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光学测量＞显微 *3s,~<''% tFrNnbmlQ 任务/系统视图 X6 SqOb\(a E!]d?t 3b  *m.4)2u= zLS=>iLD{ 亮点 'ngx\Lr 7Pp~)Kq=  wVac6q
vIpitbFC 显微镜系统中光栅的全矢量分析 NxzRVsNF 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 vWq/A . 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ^oH!FN`;{ D]B;5f 说明：光源 88~ lP7J LP:U6 Z  3uJ >:,~r =CGB}qU l0  E
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= F 2W Mts 说明：透镜系统 RAY.]:}jr :!WKD@]  snti*e4"V 说明：样品结构 ZB5u\NpcW nA 5-P}  ;{S7bH' 6m z3|)WS^ 说明：探测器 3l o.YLP^ Zrm !,qs  _^Yav.A=
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 e(~Y! :Q#O yE>f.|( 结果：3D光线追迹 vgbk
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@BzH 结果：光线追迹 |C_sP,W :^ *9E b 
avwhGys# r5(-c]E7 结果：光线追迹衍射级数 <h<4R Rj uU#7SX(uu  9<Kc 9Z zm`^=cV 结果：场追迹采样平面 BBUXoz 3GU J lFj  J2P5< 9_5tA'Q 结果：场追迹焦平面 1h0cId8d 7\p<k/TS  @o6^" 7.DAwx.HYK 结果：减小光栅周期 q)E
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8jxs%N,aI 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 Kk t9M\ FdVWj
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 ^7O,Vk"Z i[x;k;m2 q oP( Hkp,'  M+q|z 0 U {Kh u 'c w+Cs=! 文档和技术信息 jf'#2-
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