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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 D xe-XKNc.  
    ]!]`~ Z/  
    任务说明 '_k>*trV  
    p .lu4  
    H]Y#pL u|  
    9qnuR'BDu  
    灵活地导出制造数据： *iPs4Es-  
    - 平滑的界面 mgk64}K[n  
    - 量化界面 r(PJ~8)(=  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 9cl{hdP{  
     f&=K]:WDe  
    亮点 v!nm &"  
     导出各种表面形状的制造数据 qK<aZ%V  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 u4go*#  
          =|^X$H  
    /;zZnF\ e  
    一般界面的制造数据 :yd=No@  
    <+ -V5O^  
    t^`<*H  
    qJ#L)  
    支持文件格式： Tbe_x s^  
    - 纯文本 H4P\hOK7r  
    - ASCII码 ztRWIkI q  
    - 点云 ;5&k/CB1  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） THrc H  
     ; :v]NZtc  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） L#@l(8.  
    _Cu[s?,kS  
    采样高度剖面的STL导出 }T?i%l  
     Bq~AU#  
    SS >:Sw  
    d)`nxnbMeM  
    量化界面的GDSII导出 [{hLF9yPx  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 cRs{=RGc  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 l=Lmr  
    J`U$b+q6  
    6|Ba  
    文档和技术信息 ek Y?  
    g_3rEvf"4  
    Ws2prh^e(  
    PC用于模拟的规格 /ig^7+#  
    T=hm#]   
    -~QlHp&SY  
    QQ：2987619807
     
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