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光学测量 > 干涉测量 Jmu oYl f| !N/?b^y 任务/系统说明 FX+^S? x.
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,w,)n^ 亮点 p+;x&h)[l
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~Q)D cit- •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； 1#x@ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； #B__-"cRv
5 HN,y 具体要求：光源 6W'2w?qj?4 ah!fQLMH  ;n b>IL OQ _wsAA 具体要求：用于准直的消色差透镜 +}C M2>M wEEFpn_ nN(Q}bF  Yt;@ @xe& _m1WY7 9!wm` 'G8  30h1)nQ$h} ;{rl
Y> 具体要求：分束器 {\kDu#18Ld S4%MnT6Uy  ;W!hl<``d*
a; 0$fRy 具体要求：参考光路反射镜 cx4'rK. <PQ[N[SU  0>0: ls
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R(HW 0@R@w 具体要求：测试光路反射镜 :w 4I+* ] JmVha!<qk  wq3 V&@.
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" 具体要求：探测器 ]TKM.[[
h9 3  s}":lXkrw }UHoa 结果：3D光线追迹 <*&2 b P s{}SZn  %i`YJ cH $Sk 结果：场追迹 %LZf= `:( \J^|H@;(@
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>5-]Ur~ 结果：移动样品的场追迹结果 5P
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@sVA%L. 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 %D}]Z=gp
?HaUT(\j 文件&技术信息 y'pX/5R0 'D;'Pr]
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