教程586(2.0) h>Pg:*N,( jmNj#R@t 本教程说明了如何在VirtualLab软件中实现体全息光栅的建模。 Qz$Dv@*y\ 第一部分描述了该光栅的设置,第二部分对波长进行分析,并对角度与偏振的关系进行了详细的研究。 wx'Tv 利用傅里叶模态法进行仿真。 _cs9R%
*F&&rsb 1. VirtualLab中的体光栅 Hmd:>_[f VirtualLab的光栅工具箱提供了两种生成体光栅的方法。 /Day5\Q# 1) 利用可编程介质,可利用解析法输入折射率分布(例如,在光传输方向,如z方向折射率进行正弦调制)。 NX", e= 2) 假设折射率分布是由两个或多个平面波叠加产生的干涉图样所给出。通过该方式产生的体光栅,被称为全息光栅,并以该技术命名。利用VirtualLab可以对这种曝光过程中的不同的设置进行仿真。 1g.9R@Kc$ 该教程的重点 pU'sADC
+ # >%bq x 2. 建模目标 ^*W<$A_ T#f@8 -XUE
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反射全息(体)光栅采用熔融石英作为基底材料,折射率变化为∆n=0.01。 [63;8l}
对波长与入射角度与反射率之间的关系进行了分析。 pa73`Ca] >Tx;<G 3. 体光栅的建模 'Mqa2o'M 光栅建模可通过在基底(基底块)的一边或者两边的堆叠完成。 JH;DVPX9z 堆叠是一系列的表面和均匀或非均匀的介质。 iROM?/$ 体光栅的全息层是通过两个平面和之间的体光栅介质构成。 dG$0d_Pq .e+UgCwi
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Zi)8KO[/0 4. 体光栅设置 m(P)oqwM
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建立一个新的光路图:Start ribbon –>Grating (Toolbox) –>Volume Grating Light Path Diagram; #|i{#~gxM
双击”体光栅”组件。 o$k$ %Q~Lk]B?t 5. 全息/体光栅的设置 l[| e3<H DV"ri ^)pY2t<^ 选择结构/函数界面。
d(Ou\7 如果无需进一步考虑材料,则我们不需要实际的基板或第二个堆叠。
(Mh\!rMg 因此基底块的厚度应设置为0。基板的介质是无关的。
%C:XzK-x 可以指定任意一个堆叠为全息层。此处我们选择默认选项,如第一个界面作为堆栈层。 点击Edit进入堆栈编辑界面。
z+I-3v ]f~YeOB@ N8vl<
Mq 在“堆叠编辑器(Stack Editor)”中,可以定义并查看光栅堆叠情况。
,oe{@z{*@ VirtualLab自动插入两个中间含有体光栅介质的平面。
%"2B1^o> b4ivWb |` 当鼠标移至介质项时可显示编辑按钮,如图所示,通过编辑按钮可编辑全息层
参数。
t_Wn<)XA dp+Y?ufr 设置界面间距70um。
mio'm 此界面间距为全息层厚度。
[\yI<^_a 首先,通过点击加载(Load)按钮以选择全息材料。
Hd`RR3J U s5JnP 5 AK =k@hT 在打开材料库后,在杂项的子栏中选择熔融石英。
Yv-uC}e 在右侧可以显示所选材料在一个宽
光谱范围内的
光学参数。 点击“OK”确认选项。
U?{j /K<Nlxcm ,Pm/ci(s 此后,可以设置折射率变化参数。
rl=_ "sd= 通过至少两个平面波的干涉,嵌入的体光栅介质允许设置一个2维的全息体光栅。
XN;eehB?aE VirtualLab自动计算干涉图样结果并
模拟曝光过程(更多的信息通过帮助按钮获取)。
i=T/}c)
o*xEaD A9gl|II 由于全息层应该完全嵌入熔融石英,选择定义方法:全息材料
zOw]P6Gk 此外,将考虑平面波在空气和熔融石英分界面的折射。
'5--eYG uzsN#'7= 现在指定两个相干波:参考波和物波。 通过点击附加(APPed)以添加干涉波。
VJaL$Wv)H 在选项卡中选择相关的平面波, 点击编辑 (Edit) ,可修改平面波的属性。 选择第一个平面波(参考波),并点击编辑(Edit) 。
D>Z_N?iR 6dUP's_ th)jEK;Z 对于参考波,指定波长 640nm 和 60°入射角(笛卡尔角,指定y轴为旋转轴)。 选项 Z轴正向表示参考波从
光源处发出。
ez>@'yhK m}(DJ?qP 对于物波同样输入波长640nm。
fZO/HzX 相反,选择 0°的入射角并且不勾选 z 轴正向,这说明物波与参考波方向相反。
KWo)}m*6 4`F*] Ft 8Bvjj|~ (@ 一旦三个或更多相干光波发生高度干涉时,会出现更复杂的干涉图样。 这些图形可能是由具有特别大周期的不同差拍震动组成,
^-_!:7TH] 因为傅里叶模态法总是假设光栅周期是沿x 方向,因此大光栅周期在计算过程中会消耗大量的时间和内存。
$;1~JOZh .y!Hw{cq \ck3y]a[ 通过设置选项测试周期 x方向,可以限制差拍周期尺寸。
z6qC6Ck| 输入值与对最大周期相对应。
Su7?-vY 考虑测试周期,通过微量修正干涉图样以避免大差拍周期。
.8m)^ET 因此,平面波的入射角度 Alpha 变更为Alpha (Quant.)
"$&F]0 自动计算获取的Alpha (Quant.)值确保了干涉图样仅包含小于测试周期的周期值。
49m/UeNZ 更具体地,通过引入测试周期,干涉波间的角度值可被限制(详见帮助/用户手册)
Ft}tIP7 这个约束可以协调角度精度和数值计算量。
2~)]E#9 I}=}S"v = DgD&_ 光栅周期小于1um的两个相干光波被接收。 用于严格光栅分析(利用 FMM)的光栅周期显示在对话框的左下角。
/Kvb$]F+! :<W8uDAs +l9avy+P( VirtualLab 可以模拟一个复杂的曝光过程。因此可以计算一个由平面波干涉图样产生的折射率调制。 在体光栅介质中,可支持三种不同的建模模式。(详见帮助/用户手册)
8z-Td- R6 在该教程中, 假定一个直接调制。 是一个与干涉图样光强成正比的折射率调制。 设置调制为 0.01
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