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光学测量＞显微 .T )wG;+ R1 D ; 任务/系统视图 N/ f7"~+` `<7!Rh,tS^  v+I-*,R =~k
c7f{ 亮点 ""Da 2Md 6T4I,XrY_F  dt^h9 I2O
0|J_'-< 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ,uAp;"YJeV 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 y$_@C8?H 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 5 mC"8N1) hHGuD2% 说明：光源 Zk`yd8C j:xC \b47"  [:FiA?O]
o8Gygi5  Yj#tF}nPC ;AE-=/< 说明：透镜系统 }f]Y^>-Ux OQ7 `n<I<)  !
5NuFLOf 说明：样品结构 BHf$ %?3z, h693TS_N  7jgj;% t* =[ RS* 说明：探测器 Y}1c>5{bE @p hVfP"M  G[A3H>
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e=WjFnK[x7
 )@X0'X< ;Mup@)!j 结果：3D光线追迹 ^J5{quV lQ-<T<g  68Gywk3]=u 2S{P(B  TK
fN`6 Aj)Q#Fd[ 结果：光线追迹 Ic9L@2m BG+i tyH  I70c,4_G pA ~} _ 结果：光线追迹衍射级数 u3C_Xz Bchv1KF  ]x r0] UowvkVa 结果：场追迹采样平面 motK}G [mA-sl]  eF,F <IJT{ f9W:-00QD 结果：场追迹焦平面 XP:A"WK" IWQ0I&tzdx  yQiY:SH Ff dB% 结果：减小光栅周期 cm(*F 0<
@kWL "yy, 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 /ce;-3+ 9%"7~YCDas
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