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案例190(3.0) f:3cV(mC {zZ)JWM<w 该应用案例描述了具有亚波长结构尺寸的柱型抗反射光栅的严格分析以及一个两步优化。此外,对圆柱直径与高度的影响进行了分析。 a;5clonB aMu6{u6 1. 建模任务 2RZa} iUz?mt;k tRPIvq/ 2. 建模任务:介质参数 RQ0^
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R 7zz F M 6`-<N ! 3. 结构参数 !{,2uQXe }bihlyB&Q 优化过程中保持不变的参数: 4wv0~T$;x J#:`'eEG 1. 圆柱的水平间距:250nm nt"\FZ*;3 2. 圆柱的垂直间距:125nm
cQ$[Ba 3. 列距:125nm e
6wevK\ O-.G(" 优化过程中变化的参数: sI6*.nR ?o)?N8U 1. 圆柱高度(圆柱直径= ) Q|[^dju 2. 圆柱直径(柱高来自1中优化结果) gb!0%* 0B[~j7EGO
1Ov oW Nx 4. 3维柱型结构的建模 !pj& |