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此案例演示了设计和优化衍射光学元件的(DOE)作为光扩散器,来生成矩形高帽图样。 5XuT={o 0y<wvLv2C 1.建模任务 {]z4k[;.h "x@='>:$ {bO|409>W DOE:扩散器 [2ax>Yk$ 直径:1.4mm X 1.4mm BmHwu{n' 相位等级:2 +(uYwdcN 像素尺寸:>1um )BfT7{WN dd?x(,"A`
&z"krM]G 2.照明光束参数 bYz&P`o} CG'.:`t
d:G]1k;z R<i38/ ~G DK0.R]&4( 波长:632.8nmm 3] 1-M 激光光束直径(1/e2):700um AmwWH7,g X(jVRr_m9 3.期望输出场参数 )
'j: 9WJz~SP+vR
@aQ1khEd 47r_y\U h jGrN\D?h • 直径:1° .To;"D;j, • 分辨率:≤0.03° g*w<* • 效率:>70% {cpEaOyOM • 杂散光:<20% <
j$#9QQ1 *&Z7m^`FQ 4.设计和优化方法 Rl|4S[ ~Oe Ppa\ • VirtualLab Fusion可以使用不同的设计和优化方法。 *5<Sr q' • 对于此案例,迭代傅里叶变换算法(IFTA)用于设计和优化(DOE)期望的衍射光学元件。 3]-_q"Co4f nUq<TJ 5.配置方法 T5Dw0Y6u, S4witIK5 j@Qg0F 你可以 10#oG{9 • 使用辅助会话编辑器,进行光学系统的设置并且配置优化和设计文档。 O4<g%.HC6 • 或手动进行一切配置(更高级的方法)。 Yxv9 Knhp*V? 通过点击Start→Diffractive Optics→Regular Shape Diffuser 看可以打开会话编辑器的开开始页面。如下图所示。 iR$<$P5 p0.|<
zi~5l#I $8l({:*q0 6.设置输入光束参数 `[zQf pf4 ^Bk}e
_=
#zc4U ::n;VY2& 腰束和发散角的定义:1/e2 Waist Diameter,Divergence Full Angle。 4'KOpl
K o;b0m;~
)Qm[[p nj rQTr8DYH 设置波长为632.8nm,腰束直径为700um。 C0=9K@FCb 5unG#szq 7.光学系统 Q4t(@0e} xUF_1hY
`RMI(zI3g.
5-)#f? 选择光学系统为角谱(Angular Spectrum)。 vaf&X]p iVB^,KQ@
UZ8?[ EL3|u64GO 光学系统周围介质默认为空气。 &;LqF#ZL Z -%(~ 8.期望输出场设置 bbxLBD' PiFD^w
E^w:KC2@ y80ykGPT\& 维度设置为二维高帽(2D Top Hat),高帽(Top Hat)形状设置为矩形(Rectangular Shape)。 R];Oxe 1e xl0]- 9.参数确认过程中的提示 Bh&Ew
\yrisp#`
X\p,%hk \ (2?G:+C 7 k
{- • 指定要创建光图样的期望光学分辨率。 ThW,Y"
l • VirtualLab Fusion给出了一些有用的建议。 j?b\+rr • 考虑到在相干照明下,光图案由散斑组成。为了获得清晰的期望光图案,散斑尺寸应该小于光图案的最小细节。 3M5#4n\v$ • 散斑大小由分辨率影响,但不能任意控制。 ,?
E&V_5 Li 2Zndp 10.警告 8#R?]Uwq Gf8s?l 'H9=J*9oG _<ut)G^9 出现以下情况,会出现红色警告信息: 3CTX -#)vS • 通告指定的光学系统,不能达到期望的分辨率。 0"pVT%b • 光学系统将创建离散点,而不是散斑图。 h5
Vv:C • 光学系统或指定分辨率并不能实现光图案所有的细节。 Q bhW!9(, #G9 adK5 单击Optimize Resolution按钮来帮忙调整系统参数。 v;{{ y- qdCWy 11. 帮助改变参数 5CAR{|a 3+MB5T
4t4olkK3Oa h72UwJ2rw 0;sRJ • 这个对话框会显示分辨率是否适合典型的扩散器设计。 P[t$\FS • 此处显示设置没有任何问题。 dsK&U\ej} • 另外,通过这个工具,VirtualLab Fusion提供了某些确定选项以对参数进行调整,从而达到一个最佳的激光光束直径和分辨比。 Ju@Q6J5 "Clz'J]{ 12.DOE透过率函数参数 < |