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光学测量>显微 n}8J-/(|+ PA5_ 任务/系统视图 zP\n<L5 ],rtSUO 8FY.u{93 qPgLSZv 亮点 FB<#N+L\ MMs#Y1dH yGN@Hd:9 U1&pcwP 显微镜系统中光栅的全矢量分析 &@E{0ZD 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 sP1wO4M?{ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换
qMD!No kj(Ko{ 说明:光源 @^Tof5?F? w6F'rsko] H ]BH "zSi9]j YmP`Gg#>p E}U[VtaC 说明:透镜系统 yRQR@ hdB.u^! ?b?`(JTR 说明:样品结构 LQVa,' b-}nv`9C |1d;0*HIgX ,o(7z^1Pe; 说明:探测器 b2OVg
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_D9`L&X} [zp v3Uw 结果:3D光线追迹 b2;+a( SJY<#_b sjOyg!e 19od#
d3+ 2mS3gk bH}6N>Fp 结果:光线追迹 [jl'5l d =j[zMO :>gzWVE< ~.qzQ_O/ 结果:光线追迹衍射级数 (g2?&b
iuz V"n0"\k, /H+br_D9 tqLn A 结果:场追迹采样平面 2.)@u~^Q
X+;F5b9z f$a%&X6"- #W#GI"K 结果:场追迹焦平面 Pf
s _s6 'Z LGt# %1ofu,% `+17x<N 结果:减小光栅周期 srfFJX7* '| Enc"U 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 "oZ]/( t59"[kQ
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