示例.0082(1.0) -O})Y>=} hu-]SGb6 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \t{iyUxY
TjpyU:R,&| 1. 描述 /G5KNSi ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 )~M@2;@L ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 W *0!Z:? ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 F,YPIl
W{Qb*{9 2. 系统 ]n=z(2Z9lD 03?ADjO 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
J5b3r1~D"[ 3. 透镜系统组件编辑 eg~
Dm>Es
mI2Gs)SO
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ZW M:Wj192
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 hGFi|9/-u
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !fs ~ >
■ 包括序列光学表面和光学介质。 iBWzxPv:z
s=$xnc}mf E[hSL#0 4. 光线追迹系统分析器-选项 M_O$]^I3w l>jrY1u padV|hF3(e
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 +R?E @S
■ 可以选择选取光线的方法: [,&g46x22
— 在x-y-网格 ?Gf'G{^}
— 六边形 :qS~"@ ?<
— 自由选取 8V(~u^!%_
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Zn1((J7 l="(Hp%b 5. 系统的3维视图 =ZHN]PP :WH{wm| i K@RQi 6. 其他系统参数 h-.^*=]R6 ■ 系统由单色平面波照明 ko.%@Y(= ■ 照明波长266.08nm qV=O; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: EQnU:a — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 EAY+#>L* — 一个虚拟屏位于焦平面 oe6Ex5h — 光束尺寸探测器置于焦平面 $_% ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?:q"qwt$F 0"-H34M<D UB] tKn x8z6 < 'bv(T2d~~ 7. 光线追迹系统分析器的结果 .yzXw8~S L9[m/(:y 光线经过整个光学系统的三维视图
B8cg[;e81 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
h*4wi.- .K940& Ui 9U9ghWH8 ,:.8s>+i 4YOLy\"S -Hi_g@i*XW 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 b6 g9! 3F6'3NvVc2 AzGbvBI&V
■ VirtualLab可用于计算点列图。 CE183l\
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8}z PDs
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 4P2p|Gc3
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 I%?M9y.u6
^')4RU 9. 焦平面上的结果 Ux,dj8=o
8=\k<X{`
~9fTs4U
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 v&^N +>p
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |bRi bB
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm { F0"U=
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 d76C]R5L
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 6yaWxpW ^J?2[( 10. 总结 3e[k 9` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 g2lv4Tiq- ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 I#yd/d5^ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 OUHd@up@n ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 GwD"j] !OH'pC5
IetV ]Ff6 QQ:2987619807 _i"[m(ABj1