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光学测量＞显微 =#2%[kG q Aa9l-:R 任务/系统视图 E/H9# r3Ol?p  <2(X?,N5BD \l=A2i7TQ 亮点 d[h=<?E5 eYv^cbO@:  !S<p"
OkRb3} 显微镜系统中光栅的全矢量分析 QHv]7&^rlj 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 I]HYqI 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 2_L u 0Yrg :30daK o 说明：光源 !IJ
YaQ6z <RxxGD  =4)8a"7#. i{}m 8K)  !v3d:n\W8 7 :\J2$P 说明：透镜系统 t,Tq3zB %5L~&W}^"  &kf \[|y 说明：样品结构 lGet)/w;c "U9e) a0v  Oh}52= W DnNVE 说明：探测器 ZXhNn< =8vwaJ  \ V~B+e
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 "vYjL&4h Zp/P/97p 结果：3D光线追迹 Uv k: 5aV Z"h"  .D7Gog3^< FS7D  rxx VLW C^?/9\
结果：光线追迹 .mnkV -m G=e'H-  Cf 202pF3y 9 n5uO[D 结果：光线追迹衍射级数 s&%r? )"Ujx`]4r  T 2?.o.&u 7iy 2V;} 结果：场追迹采样平面 :MYLap&L& #.FhN x  {#t7l V'4 uKY1AC__ 结果：场追迹焦平面 3W[||V[r]< }V/iU_)  W T @XHwt ;<MHl[jJD 结果：减小光栅周期 3? k<e
9 qq6P! 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 A{3nz DLI !;t6\Z8&
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