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此案例演示了设计和优化衍射光学元件的(DOE)作为光扩散器,来生成矩形高帽图样。 UQr+\ u 5J3kQ;5Q? 1.建模任务 > xw+2< 6Wp:W1E{` B9\o:eY DOE:扩散器 {'[1I_3 直径:1.4mm X 1.4mm H8U*oLlc 相位等级:2 $E6uA}s 像素尺寸:>1um
><^@1z.J cMAfW3j: ;
)qe o`4+y 2.照明光束参数 >dY"B$A> lN"rhZ
:#;?dMkTY =r8(9:F! f}4h}Cq 波长:632.8nmm j>zVC;Sj* 激光光束直径(1/e2):700um '@bA_F( 2{\Y<%. 3.期望输出场参数 %yVZ|d*Q llJ)u!=5
__ [q` L3\{{QOA F9" K • 直径:1° q\<vCKI-^ • 分辨率:≤0.03° d=XhOC$ • 效率:>70% 6dp~19T^ • 杂散光:<20% 6(=:j"w0 ~x+w@4)a> 4.设计和优化方法 `P~RG.HO ),eiJblH • VirtualLab Fusion可以使用不同的设计和优化方法。 Fk:(%ci • 对于此案例,迭代傅里叶变换算法(IFTA)用于设计和优化(DOE)期望的衍射光学元件。 V{r@D!} .^,vK7 5.配置方法 ub%q<sE* +TX]~k79Oq /k,p]/e 你可以 VTdZ&%@
• 使用辅助会话编辑器,进行光学系统的设置并且配置优化和设计文档。 }e$);A| • 或手动进行一切配置(更高级的方法)。 V !$m{)Y #S5vX<"9 通过点击Start→Diffractive Optics→Regular Shape Diffuser 看可以打开会话编辑器的开开始页面。如下图所示。 d8>D=Ve sQvEUqy9
f!yxS?j3 CT : ac64 6.设置输入光束参数 LO229`ARr| )yk
LUse+
01$SvLn: h4CB1K 腰束和发散角的定义:1/e2 Waist Diameter,Divergence Full Angle。 1<F/boF~ +qdK]RR}
&'R]oeag 11uqs
S2 设置波长为632.8nm,腰束直径为700um。 > jcNo3S 6S(3tvUr 7.光学系统 f &H`h |@+
x9|'W
T-MLW=Vu %<klz)!t 选择光学系统为角谱(Angular Spectrum)。 l"Css~^ %$08*bAtB7
l\eq/yg_ vgV0a{u" 光学系统周围介质默认为空气。 I4$a#; YG% Zw 8.期望输出场设置 C5m*pGImG ;Wr$hDt^
C$_H)I Sb<=ROCg@ 维度设置为二维高帽(2D Top Hat),高帽(Top Hat)形状设置为矩形(Rectangular Shape)。 n V<YwqK ]ba<4:[Go 9.参数确认过程中的提示 82$^pg> X,p&S^
kmf4ax
h1 Z^sO`C sx9N8T3n • 指定要创建光图样的期望光学分辨率。 UuN(+&oD- • VirtualLab Fusion给出了一些有用的建议。 :%Bo)0a9 • 考虑到在相干照明下,光图案由散斑组成。为了获得清晰的期望光图案,散斑尺寸应该小于光图案的最小细节。 T+\BX$w/4e • 散斑大小由分辨率影响,但不能任意控制。 :ZUy(8%Wl .w0? 10.警告 :Qf^@TS}O -Iq#h)Q* 6ik6JL$AI GovGh? X#x 出现以下情况,会出现红色警告信息: 8!1o,=I$ • 通告指定的光学系统,不能达到期望的分辨率。 7|2:;5:U • 光学系统将创建离散点,而不是散斑图。 1vobfZ-w9 • 光学系统或指定分辨率并不能实现光图案所有的细节。 X/@Gx 4 hM;E UWv 单击Optimize Resolution按钮来帮忙调整系统参数。 wc;5tb# <4Ak$E%" 11. 帮助改变参数 XVY^m}pMe i22R3&C
Ouj5NL ct/I85c@P __zsrIUJ • 这个对话框会显示分辨率是否适合典型的扩散器设计。 R (6Jvub"I • 此处显示设置没有任何问题。 #0weN% • 另外,通过这个工具,VirtualLab Fusion提供了某些确定选项以对参数进行调整,从而达到一个最佳的激光光束直径和分辨比。 7UMsKE- p.zU9rID 12.DOE透过率函数参数 ?g9CeeH* &v |