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    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 2y3?!^$  
    i{o#3  
    任务说明 i&'#+f4t  
    )l`1)Ea~  
    9{_8cpm4  
    :PgF  
    灵活地导出制造数据： J.1O/Pw!.a  
    - 平滑的界面 H_VEPp,T  
    - 量化界面 M{C6rm|  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Y\.-v\uJu  
     8';m)Jc  
    亮点 iaY5JEV:CA  
     导出各种表面形状的制造数据 :lUX5j3  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 'S =sj}X  
         8O,? |c=>  
    h,^BC^VU9-  
    一般界面的制造数据 +"jl(5Q  
    ?nQ_w0j  
    EJ1Bq>u7  
    j]r XoV>  
    支持文件格式： 2zz,(RA  
    - 纯文本 z8IPhE@  
    - ASCII码 ZAMeqPt  
    - 点云 DhZ:#mM{  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） n'T He|:I  
     +wipfL~&S  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） m;dm|4L^  
    d:A}CBTSY  
    采样高度剖面的STL导出 59.$ULQVMY  
    85'nXYN{d  
    rVY?6OMkd  
    2z4<N2! M  
    量化界面的GDSII导出 )T9;6R$b  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 >QXzMN}o  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 2+z1h^)W  
    =-_)$GOI'  
    cv2]*  
    文档和技术信息 n=q=zn;  
    QIQfI05  
    zJ;Rt9<7-  
    PC用于模拟的规格 c7\VTYT  
    ]nQ+nH  
    ;+sl7qlA4  
    QQ：2987619807
     
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