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光整形>衍射光学 2^juLXc|R ^awl-CG 任务说明 )Ev [o#y g'I S8@ SY)o<MD x|Q6[Y 灵活地导出制造数据: 6h5*b8LxA - 平滑的界面 tvg7mU]l - 量化界面 I*0W\Qz@ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 v"s}7trWV pIh@!C 亮点 H
kg0;) 导出各种表面形状的制造数据 1e&`m~5K+ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 +xWT)h/ 'SuYNA) pE=wP/# 一般界面的制造数据 o`&idn|, C[[z3tn ?.4u'Dkn= =7$YBCuF 支持文件格式: Hiq9Jn uv( - 纯文本 D7=gUm> - ASCII码 \tQRyj\| - 点云 Hiw{1E:rW - CAD格式(例如,STL,IGES) / ]I] DB?[h<^m STL导出平滑界面(例如Asphere) n9)/(=)>* zJ#q*2A(Z 采样高度剖面的STL导出 `T}e3l R^K<u#>K Zaq:l[% aE:fMDS|x 量化界面的GDSII导出 8(ZQD+U(9F 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 V+E2nJ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 u[cbRn,W ptUnV3h }|x]8zL8G 文档和技术信息 AN^;~m ^ 9g>ay-W[( 'a4xi0**I PC用于模拟的规格 cnI!}Bu 73P(oVj<
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