/%g9g_rt# 案例024(3.0)
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K-:y 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
EtzSaB*| 1SztN3'q 1. 建模任务1:金属光栅 w[d8#U lGr=I-= P}~MO)*1 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
(
jU $ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
rlR!Tc> (9RfsV4^ 2. 建模任务2:介质光栅 g
ptf*^s lND2Kb 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
qr4 lr!#t 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
jbipNgxkr nrMW5>&-` 3. 建模任务 ;ZUj2WxE s>o#Ob@4' SbGdcCB
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
7qyPI 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
tnobqL' 场分布计算能够检测结构内部的热点
iV/I909*'' 60^j<O 4. TE和TM照明线性光栅 <~5O-.G] NH|I>vyN 5. 铬狭缝的分析 5?;<^J pZ'q_Oux " Bx@( 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
fY9+m}$S$ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
0\:=KIY. 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
2pdeJ 红线说明了结构的形状(手动添加)
rb-ao\ g0j)k6<6(Y 6. 三角光栅的分析 KV$&qM. 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
A]!0Z:{h% J-tqEK* 8^}/T#l 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
k!x|oC0 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
%CHw+wT& 红线说明了结构的形状(手动添加)。
X3G593ts 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
S?b&4\: lo>9 \ Po 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
N_NN0 I}bu 7. 总结 neM.M)0 u!|_bI3 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
>[aR8J/U 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
q6F1Rt 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
D/Ki^E 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。
B`e/ / 7JBs7LG */h(4Hz QQ:2987619807