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光学测量 > 干涉测量 gp$EXJ= ,T F<y#wed 任务/系统说明 7sud/* +F
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(Bt;DM# > 亮点 M)"]$TM
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oUQGLl!V •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； ezcS[r •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； #"Eks79s
UsLh)#}h 具体要求：光源 S}. \v< rDIhpT)a  e=gboR oMh~5
W 具体要求：用于准直的消色差透镜 |h^K M 6sYV7w ,'@ 8?e  Az 9X#h.vf u lH0%`Fi gf0PMc3l  ?_VRfeztw a?zR8$t| 具体要求：分束器 j6n2dMRvSE h`?y 2?O  '"`
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D ^,\cZbY 具体要求：参考光路反射镜 H9%l?r5 iY0,WT}&n  xik` W!1S
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 s L)Rg(rkx
{B@*DQv 具体要求：测试光路反射镜 $!a?i@ )*!1bgXQ  @ (i*-u3Tq
%z1{Kus 具体要求：探测器 j : <t BiA >QQ  :tKbz
nd/ hgj CXl 结果：3D光线追迹 L< 0=giE DZJ eup?Z  Tc:sldtCk %h0D)6 j
结果：场追迹 9#u }^t -dg} BM
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9^oo-,Su_ 结果：移动样品的场追迹结果 ,SAb C*nq ?4:rP@  [d0%.+U 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 gyC^K3}
Cq gJ 文件&技术信息 7 7`` 8, -zprNQW
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