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光学测量＞显微 YC y2 2@C p" `% 任务/系统视图 va|rO#.= ;\y ;  ~S; Z\ VY+>=! 亮点 #\4 b:dv jU=<r  !q4x~G0d
XidxNPz0^ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 |@j _2Q, 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ~ eN8|SR 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 \&}G] :a3LS|W 说明：光源 $_j1kx$ S<6k0b(,_3  UQd6/mD`e t7F.[uWD  vz`@x45K h ? #@~ 说明：透镜系统 )u@c3?$6
F fM nul  ~U}Mv { y 说明：样品结构 _MYx%Z mog9 jw  +nZRi3yu= H3 m8 说明：探测器 `1p 8C% Eych R/ s  A%ywj'|z
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 s` >H C|z%P}u#p 结果：3D光线追迹 r(uP!n1+ R Td^ImV  ~v: #zU 8?jxDW
a  WOndE=(V 6 w#n kF 结果：光线追迹 rS~qi}4X rm+v( &  d$1 #< -yP hWGZd~L 结果：光线追迹衍射级数 2m J: c qw:9zYG}qW  zS%
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:QA@ c|(PF 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 r%!FmS< T0L+z/N_m.
 E *4t8 u[`v&e my[,w$YM  </w 7W3F XqFu(Lm8= eJf>"IF- 文档和技术信息 wF;B @
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