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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 O 4zD >O  
    `i5U&K. 7  
    任务说明 [8|Y2Z\N  
    u3 k%  
    t80s(e  
    :5Vk+s]8  
    灵活地导出制造数据： _: @~ bHd  
    - 平滑的界面 ^mxOQc !  
    - 量化界面 6. N?=R  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 D.d(D:  
     Fp'qn'){:#  
    亮点 |dIP &9  
     导出各种表面形状的制造数据 Zoe>Ow8mE`  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 PdiP5S }/  
         HYVSi3[  
    "Tw4'AY'P  
    一般界面的制造数据 ?LJ$:u  
    .OhpItn  
    Q{%2Npvq  
    fM,!9}<  
    支持文件格式： 7$3R}=Z`\q  
    - 纯文本 WMy97*L<  
    - ASCII码 |-Rg].  
    - 点云 (al.7VA;9  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Oi#4|*b{W  
     L{`S^'P<  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） %=p:\+`VI  
    R7)\w P*l5  
    采样高度剖面的STL导出 5x$/.U  
    0e./yPTT  
    q/T(s  
    4%!#=JCl  
    量化界面的GDSII导出 :LE0_ .  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 nsT]Yxo%M  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 eZ>KA+ C[  
    |W't-}yf  
    \VY!= 9EV  
    文档和技术信息 IE;Fu67wi  
    D.7,xgH  
    K &L9Ue  
    PC用于模拟的规格 !v/j*'L<M}  
    )gX7qQ  
    ? PIq/[tk  
    QQ：2987619807
     
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