示例.0082(1.0) .EzSSU7n) -x?Hj/ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 X|)Il8
!PI0oh 1. 描述 JU2P%3 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 J~'~[,K ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 1:5P%$?b ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )u
Qvt-
SZE `J:w 2. 系统 _KxX&THaj {[lx!QF 8& 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
oE 5;|x3 3. 透镜系统组件编辑 I*9Gb$]=
wRj~Qv~E
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 l`qP~k#
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !8Y3V/)NU
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )2toL5 Q
■ 包括序列光学表面和光学介质。 W
n6,U=$3
13\Sh sgD@}":m 4. 光线追迹系统分析器-选项 $'y1Po'2 Z{
%Uw;d Bd QQ9$@5
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 03] r*\
■ 可以选择选取光线的方法: do*Wx2:R
— 在x-y-网格 "LXXs0
— 六边形 EO"=\C,
— 自由选取 ud.poh~|
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?'T"?b< >*Sv0# 5. 系统的3维视图 ;+r0
O0;9 e5FCqNip'
<kROH0+ 6. 其他系统参数 Fu#Y7)r ■ 系统由单色平面波照明 [;Vi~$p|Eo ■ 照明波长266.08nm >[
@{$\?x: ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2k%Bl+I — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 gca|?tt — 一个虚拟屏位于焦平面 +Z )`inw — 光束尺寸探测器置于焦平面
I8:"h ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3SmqXPOw IM$'J z/pDOP Ku d"z *Nb h)"'YzCt 7. 光线追迹系统分析器的结果 D5}DV _Wq7U1v` 光线经过整个光学系统的三维视图
p0"BO4({{ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
-v;iMEZ) 9tW3!O^_ 1a \=0=[ Pxap;;\ o@Dk%LxP F>p%2II/ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 G1,Ro1 *4zoAs lU1 =#7s+ d-
■ VirtualLab可用于计算点列图。 goG]WGVr
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 r7zf+a]
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 /M5=tW#e
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
rjfc.l#v
lv*Wnn@k 9. 焦平面上的结果 T]5U_AI@
,q{lYX83S
xKRfl1
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 V*0Y_ T{_
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 e&r+w!
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm =iA"; x
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 F[Qs v54
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 \mqhugy 6,sRavs 10. 总结 Q&\ZC?y4 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 TiwHLb9 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Ly@U\%. ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \Qe'?LRu{ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 k
i~Raa/e "i;*\+x
QSlf=VK*y QQ:2987619807 EfMG(oI