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    [分享]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-11-27
    RJ$x{$r[  
    案例024(3.0) kaNK@a=e|/  
    OF1Qr bj  
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 y- @{  
    q,.@<sW  
    1. 建模任务1:金属光栅 (L !#2Jy  
    x^6b$>1  
    kD_616  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 U#kd cc|  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 k\}\>&Zqu  
    :<R"Kk@  
    2. 建模任务2:介质光栅 7;Vqr$9)  
    M1e79p<  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 hta y-  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 n_P2l<F~/x  
    &>3 AL,  
    3. 建模任务
    GvT ~zNd  
    "Rr650w[  
    G[a&r  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 OEXa^M4x   
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 p!H'JNG  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 c"`CvQO64  
    2D ' $  
    4. TE和TM照明线性光栅
    ac#I $V-  
    E6s)J -a  
    5. 铬狭缝的分析 5HW'nhE  
    j@Y'>3  
    h7o?z!  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 nlR7V.  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 50NLguE  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 d\j[O9W>  
     红线说明了结构的形状(手动添加) 1'BC R  
    )LjW=;(b  
    6. 三角光栅的分析
    mD go@ f  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 [IPXU9& Q  
    =~ [RG  
    +L|-W9"@3  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 3 cF4xUIZ  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 G"nGaFT~  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    RKO}  W#?  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 4ZrRgx2MD  
    T<K/bzB3z  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 th`pf   
    aW;DfH  
    7. 总结 &a?k1R>  
    ,]_<8@R  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 9; `E,w  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 UA(&_-C\  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 Q> J9M` a  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 Wr;9Mz&{  
    u/(~ew I  
    8>a%L?BY  
    QQ:2987619807
     
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