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光整形>衍射光学 SKF0p))BJ KjMwrMgC 任务说明 1LaJ
hrp? a ]:xsJ~ <isU D6TC !3<b#QAXRG 灵活地导出制造数据: ahdwoB - 平滑的界面 Lf:#koaC - 量化界面 2Jky,YLcb - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 pHowioFx G)?j(El
亮点 7xM4=\~OG 导出各种表面形状的制造数据 TV|Z$,6l 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 #)m[R5g( yRi5t{!V
.:XX c 一般界面的制造数据 DxD\o+:r ]heVR&bQ ^?_MIS`4N d}
5 支持文件格式: PdEPDyFk h - 纯文本 E^Ch;)j| - ASCII码 ]yQqx* - 点云 2kOaKH[(q - CAD格式(例如,STL,IGES) KYy oN I]HLWF STL导出平滑界面(例如Asphere) c_,pd 7L!}F;yT 采样高度剖面的STL导出 A~v[6*~> ul
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k~|r#@ 量化界面的GDSII导出 ^Y!$WP 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 I %sw(uoE 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 ]<ay_w; dKP| TRd bl^pMt1fv 文档和技术信息 `gF] 's5H_ah @Z7s3b PC用于模拟的规格 p.<d+S< eA3NyL Q );}1'c
QQ:2987619807
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