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光学测量＞显微 RW 5 T } RaAq>B
WPr 任务/系统视图 _>s.V`N' D+OkD-8q  ZYG"nmNd FE`J.aw^X 亮点 VrpY B U "'% x|nB  XIU2l}g
<T['J]k% 显微镜系统中光栅的全矢量分析 V;$ lgTs|' 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 !T}`h' 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 m9/a!|fBE q_!3<.sf 说明：光源 F XbNmBXF sB $!X@  CXa$QSu > @I%m}>4Jm  gCmGFQE-f }+z}vb 说明：透镜系统 q;rU}hAzG0 p?Y 1^/
 TWy1) 30x 说明：样品结构 %B L +'&q IySlu^a  &kP>qTI^p~ @^%# ]x,: 说明：探测器 M:ttzsd uy$o%NL-7  ~! @a
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1?1s  )F:hv[iv = h4XsV)rO 结果：光线追迹衍射级数 j &~OR6 lE 4.O  a4c~ThbI UtzW 5 { 结果：场追迹采样平面 nP] ~8ViS gVO[R6C 5C  $cc]pJy"} Q~nc:eWD 结果：场追迹焦平面 > xT8[ .QW89e,O3  pbJs3uIR G" wy? 结果：减小光栅周期 L \pe
$P>ci4]t 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 66 v6do7 JBp^@j{_
 OX I.>9 q45H mz sk 9*3d5I  0m !+gZ@ >osY?9 OQA}+XO 文档和技术信息 F8f@^LVM/
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