衍射光学器件(DOE),又称二元光学元件,主要用于激光束的整形。通过DOE元件可以将一束激光整形成平顶光束,或者矩阵、栅格、线形、圆形、点阵等各种图案。DOE广泛用于激光加工、医疗、成像系统、传感器等领域。 尤其是在结构光3D摄像头中,使用DOE将一束红外激光大角度整形成光斑点阵,用于人脸识别、深度感测等功能,市场前景广阔。 :kY][_
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针对各类衍射和微纳光学器件,通过应用VirtualLab Fusion内置的迭代傅里叶变换算法(Iteration Fourier Transform Algorithm,IFTA)能够快速的实现各类衍射微纳光学器件的设计和优化,并进行公差分析(如对齐、加工高度以及倒角等),最后导出GDSII文件以用于DOE的加工。 lpSM p
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