示例.0082(1.0) *c@]c~hY, C%'eF` 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 c:}K(yAdd
-A Nq!$E 1. 描述 wD[qE ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 %;G!gJeE
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 y] ~X{v ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 uMP&.Y(
S[uHPYhlA 2. 系统 ::8E?c 3K_!:[ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
<lLk(fC 3. 透镜系统组件编辑 J15$P8J
F^');8~L
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "?sLi
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 1'* {VmM
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *$>$O%
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Eb9M;u
7h/{F({r= \'N|1!EO|t 4. 光线追迹系统分析器-选项 /t?(IcP5 F[OBPPQ3 8%9OB5?F6
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 K#p&XIY,
■ 可以选择选取光线的方法: YuDNm}r[
— 在x-y-网格 uO-R:MC
— 六边形 L:EJ+bNG
— 自由选取 gM3gc;
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }~5xlg$B<< DSHpM/7 5. 系统的3维视图 ("BFI s/'gl }c,}+{q 6. 其他系统参数 cjO,#W0&f ■ 系统由单色平面波照明 g@"6QAP ■ 照明波长266.08nm VVje|T^{Z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ,@ Cru= — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 u]cnbm — 一个虚拟屏位于焦平面 G8?<(.pi@ — 光束尺寸探测器置于焦平面 M>k7
'@G ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7+u%]D! QX~*aqS3s8 9tC8|~Q \9k{"4jX\ et ]*5Y6 7. 光线追迹系统分析器的结果 YKvFZH) _?_Svx2 光线经过整个光学系统的三维视图
7\U1K^q 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
I.e' ~K],hi^<P =-pss 47 z?"5="D pN]Hp"v MgMLfgt"V 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Pjb9FCA' a\m10Ih: nZ7v9o9
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ,em6wIq,
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 1I^Sv
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,n!xzoX_
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Yhw* `"X
c[y=K)<Z 9. 焦平面上的结果 3Ob"r`
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 UXk8nH
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 5!ReW39c;
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 47K5[R
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 lIFU7g
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 8:xQPd?3
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t 10. 总结 V_W=MWs&+ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 5PL,~Y ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 B=c^ma ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 (&nl}_`7?, ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 xBG1up<z [sk"2
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