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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) .EzSSU7n)  
    -x?Hj/  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 X|)Il8  
    !PI0oh  
    1. 描述 JU2P%3  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 J ~'~[,K  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 1:5P%$?b  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )u Qvt-  
    SZE`J:w  
    2. 系统 _KxX&THaj  
    {[lx!QF 8&  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    oE5;|x3  
    3. 透镜系统组件编辑 I*9Gb$]=  
    wRj~Qv~E  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 l`qP~ k#  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !8Y3V/)NU  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )2toL5Q  
    包括序列光学表面和光学介质。 W n6,U=$3  
    13\Sh  
    sgD@}":m  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 $'y1 Po'2  
    Z{ %Uw;d  
    Bd QQ9$@5  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 03] r*\  
    可以选择选取光线的方法: do*Wx2:R  
    — 在x-y-网格 "LXXs0  
    — 六边形 EO"=\C,  
    — 自由选取 ud.poh~|  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ?'T"?b<  
    >*Sv0#  
    5. 系统的3维视图 ;+r0 O0;9  
    e5FCqNip'  
    <kROH0+  
    6. 其他系统参数 Fu#Y7)r  
    系统由单色平面波照明 [;Vi~$p|Eo  
    照明波长266.08nm >[ @{$\?x:  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2k%Bl+I  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 gca|?tt  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 +Z )`inw  
    光束尺寸探测器置于焦平面  I8:"h  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3SmqXPOw  
    IM$ 'J  
    z/pDOP Ku  
    d"z *Nb  
    h)"'YzCt  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 D5}DV  
    _Wq7U1v`  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    p0"BO4({{  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    -v;iMEZ)  
    9tW3!O^_  
    1a \=0=[  
    Pxap;;\  
    o@Dk%LxP  
    F>p%2II/  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 G1,Ro1  
    *4zoAslU1  
    =#7s+d-  
    VirtualLab可用于计算点列图。 goG] WGVr  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 r7zf+a]  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 /M5=tW#e  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 rjfc.l#v  
    lv*Wnn@k  
    9. 焦平面上的结果 T]5U_AI@  
    ,q{lYX83S  
    xKRfl1  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 V*0Y_T{_  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 e&r+w!  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm =iA"; x  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 F[Qsv54  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    \mqhugy  
    6,sRavs  
    10. 总结 Q&\ZC?y4  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 TiwHLb9  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Ly@U\%.  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \Qe'?LRu{  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 k i~Raa/e  
    "i;*\+x  
    QSlf=VK*y  
    QQ:2987619807 EfMG(oI  
     
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