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光学测量 > 干涉测量 N mQ]qv =EKJ!{ 任务/系统说明 G\Me%{b#
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UTPl7 po5D 亮点 pGIeW}2'9
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!4E:IM63 •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； n>H Npy •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； ZZTV
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_KFKx3<m! 具体要求：光源 (GQy"IuFh b %kh:NV{S  /dfZ>k8 L!5f* 具体要求：用于准直的消色差透镜 k=@Q#=;*[W ?]t8$^m,; `&_qK~&/X  Ur`v*LT}~ gvC2\k{ Lg^m?~{  mT.F$Y9 <n>< A+D 具体要求：分束器 ct ZW7 9K49<u0O  { t 7
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UW+I 8\^ 具体要求：参考光路反射镜
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bfJDF(=h 具体要求：测试光路反射镜 .C #} g 9xWrz;tzo  Dihk8qJ/6
$ *PyzLS 具体要求：探测器 #U1soZ7 GB+G1w 
pK3cg|} 6?_Uow} 结果：3D光线追迹 (~P&$$qfD p])km%zB(  3]!(^N>V ^ I0SfZ'Y 结果：场追迹 >$?Z&7Lv rdK.*oT
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{> z.y1 结果：移动样品的场追迹结果 {*| yU" %:??QD*  /`1zkBj<& 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 xpV8_G z;
+|}~6` 文件&技术信息 @1>83-p"X } {lOsZA
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