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光学测量＞显微 \ +%~7Bi]z X]p3?"7 任务/系统视图 gGL}FNH '7sf)0\:<p  mG&A_/e!9 .i RKuBM/ 亮点 k77 3h`; Vb`Vp(>AU  ,r w4Lo
Hyy b0c^= 显微镜系统中光栅的全矢量分析 `xLsD}32 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 l5 {60$g 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 [g/D<g5O M ONX&$ 说明：光源 \mc0fY ,SR7DiYg  Q:(mK* _ )OV 0YfO  ?[Lk]A&"L2 CW
&z?B ra 说明：透镜系统 o{sv<$ ls^Z"9P  u]IbTJ' 说明：样品结构 @./h$]6 lLTq k\8g  qg
o B}n% 1l$Ei, 9 说明：探测器 2e1KF=N+ (4+P7Z,Nc  2Cz h aO
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 p0@ ^1 & >-j4,M 结果：3D光线追迹 \~
D(ww ZZT #V%Q=u  7y'uZAF F}nwTras  E nM }m j9$=B4 结果：光线追迹 M/?,Qii vV}w>Ap[  8F}drK9>F T$%|=gq 结果：光线追迹衍射级数 0kkDlWkzo S\A/*!%~y  YEx gUE| bC<W7q f]} 结果：场追迹采样平面 R/hI XO D<S C
`  Tlw'05\{J Du+W7]yCl 结果：场追迹焦平面 dkC[SG`
p~$cwbQ!  vgwpuRL5b oACAC+ CP 结果：减小光栅周期 w 9dkJ o
.Kb3VNgwvm 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 }UhYwJf89 u:l-qD9=(
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