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光学测量＞显微 ~ C/Yv&58 vR%j#v| s 任务/系统视图 @Hspg^ ;l/}Or2  `Ct'/h{
<4l.s 亮点 W2 F +^ C;d|\[7Z  }sTH. %
L)k b (TH 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ]HJ{dcF 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ;1 *m} uNz 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 r6F{ Xb(CH#*{z 说明：光源 P S _3Oq) %jbJ6c  ;PfeP ;z "4Lg8q m  Wz6]*P`qv ;xW8Z<\- 说明：透镜系统 + AcKB82 L~*|,h  x38SSz G:L 说明：样品结构 2X qTyf< D rF  O3 ^9 8n2 +Fc ET 说明：探测器 h .4qlx| 'h!h!  Hk <X
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 V]l&{hl, r.^0!(d 结果：3D光线追迹 T7>4 8eH .Dgo Oo%?"  V;>9&'Z3 =&di 4'`  M uDFdbtR :0
W6uFNOU 结果：光线追迹 c[(yU#@ E/"YId `A  K)<Wm,tON .+{n A}Bc 结果：光线追迹衍射级数 a~8:rW^ /M0l
p  Nj0-`j0E -v y IOH, 结果：场追迹采样平面 !7A"vTs 8q_1(& O  @IEI%v H Zij"/gx\ 结果：场追迹焦平面 @MNl*~'$.[ W0VA'W  +90 u!r^v 7[ZkM+z! 结果：减小光栅周期 =} ~NRmmF
Oq #o1> 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 7ZS>1 T&o, I
 pBl Rd{#fL |?\gEY-Se P YdIP\<V  J)-T:.i|0 L@7Qs6G2u ]WTf< W< 文档和技术信息 Bj;\mUsk
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