示例.0082(1.0) p,OB;Ncf/ "/\-?YJjw 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3 k)P*ME#
*;<oM ]W_ 1. 描述 }_?FmuU ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 nqib`U@" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 =l}XKl-> ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 E.Arq6
l;;"v) C8 2. 系统 W
-5wjc .W0;Vhw" 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
>=L<3W1 3. 透镜系统组件编辑 p=f8A71
"nn>I}jK
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 qMcOSZ%8J
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )^Md ^\?
■ 包括序列光学表面和光学介质。 f9b[0L
E#M4{a1 W}> wRy 4. 光线追迹系统分析器-选项 roWg~U(S Ap%tm)@1 aK'%E3!~=x
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,Je9]XT
■ 可以选择选取光线的方法: ADlLodG
— 在x-y-网格 EY.Z.gMZI(
— 六边形 ?C|b>wM/
— 自由选取 +"SYG
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 vsCy? VaFv%%w 5. 系统的3维视图 An3%@; 9uA2M!~i2
P}$DCD<$U 6. 其他系统参数 w!/se;_H+w ■ 系统由单色平面波照明 A>Oi9%OY: ■ 照明波长266.08nm v.e~m2u_F ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8j&LU, — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ZNTOI]P& — 一个虚拟屏位于焦平面 ADVHi3b — 光束尺寸探测器置于焦平面 <S` N9a ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8>~\R=SC '?v-o)X >KnXj7 *D$Hd">X d^YM@>% 7. 光线追迹系统分析器的结果 %:7fAB,PA q.g0Oz@z 光线经过整个光学系统的三维视图
D= LLm$y
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
4?cIn4} e8ZMB$byP ~OQ/ |ws ^bDh[O !Won<:.[0 d(8X?k.S 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $
-n?q w ]2o? Gnn@ I~P]_DmM
■ VirtualLab可用于计算点列图。 W_P&;)E
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 s.uV,E*wu
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %Ut7%obpi
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
N T<>LWo
A5LTgGzaW 9. 焦平面上的结果 4!
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 idh5neyL
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 gx)!0n;
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ^;]Q,*Q
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 j)neVPf%v
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 v*k}{M \ZPmPu9^( 10. 总结 *D$[@-7 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 7`IoQvX ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Ps!~miN|> ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 +8\1.vY ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 +:&,Ts/ 0X"D!G):
|X$O'Gf#n QQ:2987619807 LmQS;/: