@1
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 :e TzjW=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
vM/D7YS:
R)5zHCwOw 9. 焦平面上的结果 ~_yz\;#
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ew6\Z$1c~
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %y2i1^
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm e^Lt{/
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 vZ2/>}!Z=
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 h*X
u/aOg ePwoza
10. 总结 j[YO1q* ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 b+ v!3| ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `Ot;KDz ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 T,Zfz9{n ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 x4bj?=+ [n;GP@A]R
6`hHx=L QQ:2987619807 ;K<W<v5m0N