[分享]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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案例024(3.0) }XcYIo#+t  
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该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 '2X6>6`w  
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1. 建模任务1：金属光栅 O~~
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 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 Nt'6Y;m!  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 6zR9(c:a~  
P~d&PhOe  
2. 建模任务2：介质光栅 JVxGS{Z  
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 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 d.Im{-S  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 IF~E;  
R;l;;dC
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3. 建模任务 R&MdwTa  
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1r?hRJ:'  
 VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 vmsrypm  
 通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 734f&2  
 场分布计算能够检测结构内部的热点 }"x#uG  
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4. TE和TM照明线性光栅 DElrY)3O.  
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5. 铬狭缝的分析 (<KFA,  
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 通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 9Rd&Jq^  
 左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 eEl71  
 对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 Mv?$zV"`#  
 红线说明了结构的形状（手动添加） D`NPU  
+{h.nqdAE  
6. 三角光栅的分析 #
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 左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 1"yr`,}?8r  
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 如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 N5d)&a 7?  
 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 RIdh],-  
 红线说明了结构的形状（手动添加）。 s~'"&0Gz  
 左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 f1w_
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 与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状（手动添加）。 E*AI}:or;  
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7. 总结 E^4}l2m_  
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 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 c4V%
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 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 W"n0x8~sV  
 对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 s3sPj2e{  
 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。 ko{7^]gR  
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