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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) LChwHkRHJI  
    [BKTZQ@G@  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 >Wd=+$!I  
    rV%;d[LB  
    1. 描述 qpf|.m  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 e9k$5ps  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {A MAQ  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Wb^g{F!W  
    ?ODBW/{[G  
    2. 系统 @&E7Pg5  
    |ns9ziTDI  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    DoeE=X*`k  
    3. 透镜系统组件编辑 [--] ?Dr  
    C91'dM  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 &oVZ2.O#(  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 l@<Jp *|  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1OK~*=/4  
    包括序列光学表面和光学介质。 i94)DWZ^  
    i#U_g:~wC  
    '<C#"2  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 O~Dm|hP  
    :G<~x8]k0  
    Co<F<eXe  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 u69G #  
    可以选择选取光线的方法: Hg(nC*#/Q  
    — 在x-y-网格 dlV HyCW  
    — 六边形 |JUAR{  
    — 自由选取 @G>&Gu;5  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    'Hq#9?<2M  
    ,f~8:LHq  
    5. 系统的3维视图 2Nx#:Rz  
    bFIv}c+;  
    F n*+uk  
    6. 其他系统参数 @7Nc*-SM  
    系统由单色平面波照明 VpM(}QHd  
    照明波长266.08nm N?s5h?  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: u9}LvQh_6,  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 \z-OJ1[F  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 [k,FJ5X  
    光束尺寸探测器置于焦平面 =:^f6"p&Z  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 hQJ-  ~  
    d[e;Fj!  
    ?trqe/  
    VSc)0eyn  
    Wl>$<D4mO[  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 5[$Tpn#K7  
    +,0 :L :a  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    8&y3oxA,  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    G]>P!]  
    ]K>x:vMKH  
    j2!^iGS}  
    Z7?- c  
    * p,2>[e  
    +JBYGYN&K  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 9Or  
    8:Jc2K  
    [JX=<a)U  
    VirtualLab可用于计算点列图。 l`<u\],  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 fK9wr@1  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 :eTzjW=  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 vM /D7YS:  
    R)5zHCwOw  
    9. 焦平面上的结果 ~_yz\;#  
    3l''   
    lJXihr  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ew6\Z$1c~  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %y2 i1^  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm e^Lt{/  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 vZ2/>}!Z=  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    h*X u/aOg  
    ePwoza  
    10. 总结 j[YO1q*  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 b+ v!3|  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `Ot;KDz  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 T,Zfz9{n  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 x4bj?=+  
    [n;GP@A ]R  
    6`hHx=L  
    QQ:2987619807 ;K<W<v5m0N  
     
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