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    [分享]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-11-27
    NAj1ORy4pX  
    案例024(3.0) o%Lk6QA$  
    bT@7&  
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 C/Ig.KmXF{  
    27vLI~  
    1. 建模任务1:金属光栅 ] =jnt  
    fuQ|[tpvQG  
    g#V3u=I8~  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 X,/@#pSOz  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 >?,arER  
    JlF0L%Rc  
    2. 建模任务2:介质光栅 =*q:R9V  
    :\*hAV1i  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 'nNw  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 % 8kbX  
    *n0k2 p  
    3. 建模任务
    RGGP6SDc  
    y @AKb  
    $} S5&  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 R0fZ9_d7}  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 EjB<`yT  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 lX`)Avqa  
    >R?EJ;h  
    4. TE和TM照明线性光栅
    x#e(&OjN7  
    lC6#EU;  
    5. 铬狭缝的分析 VG'oy  
    V9"Kro  
    '?Q [.{<  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 Z{/C4" F  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 dCcV$BX,K  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 WjGv%^?  
     红线说明了结构的形状(手动添加) bK%go  
    n(a7%Hx2  
    6. 三角光栅的分析
    ~aH*ZA*f  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 Y ,?  
    pM\)f  
    )F<<M+q=  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 amGQ!$] %#  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 5SX0g(C  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    SV]M]CAe  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 C^r3r6  
    bE^Z;q19  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 f9D7T|J?10  
    mCtuyGY  
    7. 总结 <l5{!g  
    @?K(+BGi  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 )G ,LG0"-  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 m0F-[k3)  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 W #qM$  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 .F)b9d[?  
    vsoj] R$C  
    8ne'x!1 D  
    QQ:2987619807
     
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