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    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 @z1Yj"^Pm  
    8KrqJN0\  
    任务说明 ES&"zjr$  
    op]HF4  
    /MUa b*h  
    nVVQ^i}`G  
    灵活地导出制造数据： Q-M"+HO  
    - 平滑的界面 x^ruPiH  
    - 量化界面 .W)%*~ O!;  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 P,/=c(5\}  
     .Q^8 _'ZG  
    亮点 r#CQCq  
     导出各种表面形状的制造数据 P5^<c\Mr,Y  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 C VyE5w  
         ;j]-;wg-;  
    {x#I&ra  
    一般界面的制造数据 Ckc4U. t|  
    ya^zlj\`0e  
    HMymoh$Q  
    Fs,#d%4@%  
    支持文件格式： p#eai  
    - 纯文本 Anu`F%OzB  
    - ASCII码 +jPs0?}s  
    - 点云 `x0GT\O2-  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） )Kw Gb&l&  
     A=S_5y  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） nr t3wqJ  
    dq&N;kk |  
    采样高度剖面的STL导出 I Y='tw  
    }c$@0x;YQ  
    "ApVgNB  
    3+j!{tJ z2  
    量化界面的GDSII导出 lS.&>{  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 A*r6  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 V"T48~Ue  
    MvLmEmKb}\  
    Pl}>  
    文档和技术信息 !\ckUMZ\  
    */ ~_3  
    O_u2V'jy9  
    PC用于模拟的规格 cR0OJ'w  
    -J$,W`#z  
    ;MH<T6b  
    QQ：2987619807
     
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